Технология литографических процессов
Анализ ограничений разрешающей способности фотолитографии. Сущность и этапы литографии: формирование слоя фоторезиста; создание рельефной структуры; перенос рельефа фоторезиста на технологический слой подложки. Развитие теневых методов литографии.
Подобные документы
Современные методы формирования межсоединений элементов на подложке полупроводниковых приборов и интегральных микросхем. Виды и этапы фотолитографии. Контактная схема экспонирования. Основные способы нанесения фоторезиста. Контроль качества литографии.
презентация, добавлен 29.05.2020Математическое моделирование процессов формирования изображения в ультрафиолетовой литографии. Морфологический анализ-синтез при поиске литографических технологических решений с последующим созданием устройств формирования изображений на фотошаблоне.
диссертация, добавлен 28.12.2016Основные параметры литографических процессов. Фоторезисты, фотошаблоны и контактная фотолитография. Дефекты при проведении процесса контактной фотолитографии. Рентгеновская литография и электронно-лучевая. Выбор и описание технологического оборудования.
дипломная работа, добавлен 11.08.2015Современные литографические процессы в технологии ППП и ИС. Выбор и описание технологического оборудования. Плотность элементов в кристалле ИМС. Возможные дефекты при проведении процесса контактной фотолитографии. Контроль рельефа рисунка в подложке.
курсовая работа, добавлен 15.08.2014Анализ получения полимерных периодических структур на основе акриловых мономеров и нанокомпозитов методом лазерной интерференционной литографии в УФ-отверждаемых композициях. Зависимость их характеристик от состава, условий экспонирования и обработки.
статья, добавлен 30.11.2018Фотолитография как один из основных технологических процессов в общем цикле изготовления большого количества полупроводниковых приборов и интегральных микросхем. Нанесение фоторезиста распылением с помощью форсунки - сущность метода пульверизации.
курсовая работа, добавлен 17.05.2022Динамика развития и основные этапы технологического процесса. Экономический, пифагорейский и системный подход к изучению технологических процессов. Сущность цеховой структуры промышленного производства, характеристика мануфактуры, фабрики и завода.
доклад, добавлен 01.05.2015Виды технологических процессов. Определение вида заготовки и метода ее получения. Последовательность переходов, обеспечивающих получение требуемой по чертежу точности и качества поверхностного слоя, от заготовки до конечных характеристик поверхности.
лекция, добавлен 25.09.2017Анализ системы качества поверхностного слоя применительно к задаче проектирования технологических процессов по критерию долговечности. Определение по шкале уровней качества оптимального алгоритма функционирования системы качества поверхностного слоя.
статья, добавлен 28.01.2020Технология изготовления полупроводниковых интегральных микросхем. Описание подложки, окисления, фотолитографии, диффузии, эпитаксия. Технологические операции планарно-эпитаксиальной технологии биполярных схем. Расчет топологии схемы и ее элементов.
контрольная работа, добавлен 31.07.2010Подготовка подложек и эпитаксия. Осаждение окисных плёнок. Характеристика процессов окисления, диффузии, литографии, травления, ионной имплантации, металлизации. Методы сборки и герметизации сверхбольших интегральных схем, их контроля и диагностики.
курс лекций, добавлен 11.08.2013Требования и характеристики стеблевого слоя: схема обработки. Пригодность слоя к обработке трепанием. Выравнивание слоя по комлям и толщине, регулятор его плотности. Утонение слоя. Разворот слом перед мятной машиной. Его влияние на пригодность к трепанию.
реферат, добавлен 20.08.2014Классификация неразрушающих методов контроля. Схемы основных акустических способов обнаружения дефектов, залегающих в толще металла. Назначение и преимущества ультразвуковой дефектоскопии. Повышение разрешающей способности оборудования для эхо-метода.
курсовая работа, добавлен 03.05.2019- 14. Методика исследования формы тока при электрохимической обработке в диапазоне частот 10 Гц. – 1 МГц.
Возможность обработки материалов без приложения механических усилий - одни из основных достоинств процесса электрохимической обработки. Определение разрешающей способности при копировании регулярного рельефа с торца электрода-инструмента на деталь.
статья, добавлен 02.11.2018 Основные свойства псевдоожиженного ("кипящего") слоя взвешенного зернистого материала. Применение в промышленности аппаратов с кипящим слоем. Особенности псевдоожиженного слоя для случая псевдоожижения газом. Описание установки, порядок проведения опыта.
методичка, добавлен 12.05.2013Физические свойства айвы и абрикоса, кривые псевдоожижения слоя кубиков барбариса при удельных нагрузках. Оценка применяемости уравнения О.М. Тодеса для расчета скорости псевдоожижения. Схема экспериментальной сушильной установки псевдоожиженого слоя.
статья, добавлен 26.02.2017Особенности деталей, подвергаемых накатке, конструкции магнитной системы датчика контроля структуры поверхностного слоя металла. Модели векторного поля намагниченности в контролируемой оси колесной пары подвижного состава и в магнитопроводе датчика.
статья, добавлен 20.03.2016Построение конструктивной функциональной структуры, которая описывает функциональную взаимосвязь между элементами фотоаппарата "Зенит". Аппроксимация значений разрешающей способности объективов. Комплексная оценка преимуществ и недостатков фотоаппарата.
реферат, добавлен 26.06.2013Порядок проектирования технологических процессов при изготовлении изделий. Понятие параллельной обработки деталей. Особенности изготовления швейных изделий. Виды конструктивных состояний предметов труда. Этапы оптимизации технологических процессов.
реферат, добавлен 08.03.2015Принцип действия аппаратов вихревого слоя, повышение надежности их работы. Анализ конструктивных особенностей камеры дозирования ферромагнитных элементов. Выполнение поворотного бункера с перфорированным дном для обеспечения его промывки от загрязнений.
статья, добавлен 27.12.2021Традиционные представления об азотном потенциале. Описание моделей образования азотированного слоя. Изучение стадий технологического процесса азотирования и причин нестабильности его результатов. Составление понятия о каталитическом газовом азотировании.
контрольная работа, добавлен 24.05.2014Определение структуры фильтрующего слоя, которая будет обеспечивать максимальную грязеемкость волокнистого полимерного фильтрующего элемента. Расчет гранулометрического состава твердых частиц жидкости. Продолжительность работы фильтрующих элементов.
статья, добавлен 27.11.2018Анализ структуры технологического производства машиностроительного завода. Характеристика типов производства и производственных процессов. Анализ структуры технологического процесса. Описание рабочих мест станочника и сборщика. Описание токарной операции.
лекция, добавлен 25.09.2017Вывод формул для расчета толщины срезаемого слоя при фрезеровании древесины, анализ полученных формул, их применение в деревообработке. Повышение точности расчета режимов фрезерования при раскрое и обработке древесных материалов на фрезерных станках.
статья, добавлен 29.11.2018Нанокомпозитная структура пленки металлсодержащего ПАН. Газочувствительность к детектируемым газам полученных образцов. Технологический маршрут формирования газочувствительного слоя. Температурные зависимости сопротивления и режимы формирования пленок.
реферат, добавлен 29.05.2017