Особенности электронной литографии при низких ускоряющих напряжениях
Представление об основах литографии. Установки изготовления образцов. Параметры коррекции распределения дозы, чувствительность резиста. Основы электронной литографии при низком ускоряющем напряжении. Оценка эффективного диаметра электронного луча.
Подобные документы
Изучение строения и принципов работы светового и электронного микроскопов. Рассмотрение методов темного и светлого поля, фазово-контрастной микроскопии, интерференции и поляризации. Витальное фиксированное изучение клеток. Основы электронной микроскопии.
лекция, добавлен 16.05.2014Свойства объектов и методы измерения электронной плотности по упругому рассеянию. Экспериментальные методы исследования комптоновского рассеяния. Атомно-рассеивающий фактор, распределение радиальной электронной плотности в литии по комптоновским профилям.
дипломная работа, добавлен 06.06.2011Понятие радиоэлектроники, ее сущность и особенности, история возникновения и развития. Развитие электронной техники на современном этапе, характерные черты. Принципы работы и использование резисторов, их разновидности. Устройство и значение конденсаторов.
курс лекций, добавлен 21.02.2009Изучение структуры и особенностей дрейфового транзистора. Физические процессы, происходящие в его базе при низком уровне инжекции и при больших плотностях тока. Влияние неравномерного распределения примесей в базе на параметры дрейфового транзистора.
курсовая работа, добавлен 25.09.2010Лампы бегущей волны, основные принципы их работы. Параметры и особенности конструкции ЛБВ. Системы формирования магнитного поля в ЛБВ. Методы магнитной фокусировки электронного луча. Модуляция с помощью электрода "штырь-кольцо". Методы повышения КПД ЛБВ.
лекция, добавлен 16.12.2010Электронно-микроскопический метод исследования. Физические основы растровой электронной микроскопии. Схема растрового электронного микроскопа, назначение его узлов и их функционирование. Подготовка объектов для исследований и особые требования к ним.
курсовая работа, добавлен 04.05.2011Разработка методики количественного определения состава образцов рентгеноспектральным микроанализом. Физические основы растровой электронной микроскопии. Использование зависимости интенсивности линий от ускоряющего напряжения. Методы детектирования.
курсовая работа, добавлен 16.10.2014Понятие электронной микроскопии как совокупности методов исследования с помощью электронных микроскопов микроструктур тел, их локального состава. Содержание телевизионного принципа развертки тонкого пучка электронов или ионов по поверхности образца.
презентация, добавлен 22.08.2015Физические процессы, лежащие в основе электронной оже-спектроскопии (ЭОС). Механизмы ЭОС, область ее применения. Относительная вероятность проявления оже-эффекта. Глубина выхода оже-электронов. Анализ тонких пленок, преимущества ионного распыления.
реферат, добавлен 17.12.2013Свойства исследуемых объектов и методы измерения электронной плотности по упругому рассеянию, неупругое рассеяние рентгеновских лучей веществом. Импульсная аппроксимация, атомно-рассеивающий фактор, вид и методика обработки дифракционных максимумов.
диссертация, добавлен 10.06.2011Особенности плазмы и газового разряда. Проведение опытов с источником ионов с полым анодом при разном ускоряющем напряжении и расстоянии до цилиндра Фарадея. Определение оптимальных параметров для расчета коэффициента эффективности ионного тока в пучке.
контрольная работа, добавлен 24.02.2013Определение ионосферы и линейного слоя, расчёт диалектической проницаемости ионосферы без учёта магнитного поля. Распределение магнитного поля в точке попадания на Землю отражённого луча. Закон изменения электронной концентрации для линейного слоя.
курсовая работа, добавлен 14.07.2012Разработка вариантов схем электроснабжения на низком напряжении. Расчет электрических нагрузок и приближенный учет электрического освещения. Компенсация реактивной мощности, выбор высоковольтного выключателя. Расчет токов трехфазного короткого замыкания.
курсовая работа, добавлен 10.12.2014Проектирование и расчет городской подстанции. Выбор числа, типа и номинальной мощности силовых трансформаторов, устанавливаемых на подстанции. Схемы электрических соединений на высоком и на низком напряжении. Управление и сигнализация на подстанции.
курсовая работа, добавлен 18.06.2012Расчет проволочного прямонакального катода. Сравнительный анализ параметров катодов из вольфрама и тантала. Расчет параметров фокусирующей катушки. Выбор насосов вакуумной системы и ее схемы для откачки электронной пушки. Определение быстроты откачки.
курсовая работа, добавлен 08.05.2016Автоматизированная система управления хозяйством электрификации и электроснабжения АСУ-Э. Ведение графической информации в базе данных. Создание электронной схемы плана контактной сети станции Козёлкино Брянского отделения Московской железной дороги.
курсовая работа, добавлен 04.02.2014Разработка вариантов схем электроснабжения на низком напряжении. Расчет токов трехфазного короткого замыкания и отклонений напряжения. Расчет емкостного тока замыкания на землю в кабельной сети. Распределение конденсаторных батарей в электрической сети.
курсовая работа, добавлен 21.12.2011Механизмы поглощения энергии излучения в полупроводниках. Принцип действия полупроводниковых фотоприемников. Характеристики и параметры фотоприемников. Темновое сопротивление, чувствительность, спектральная характеристика, охлаждаемые фотодатчики.
контрольная работа, добавлен 29.08.2013Проект проходной подстанции 35/10 кВ. Выбор схем электрических соединений на высоком и на низком напряжении, построение графиков нагрузки. Выбор числа и мощности трансформаторов, расчет на перегрузочную способность. Расчет токов аварийных режимов.
курсовая работа, добавлен 17.11.2014Исследование предмета и задач физики низких температур – раздела физики, занимающегося изучением физических свойств систем, находящихся при низких температурах. Методы получения низких температур: испарение жидкостей, дросселирование, эффект Пельтье.
курсовая работа, добавлен 22.06.2012Измерение размеров малых объектов. Метод фазового контраста. Понятие об электронной оптике. Создание электронного микроскопа. Опыты по дифракции электронов. Исследования поверхностной геометрической структуры клеток, вирусов и других микрообъектов.
презентация, добавлен 12.05.2017Характеристики тепловыделения в электроустановках. Расчет теплового состояния трансформатора и выпрямителя. Основы устройства систем охлаждения. Особенности электронной и ионной поляризации. Тепловое действие электрического и электромагнитного поля.
контрольная работа, добавлен 27.05.2014Основы сканирующей электронной микроскопии. Методические особенности электронно-микроскопического исследования металлических расплавов. Особенности микроскопов, предназначенных для исследования структуры поверхностных слоев металлических расплавов.
реферат, добавлен 11.05.2013Вычисление и исследование магнитной восприимчивости двухмерной модели Хаббарда в приближении статических флуктуаций при наличии сильных корреляций в электронной подсистеме. Сравнение с точным решением одномерной модели Хаббарда в магнитном поле.
статья, добавлен 22.06.2015Основы физики полупроводников, их энергетические зоны, уровни. Распределение носителей в зонах, их рекомбинация. Движение носителей и контактные явления в данных устройствах. Особенности контактов между полупроводниками с одинаковыми типами проводимости.
контрольная работа, добавлен 19.08.2015