Технологии производства микроактюаторов
Характеристика кремниевой объёмной микрообработки. Рассмотрение маскирования полимерами и тонкими плёнками. Изучение прохождения химического осаждения из паровой фазы при пониженном давлении поликристаллического кремния или фосфорокварцевого стекла.
Подобные документы
Определение физико-химических свойств материалов для изготовления ступенчатых волноводов методами плавления стекла, его парофазного (внешнего, осевого) и плазменного осаждения. Изучение строения оптоволоконного кабеля и его защиты от внешних факторов.
реферат, добавлен 27.11.2009Описание и работа установки "УНТ-2" для синтеза УНТ. Предложение конструктивно-технологических методов высокоселективного синтеза углеродных наноструктур с контролируемыми параметрами на основе процессов химического осаждения из парогазовой фазы.
курсовая работа, добавлен 12.10.2015Материалы, используемые для формирования элементов МСТ в LIGA-технологии. LIGA-технологии как возможность создания элементов МСТ большой толщины с вертикальными сторонами. Технология поверхностной микрообработки. MUMPs-технология, планарные элементы МСТ.
курс лекций, добавлен 26.10.2013Оптимальные конструкции резонаторных сверхвысокочастотных плазмотронов. Методы плазмохимического внутреннего осаждения оптических структур заготовок специальных двухслойных волоконных световодов на основе кварцевого стекла, легированного фтором и азотом.
статья, добавлен 07.11.2018Принцип работы и структура прибора с зарядовой связью. Достоинства и ограничения ПЗС. Сечение трёхфазного ПЗС с электродами из поликристаллического кремния и с виртуальной фазой. Запоминающее устройство на ПЗС, способ управления записью информации.
реферат, добавлен 14.10.2015Рост популярности метод электрофоретического осаждения в микроэлектронике. Исследование преимуществ метода электрофоретического осаждения. Основные факторы, влияющие на процесс. Экспериментальное исследование процесса осаждения с заданным составом.
курсовая работа, добавлен 14.06.2018Интенсивность звука, понятие структурных акустических волн. Акустические и виброакустические каналы утечки информации. Работа инфракрасной технологии прослушивающих устройств и простейший модулятор оконного стекла. Модулятор стекла с плавающей частотой.
курсовая работа, добавлен 23.01.2015Основные понятия и методы контрастирующей фотографии. Повышение различаемости слабовидимых деталей методом резкого маскирования. Ослабление мешающих деталей методом субтрактивного маскирования. Увеличение передаваемого на снимке интервала яркости объекта.
курсовая работа, добавлен 29.05.2010Нанесение изображения через маску 2-го уровня (углубление) используя фотолитографию и глубинное реактивное ионное травление. Изучение осаждения 1-ого слоя оксида, используя LPCVD. Удаление ненужного поликремния, используя реактивное ионнное травление.
презентация, добавлен 26.10.2013Методы нанесения слоя фоторезиста на подложки микросхемы. Схема удаления и проявления фоторезиста. Нанесение слоя оксида кремния SiO2 в качестве межуровнего диэлектрика и низкотемпературного фосфоросиликатного стекла. Контроль блока металлизации.
контрольная работа, добавлен 25.06.2016Анализ технологических операций при изготовлении тонкопленочных солнечных элементов. Изменение удельной электропроводности кремниевой пленки. Применение лазерного отжига. Выбор оптимальной мощности для получения наилучших электрофизических параметров.
статья, добавлен 29.07.2017Восстановление видеокадра в шумах. Анализ современных методов маскирования видеосигнала. Разрушение и компенсация синхроимпульсов адаптивным видеошумовым сигналом. Процесс маскирования от утечки видеосигналов систем передачи и обработки видеоинформации.
статья, добавлен 02.06.2015Определение места пленочных нанофаз среди фаз, стабилизированных подложкой. Возможные применения пленочных нанофаз в кремниевых наносхемах, в безрезистной нанолитографии, в кремниевой нанофотонике и наноспинтронике. Условия образования пленочных нанофаз.
статья, добавлен 13.11.2018Оценка влияния параметров процесса газофазного осаждения нитрида кремния (Si3N4) на механические напряжения пленок. Определение размерного фактора, позволяющего управлять чувствительностью гофрированной мембраны для миниатюрного акустического датчика.
автореферат, добавлен 31.07.2018Разработка технологий и эффективного технологического оборудования, в том числе магнетронных распылительных систем для нанесения энергосберегающих (низкоэмиссионных и электрохромных) тонкопленочных покрытий на архитектурные стекла и полимерные пленки.
автореферат, добавлен 17.09.2018Физико-химические и технологические основы получения легированных анодных оксидных пленок кремния для создания элементов полупроводниковых приборов и интегральных микросхем. Кинетика анодного окисления кремния и его соединений в легирующих электролитах.
автореферат, добавлен 30.01.2018Рассмотрение эффективности реализации алгоритмов цифровой обработки сигналов, необходимых для обнаружения факта разбития стекла в контролируемом помещении. Анализ существующих схем построения извещателей в системах охранно-пожарной сигнализации.
статья, добавлен 27.02.2018Моделирование вольт-амперных характеристик диода Шоттки на карбиде кремния 4H-SiC c контактом Шоттки из титана (Ti), с использованием программы TCAD. Максимальная напряженность электрического поля для карбида кремния, график обратной характеристики.
статья, добавлен 03.11.2018Особенности развития кремниевой микроэлектроники как отрасли. История производства изделий микроэлектроники. Производители логических схем имеющие собственные фабрики. Основные пути развития информационных технологий и возможности снижения затрат.
статья, добавлен 29.05.2017Современный процесс по организации производства радиоэлектронной аппаратуры, формы специализации цехов. Основные понятия технологии производства аппаратуры и ее технологические особенности. Основные задачи планирования технологической подготовки.
статья, добавлен 15.11.2018Определение параметров технологического процесса, обеспечивающих наибольшую производительность и равномерность сверхвысокочастотной плазменной обработки. Получение полупроводниковых аморфных пленок кремния и его соединений, их электрофизические свойства.
автореферат, добавлен 13.04.2018Основные способы решения фазовой неоднозначности и развертки фазы в двухчастотном интерферометре с синтезированием апертуры антенны. Разделение ошибок оценки абсолютной фазы на нормальные и аномальные. Развертка фазы для двухчастотного интерферометра.
статья, добавлен 03.11.2018- 23. Наноструктурированные пленки на основе аморфного гидрогенизированного кремния для оптоэлектроники
Получение и исследование наноструктурированных пленок аморфного гидрогенизированного кремния, обладающих высокой фоточувствительностью и стабильностью. Расчет излучательной способности наноструктурированных пленок в видимом и инфракрасном диапазонах.
автореферат, добавлен 31.07.2018 Изучение проактивных средств и систем защиты информации, реализованных с применением технологий киберобмана. Исследование одного из вариантов реализации таких средств и систем – "сетевой ловушки", на основе программного средства LaBrea, его алгоритм.
статья, добавлен 02.04.2019Рассмотрение понятий технологии LTE в сотовых сетях. Характеристика архитектуры технологии LTE. Определение пространственных параметров сети. Выбор оборудования базовых станций. Расчет годовых эксплуатационных расходов. Оценка экономической эффективности.
курсовая работа, добавлен 17.12.2018