Практические аспекты плазмохимического травления (ПХТ)

Механизм удаления материала в процессе реактивного ионно-плазменного травления (РИПТ), определение его анизотропии. Наиболее распространенные системы РИПТ. Классификация методов контроля плазменных процессов. Особенности и недостатки зондовых методов.

Подобные документы

Работы в архивах красиво оформлены согласно требованиям ВУЗов и содержат рисунки, диаграммы, формулы и т.д.
PPT, PPTX и PDF-файлы представлены только в архивах.
Рекомендуем скачать работу и оценить ее, кликнув по соответствующей звездочке.