Основы фотолитографического процесса

Фоторезисты и их свойства. Травление подложки с защитным рельефом и удаление защитного рельефа. Формирование слоя фоторезиста и защитного рельефа. Организация производства фотолитографического процесса. Изготовление высококачественных фотошаблонов.

Подобные документы

  • Литографические процессы. Классификация методов литографии. Формирование рельефа изображения элементов. Контактная фотолитография. Последовательность выполнения операций при фотолитографии. Позитивные, негативные фоторезисты и режимы их обработки.

    реферат, добавлен 10.01.2009

  • Расчет числа элементов аккумуляторной батареи и ее емкости. Определение параметров вводной сети переменного тока и дизель-генератора. Схема токораспределительной цепи. Расчет защитного контура заземления. Размещение оборудования и защитного контура.

    курсовая работа, добавлен 12.02.2013

  • Анализ электрической принципиальной схемы блока выравнивания порядков и сдвига мантисс. Выбор защитного покрытия проводников и контактных площадок. Выбор материала защитного покрытия печатной платы. Расчёт монтажных отверстий и контактных площадок.

    курсовая работа, добавлен 19.12.2014

  • Проектирование малошумящего полевого транзистора с затвором Шоттки. Расчет геометрических размеров конденсаторов и резисторов. Разработка технологии изготовления кристалла. Создание защитного слоя диэлектрика, проводящих дорожек и контактных площадок.

    курсовая работа, добавлен 19.01.2016

  • Технология полупроводникового производства. Сущность процесса фотолитографии. Светочувствительность, разрешающая способность и кислотостойкость фоторезистов. Адгезия фоторезиста к подложке. Фотошаблоны и способы их получения. Требования к фоторезистам.

    курсовая работа, добавлен 22.02.2012

  • Этапы создания беспроводной компьютерной сети в условиях отсутствия развитой инфраструктуры связи и сложного рельефа. Объединение компьютеров в локальную беспроводную сеть для обмена данными. Методы безопасности работы в сети, методика шифрования данных.

    дипломная работа, добавлен 18.07.2012

  • Разработка топологии ИМС параметрического стабилизатора напряжения и технологического маршрута производства в соответствии с данным техническим заданием. Создание внутрисхемных соединений и формированием защитного покрытия. Кремниевый стабилитрон.

    курсовая работа, добавлен 21.02.2016

  • Разработка конструкций и технологического процесса изготовления печатной платы устройства, расчетное обоснование выбора элементной базы и разработка структуры технологического процесса. Схемотехническое решение и конструктивное исполнение устройства.

    курсовая работа, добавлен 11.05.2009

  • Описание конструкции и типового технологического процесса. Анализ технологичности по технологическому коду. Планирование производства. Разработка технического процесса. Расчет ритма конвейера. Выбор оборудования и оснастки. Разработка приспособления.

    курсовая работа, добавлен 30.09.2022

  • Параметры, определяющие качество циркулятора. Факторы, которые рассматривают при выборе ферромагнитного материала в качестве подложки для полосковой системы. Технические характеристики Y-циркулятора. Проницаемость размагниченной ферритовой подложки.

    курсовая работа, добавлен 24.05.2014

  • Назначение и принцип работы электронных звуковых извещателей. Организация производственного процесса монтажа и технологическое изготовление печатной платы устройства. Требования безопасности при выполнении монтажных работ. Защитное заземление, его цели.

    курсовая работа, добавлен 24.06.2014

  • Организация технологического процесса измельчения зерна. Структурная схема и элементы автоматизации процесса, выбор и обоснование датчиков. Анализ системы автоматического регулирования, определение ее устойчивости. Определение передаточной функции САР.

    курсовая работа, добавлен 21.05.2016

  • Назначение и выходные электрические параметры. Формирование вариантов технологического комплекса. Климатическое исполнение и условия размещения. Расчет затрат на изготовление печатной платы и приобретения оборудования. Технология влагозащиты модуля.

    курсовая работа, добавлен 09.05.2015

  • Характеристика стандарта GSM. Определение размерности кластера. Расчет числа радиоканалов, допустимой телефонной нагрузки, количества базовых станций, радиуса обслуживания, величины защитного расстояния. Разработка частотно-территориального плана сети.

    курсовая работа, добавлен 17.06.2011

  • Идентификационные метки: штриховое кодирование, радиочастотные идентификационные и пассивные радиочастотные метки. Выбор материала для подложки и металлизации поверхности. Оценка эффективности инновационного процесса. Возможные радиационные потери.

    дипломная работа, добавлен 12.11.2010

  • Структура сотовой сети связи. Расчет числа радиоканалов, допустимой телефонной нагрузки, числа абонентов, количества базовых станций, радиуса зоны обслуживания станции, величины защитного расстояния, модели распространения радиоволн, мощности передатчика.

    курсовая работа, добавлен 22.06.2012

  • Усилители мощности, предназначенные для качественного воспроизведения звука, и их параметры. Выбор и обоснование технологического процесса изготовления изделия. Определение типа производства. Обоснование конструкции изделия. Разработка маршрутной карты.

    курсовая работа, добавлен 20.01.2013

  • Условия и причины образования канала утечки информации по цепям электропитания, активные и пассивные методы защиты: сетевые фильтры и параметры; применение разделительных трансформаторов; разновидности систем заземления, принцип защитного действия.

    курсовая работа, добавлен 05.01.2011

  • Определение назначения и принципов построения периферийного устройства связи. Рассмотрение модулей сбора информации и выходных усилителей. Особенности вывода управляющих сигналов. Характеристика диагностики и защитного состояния периферийных модулей.

    курсовая работа, добавлен 24.01.2018

  • Применение системы автоматического регулирования (САУ) на примере процесса производства кефира. Разработка структурной схемы и математической модели САУ. Повышение качества процесса регулирования с помощью синтеза САУ и корректирующих устройств.

    курсовая работа, добавлен 17.03.2013

  • Разработка и изготовление устройства магнетронного получения тонких пленок. Пробное нанесение металлических пленок на стеклянные подложки. Методы, применяемые при распылении и осаждении тонких пленок, а также эпитаксиальные методы получения пленок.

    курсовая работа, добавлен 18.07.2014

  • Контроль рельефа поверхности и оценка размера трёхмерных дефектов. Кривизна полос. Оптическая схема микроинтерферометра Линника. Интерферограммы. Ход лучей в системе "плёнка-подложка" при измерении толщины плёнки. Метод отражательной интерференции.

    реферат, добавлен 15.01.2009

  • Проведение расчетов максимального расстояния между ЦС и подвижной АС (радиус зоны 1), при условии что высота передающей антенны не задана. Выбор различных высот антенн для определения радиуса обслуживания с учетом местных природных условий и рельефа.

    контрольная работа, добавлен 13.05.2012

  • Организация процесса регулировки и наладки ФЭУ. Для правильной организации процесса регулировки необходима соответствующая измерительная аппаратура и инструмент. Точность применяемой аппаратуры, должна превышать на порядок заданную точность регулировки.

    реферат, добавлен 10.01.2009

  • Выбор места расположения радиорелейных станций, исходя из рельефа и особенностей местности. Построение продольного профиля интервала. Определение высоты подвеса антенн, величины потерь и расчет запаса на замирание. Разработка структурной схемы станции.

    курсовая работа, добавлен 28.10.2014

Работы в архивах красиво оформлены согласно требованиям ВУЗов и содержат рисунки, диаграммы, формулы и т.д.
PPT, PPTX и PDF-файлы представлены только в архивах.
Рекомендуем скачать работу и оценить ее, кликнув по соответствующей звездочке.