Осаждение нитрида кремния

Нанесение изображения через маску 2-го уровня (углубление) используя фотолитографию и глубинное реактивное ионное травление. Изучение осаждения 1-ого слоя оксида, используя LPCVD. Удаление ненужного поликремния, используя реактивное ионнное травление.

Подобные документы

  • Сравнение технологии, которая позволяет вести телефонные разговоры, используя IP-сеть передачи данных с традиционной телефонией. Исследование основных типов IP-телефонов. Перечень стандартных функций VoIP-шлюзов. Основные протоколы транспортного уровня.

    курсовая работа, добавлен 24.02.2020

  • Требования к интегральным схемам и полупроводниковым подложкам. Технология получения монокристаллического кремния, его калибровка, резка, шлифовка и полировка. Химическое травление полупроводниковых пластин и подложек. Алмазное и лазерное скрайбирование.

    курсовая работа, добавлен 03.11.2012

  • Рост популярности метод электрофоретического осаждения в микроэлектронике. Исследование преимуществ метода электрофоретического осаждения. Основные факторы, влияющие на процесс. Экспериментальное исследование процесса осаждения с заданным составом.

    курсовая работа, добавлен 14.06.2018

  • Оценка влияния параметров процесса газофазного осаждения нитрида кремния (Si3N4) на механические напряжения пленок. Определение размерного фактора, позволяющего управлять чувствительностью гофрированной мембраны для миниатюрного акустического датчика.

    автореферат, добавлен 31.07.2018

  • Изучение особенностей записи, хранения, воспроизведения звука, используя любой микроконтроллер AVR с АЦП, память AT45DB161 DataFlash и несколько внешних компонентов. Анализ особенностей аналогового сигнала. Схема соединения микроконтроллера и памяти.

    курсовая работа, добавлен 13.10.2017

  • Анализ входных и выходных характеристик биполярного транзистора, используя включения с общей базой. Определение по построенным характеристикам графоаналитическим способом h-параметров. Значение элементов схемы R1/R4 и пределы измерительных приборов.

    лабораторная работа, добавлен 16.09.2017

  • Написание структурной формулы в дизъюнктивной форме, используя метод тождественных преобразований и табличный метод, основанный на применении карт Карно. Составление таблицы истинности не полностью определенной булевой функции четырех переменных.

    контрольная работа, добавлен 20.01.2016

  • Создание и расчет асинхронного и синхронного автоматов по Мили и по Муру, используя заданную последовательность сигналов. Составление таблицы переходов, кодирование состояний. Определение входных сигналов триггеров и функций выхода цифрового автомата.

    контрольная работа, добавлен 27.03.2012

  • Рассмотрение последовательности изготовления патч-корда, используя материалы и оборудование: кримпер, сетевой кабель (неэкранированная витая пара UTP5), коннекторы. Изучение схемы обрезки проводников витой пары и цветовой схемы кроссовер-кабеля.

    лабораторная работа, добавлен 26.03.2015

  • Структура гиратора как электронного устройства, имитирующего свойства катушки индуктивности. Получение усилителя с резонансной частотной характеристикой или генератора колебаний. Определение значения генерируемой частоты, используя фигуры Лиссажу.

    лабораторная работа, добавлен 10.09.2015

  • Нахождение коэффициента направленного действия (КНД) пирамидальной рупорной антенны, используя зеркальный метод Парсела. Сравнение полученных экспериментальных результатов с результатами теоретических расчетов. Обсуждение причин возможных расхождений.

    лабораторная работа, добавлен 20.05.2022

  • Характеристика методов улучшения точности позиционирования транспортного средства, используя ограниченный набор сенсоров и карту в условиях плохого GPS-сигнала. Системы спутниковой навигации. Сравнение результатов фильтра частиц с фильтром Калмана.

    статья, добавлен 14.07.2020

  • Синтезировать регулятор, используя метод моментов, метод матричных операторов, спектральный метод, метод минимизации функционала в частотной области и метод минимизации функционала во временной области. Для системы синтезировать модальный регулятор.

    курсовая работа, добавлен 21.01.2009

  • Сущность элементов микросистемной техники как устройств с интегрированными в объеме или на поверхности твердого тела электрическими структурами. Технологические операции, используемые в микроэлектронике: окисление, фотолитография, травление, легирование.

    лекция, добавлен 26.10.2013

  • Конструкторская классификация составных частей радиоэлектронной аппаратуры, схемотехнические элементы, их компоновка и взаимосвязь. Технология печатных плат. Метод травления меди с проблемных мест. Искажение профиля печатных проводников при травлении.

    контрольная работа, добавлен 20.09.2012

  • Характеристика кремниевой объёмной микрообработки. Рассмотрение маскирования полимерами и тонкими плёнками. Изучение прохождения химического осаждения из паровой фазы при пониженном давлении поликристаллического кремния или фосфорокварцевого стекла.

    лекция, добавлен 26.10.2013

  • Определение физико-химических свойств материалов для изготовления ступенчатых волноводов методами плавления стекла, его парофазного (внешнего, осевого) и плазменного осаждения. Изучение строения оптоволоконного кабеля и его защиты от внешних факторов.

    реферат, добавлен 27.11.2009

  • Послойная структура многослойных плат. Гибкость при распределении сигнальных слоев и плоскостей питания. Функциональные требования к модулю. Стандартные материалы, применяемые при изготовлении печатных плат. Травление структуры печатных проводников.

    реферат, добавлен 25.04.2017

  • Свойства пористого фосфида индия, энергетические параметры его монокристаллической фазы. Травление фосфида индия в кислых средах. Электрохимическая обработка монокристаллов фосфида индия. Создание быстродействующих интегральных схем малой энергоемкости.

    статья, добавлен 24.02.2016

  • Апробация методов, необходимых для создания прибора на основе микроконтроллера. Составление принципиальной электрической схемы электронного устройства. Подбор оптимального раствора для травления печатных плат. Написание программы для микроконтроллера.

    творческая работа, добавлен 03.05.2019

  • Изучение влияния помех, возникающих независимо от формирования изображения оптической системой, на качество отображения, восстанавливаемое методом опорного изображения. Виды искажений, которые локализуются на пространственном спектре изображения.

    статья, добавлен 30.10.2018

  • Базовые технологические операции изготовления интегральных микросхем. Операция наращивания на подложке монокристаллического слоя. Получение эпитаксиальных пленок. Использование светочувствительных материалов. Ионное легирование и термическое окисление.

    доклад, добавлен 22.05.2016

  • Физико-химические и технологические основы получения легированных анодных оксидных пленок кремния для создания элементов полупроводниковых приборов и интегральных микросхем. Кинетика анодного окисления кремния и его соединений в легирующих электролитах.

    автореферат, добавлен 30.01.2018

  • Моделирование вольт-амперных характеристик диода Шоттки на карбиде кремния 4H-SiC c контактом Шоттки из титана (Ti), с использованием программы TCAD. Максимальная напряженность электрического поля для карбида кремния, график обратной характеристики.

    статья, добавлен 03.11.2018

  • Исследование влияния шума и ошибок в определении аппаратной функции на восстановление изображения с помощью метода опорного изображения и фильтрации по методу Винера. Негативное влияние помех различного происхождения на процесс формирования изображений.

    статья, добавлен 30.10.2018

Работы в архивах красиво оформлены согласно требованиям ВУЗов и содержат рисунки, диаграммы, формулы и т.д.
PPT, PPTX и PDF-файлы представлены только в архивах.
Рекомендуем скачать работу и оценить ее, кликнув по соответствующей звездочке.