Эллипсометрия, как метод неразрушающего контроля

Метод неразрушающего контроля состояния поверхности полупроводниковых пластин, параметров тонких поверхностных слоёв и границ раздела между ними. Методика измерений на эллипсометре компенсационного типа. Применение эллипсометрических методов контроля.

Подобные документы

  • Обзор этапов комплексного обследования трансформаторов. Автоматизация контроля состояния трёхфазного трансформатора для повышения эффективности его эксплуатации. Структура аппаратного обеспечения. Организация автоматизированного рабочего места оператора.

    контрольная работа, добавлен 07.01.2015

  • Критерии грубых погрешностей. Интервальная оценка среднего квадратического отклонения. Обработка результатов косвенных и прямых видов измерений. Методика расчёта статистических характеристик погрешностей системы измерений. Определение класса точности.

    курсовая работа, добавлен 17.05.2015

  • Метод молекулярного моделирования: статистическая механика и ансамбль, метод Монте-Карло, энергия молекулярной системы. Параметры моделирования. Коэффициент Джоуля-Томпсона и инверсное давление. Растворимость газов в полимерах. Фазовые диаграммы.

    дипломная работа, добавлен 14.07.2013

  • Реле управления в электрических цепях. Применение реле в устройствах автоматического управления, контроля, сигнализации, защиты, коммутации. Основные типы реле. Устройство поляризованного реле. Электромагнитные реле с магнитоуправляемыми контактами.

    дипломная работа, добавлен 28.11.2013

  • Метод диодного детектора (датчика). Эффект изменения проводимости полупроводника в сверхвысокочастотном электромагнитном поле, эквивалентная схема диода. Метод с использованием газоразрядного датчика. Структурная схема измерителя импульсной мощности.

    реферат, добавлен 10.12.2013

  • Процесс нанесения тонких пленок в вакууме. Метод термического испарения. Области давления газов, соответствующие различному вакууму и средняя длина свободного пути молекул. Основные виды насосов, их параметры и характеристика. Средства измерения вакуума.

    реферат, добавлен 14.06.2011

  • Локализация слухового восприятия по уровню интенсивности и временной разнице. Экспериментальное исследование выбора лучших параметров расположения динамиков для создания объемного звука или иллюзии источника звука при изменении угла и высоты между ними.

    курсовая работа, добавлен 25.01.2012

  • Применение метода междуузлового напряжения при анализе многоконтурной электрической схемы, имеющей два потенциальных узла. Нелинейные электрические цепи постоянного тока. Цепи с параллельным, последовательно-параллельным соединением резистивных элементов.

    презентация, добавлен 25.07.2013

  • Особенности методов исследования технологических процессов: теоретические, экспериментальные, подобие. Общая характеристика теории подобия, его виды, расчет их некоторых параметров. Основные положения теории подобия. Специфика критериев подобия.

    реферат, добавлен 06.06.2011

  • Атомный и молекулярный спектральный анализ. Оптическая спектроскопия. Лазерное сканирование полупроводниковых пластин с последующим спектральным анализом люминесцентного излучения. Спектральные приборы и их принципиальная схема. Дифракционная решётка.

    реферат, добавлен 15.01.2009

  • Основное применение радионуклидов и радиоактивного излучения в химии. Характеристика методов радиоаналитической химии. Радиоуглеродный метод хронологической маркировки ископаемых находок органического происхождения. Ядерная физика в медицине и геологии.

    реферат, добавлен 01.03.2011

  • Психолого-педагогические основы проверки знаний, умений и навыков по физике. Основные функции и формы проверки. Методика тестового контроля знаний, виды тестов по физике. Систематизация знаний по физике при подготовке к централизованному тестированию.

    дипломная работа, добавлен 13.10.2009

  • Применение методов ряда фундаментальных физических наук для диагностики плазмы. Направления исследований, пассивные и активные, контактные и бесконтактные методы исследования свойств плазмы. Воздействие плазмы на внешние источники излучения и частиц.

    реферат, добавлен 11.08.2014

  • Физические эффекты, положенные в основу реализации измерительного оборудования. Разработка системы автоматизированного многочастотного контроля электромагнитных излучений для оценки опасности электромагнитной обстановки. Нормирование параметров ЭМИ.

    дипломная работа, добавлен 08.06.2013

  • Переменное и импульсное напряжения. Измерения напряжения на изоляторах и контроля их состояния. Распределение напряжения по элементам исправной гирлянды, по элементам гирлянды с поврежденными изоляторами, по элементам исправной гирлянды с экраном.

    лабораторная работа, добавлен 27.01.2009

  • Отражение и преломление плоской однородной волны на плоской поверхности раздела двух сред. Формулы Френеля. Отражение и преломление на границе двух идеальных диэлектриков, на границе раздела с проводником. Фаза преломлённой волны и отраженной волны.

    курсовая работа, добавлен 17.06.2012

  • Движение электромагнитных волн в веществе. Отражение и преломление плоской однородной волны на плоской поверхности раздела двух сред и двух идеальных диэлектриков. Формулы Френеля, связь между амплитудами падающей, отраженной и преломленной волн.

    курсовая работа, добавлен 05.01.2017

  • Рассмотрение методов расчёта параметров электрической сети при нормальных и аварийных электромеханических переходных процессах, возникающих при изменениях состояния системы. Влияние параметров генераторов на статическую и динамическую устойчивость.

    курсовая работа, добавлен 21.08.2012

  • Изучение микроструктуры гексаферритов стронция, морфологии зерен, характера распределения микродобавок, особенностей их химического и электронного состояния на поверхности кристаллитов спектральными и структурными методами анализа строения веществ.

    контрольная работа, добавлен 13.06.2010

  • Метод расчета параметров измерительного механизма магнитоэлектрической системы, включенного в цепь посредством шунта. Определение мощности вольтметра и амперметра. Измерение активной мощности в цепях трехфазного тока. Выбор измерительной аппаратуры.

    курсовая работа, добавлен 26.04.2014

  • Способы получения и анализа поляризованного света. Описание установки для получения информации об отражённом свете, ее схематическое изображение. Принципы метода эллипсометрии, его реализация при изучении показателя преломления прозрачных диэлектриков.

    курсовая работа, добавлен 19.04.2012

  • Общие свойства средств измерений, классификация погрешностей. Контроль постоянных и переменных токов и напряжений. Цифровые преобразователи и приборы, электронные осциллографы. Измерение частотно-временных параметров сигналов телекоммуникационных систем.

    курс лекций, добавлен 20.05.2011

  • Электрические линии задержки: понятие и функциональные особенности, внутренняя структура и принцип действия. Методика разработки многоотводной линии задержки на поверхностных акустических волнах с заданными характеристиками, анализ эффективности.

    курсовая работа, добавлен 12.06.2013

  • Применение общего равномерного освещения в помещениях. Особенности рабочего и аварийного освещения. Применение точечного метода расчета освещения, его сущность и последовательность. Методы коэффициента использования светового потока и удельной мощности.

    контрольная работа, добавлен 10.04.2014

  • Расчет параметров теплообменивающихся сред по участкам. Обзор основных параметров змеевиковой поверхности. Выбор материалов, конструктивных размеров. Распределение трубок по слоям навивки. Определение параметров кипящей среды и коэффициентов теплоотдачи.

    курсовая работа, добавлен 16.08.2012

Работы в архивах красиво оформлены согласно требованиям ВУЗов и содержат рисунки, диаграммы, формулы и т.д.
PPT, PPTX и PDF-файлы представлены только в архивах.
Рекомендуем скачать работу и оценить ее, кликнув по соответствующей звездочке.