Литография и контактная фотолитография. Позитивные и негативные фоторезисторы

Литографические процессы. Классификация методов литографии. Формирование рельефа изображения элементов. Контактная фотолитография. Последовательность выполнения операций при фотолитографии. Позитивные, негативные фоторезисты и режимы их обработки.

Подобные документы

  • Фоторезисты и их свойства. Травление подложки с защитным рельефом и удаление защитного рельефа. Формирование слоя фоторезиста и защитного рельефа. Организация производства фотолитографического процесса. Изготовление высококачественных фотошаблонов.

    реферат, добавлен 27.03.2010

  • Сущность и задачи литографии. Описание процесса создания рисунка с использованием фотолитографии на кремниевой подложке. Исследование режимов технологического процесса ионного легирования в кремниевой технологии при помощи компьютерных программ.

    реферат, добавлен 01.02.2016

  • Производство полупроводникового кремния. Действие кремниевой пыли на организм. Защита органов дыхания. Литография как формирование в активночувствительном слое, нанесенном на поверхность подложек, рельефного рисунка. Параметры и свойства фоторезистов.

    курсовая работа, добавлен 09.03.2009

  • Назначение телевизионной системы: формирование изображения передаваемой сцены, предназначенного для восприятия человеком. Подача сигнала с выхода устройства обработки и усиления на анализатор. Формирование оптического изображения, элементы светоделения.

    реферат, добавлен 12.07.2010

  • Принцип действия прибора, его основные параметры и характеристики. Зависимость барьерной ёмкости перехода от обратного напряжения. Максимальный прямой ток через переход. Расчёт активных элементов интегральных микросхем. Контактная разность потенциалов.

    курсовая работа, добавлен 11.12.2016

  • Сигналы памяти и приемники изображения, устройства их обработки. Основные параметры элементов ПЗС: рабочая амплитуда напряжений, максимальная величина зарядного пакета, предельные тактовые частоты, мощность. Эффективность работы устройств обработки.

    реферат, добавлен 13.01.2009

  • Конструкция интегральной микросхемы на транзисторах. Преобразование и обработка входного сигнала. Технические условия для интегральных микросхем р-канального полевого транзистора с изолированным затвором. Нанесение пленки алюминия и фотолитография.

    контрольная работа, добавлен 07.05.2013

  • Последовательность этапов разработки микропроцессорных систем управления и стадий выпуска конструкторской документации. Анализ алгоритмов, определяющих логическую структуру микропроцессорной системы управления, последовательность выполнения операций.

    реферат, добавлен 09.08.2011

  • Технология изготовления полупроводниковых диодов, структура, основные элементы и принцип действия. Процесс образования p-n перехода, его односторонняя проводимость. Электрофизические параметры электро-дырочных переходов. Контактная разность потенциалов.

    курсовая работа, добавлен 28.01.2015

  • Условные графические изображения элементов. Правила выполнения принципиальных электрических схем. Требования ГОСТов к чертежам печатных плат, к графическим документам. Порядок выполнения чертежа печатной платы устройства гальванической развязки.

    курсовая работа, добавлен 08.12.2011

  • Технология полупроводникового производства. Сущность процесса фотолитографии. Светочувствительность, разрешающая способность и кислотостойкость фоторезистов. Адгезия фоторезиста к подложке. Фотошаблоны и способы их получения. Требования к фоторезистам.

    курсовая работа, добавлен 22.02.2012

  • Разработка системы на основе микроконтроллера для обработки изображения, принимаемого от прибора с зарядовой связью (ПЗС). Принцип работы ПЗС. Схема электрическая принципиальная. Программы для захвата сигналов от ПЗС на микроконтроллер и их обработки.

    курсовая работа, добавлен 22.09.2012

  • Интроскопия - внутривидение, визуальное наблюдение объектов, явлений и процессов в оптически непрозрачных телах и средах, в условиях плохой видимости. Классификация методов диагностики. Общность методов и средств обработки иитроскопических изображений.

    реферат, добавлен 01.02.2009

  • Сущность и классификация методов обработки поверхности. Методы сухой очистки. Процесс плазмохимического травления. Схема вакуумной камеры диодного типа для плазмохимического травления непосредственно в плазме. Очистка поверхности газовым травлением.

    реферат, добавлен 15.01.2009

  • Выбор методов проектирования устройства обработки и передачи информации. Разработка алгоритма операций для обработки информации, структурной схемы устройства. Временная диаграмма управляющих сигналов. Элементная база для разработки принципиальной схемы.

    курсовая работа, добавлен 16.08.2012

  • Структурная схема устройства. Выбор элементной базы и электрической схемы. Использование многоуровневой конвейерной обработки. Последовательность выполнения программы. Команды условного и безусловного перехода. Пространство регистров ввода-вывода.

    контрольная работа, добавлен 07.07.2013

  • Телевидение как передача изображения объекта на некоторое расстояние (обычно со звуковым сопровождением). Физические процессы, положенные в основу передачи. Диапазон телевизионных передач. Устройство цветного кинескопа, частота изображения на экране.

    презентация, добавлен 14.01.2010

  • Система связи для трансляции и приема движущегося изображения и звука на расстоянии. Количество элементов изображения. Полоса пропускания радиоканала. Применение электронно-лучевой трубки для приема изображений. Передача сигнала на большие расстояния.

    презентация, добавлен 11.03.2013

  • Основные признаки классификации электронных индикаторов, (конструктивные особенности, способы управления, назначение). Применение единичных, сегментных, шкальных и электронно-механических индикаторов. Формирование изображения в матричном индикаторе.

    презентация, добавлен 14.12.2015

  • Исследование и принцип работы арифметико-логического устройства для выполнения логических операций. Условно–графическое обозначение микросхемы регистра. Анализ логической схемы регистра, принцип записи, чтения информации. Проектирование сумматора.

    курсовая работа, добавлен 23.11.2010

  • Классификация топографических аэрофотоаппаратов, характеристика их типов. Особенности аэрофотоаппаратов нетопографического назначения. Щелевые и панорамные аэрофотоаппараты. Фиксация изображения цифровым аэрофотоаппаратом, строение фотоматериалов.

    курсовая работа, добавлен 15.12.2012

  • Алгоритмы, учитывающие систему визуального восприятия человека. Мультиразмерная ошибка. Мера качества видео на основе дискретного косинусного преобразования. Модификация алгоритмов оценки качества изображения с применением предварительной обработки.

    реферат, добавлен 19.11.2008

  • История изобретения транзисторов, их классификация. Изобретение интегральной схемы Джеком Килби. Процесс изготовления микросхем методом фотолитографии и применением ультрафиолетовой технологии. Контроль их качества. Конструктивные варианты микросхем.

    презентация, добавлен 06.10.2014

  • Автоматические системы управления, объем и характер выполняемых операций. Назначение типовых элементов. Классификация датчиков, их статические характеристики и параметры. Электроавтоматика, классификация реле. Элементы релейно-контактного управления.

    курс лекций, добавлен 17.10.2009

  • Тактико-технические характеристики гидроакустических средств, принципы их построения и функционирования. Системы вторичной обработки: режимы "Шумопеленгование", "Обнаружение гидроакустических сигналов". Классификация и параметры обнаруженных сигналов.

    презентация, добавлен 23.12.2013

Работы в архивах красиво оформлены согласно требованиям ВУЗов и содержат рисунки, диаграммы, формулы и т.д.
PPT, PPTX и PDF-файлы представлены только в архивах.
Рекомендуем скачать работу и оценить ее, кликнув по соответствующей звездочке.