Методы и средства измерений линейных размеров в нанометровом диапазоне

Разработка методов и средств измерений линейных размеров элементов в субмикронной и нанометровой областях. Перспективы уменьшения критического размера элемента микросхемы от 0,35 до 0,07 мкм при сохранении погрешности их измерения в контрольной операции.

Подобные документы

  • Операции и средства поверки. Определение диапазона и основной погрешности измерения частоты входного сигнала. Определение погрешности калиброванных частотных интервалов или меток и погрешности измерения отношения амплитуд спектральных составляющих.

    реферат, добавлен 09.02.2009

  • Контактные измерения профилометрами различных моделей. Конструктивные особенности объекта измерений и средства измерений. Принципы, положенные в основу создания средств измерения. Схемы использования индикаторных головок (перпендикулярность поверхности).

    контрольная работа, добавлен 25.04.2024

  • Повышение точности измерений в промышленности как один из существенных резервов повышения качества продукции. Рассмотрение основных целей измерений. Характеристика методов повышения точности измерений, примеры использования информационной избыточности.

    реферат, добавлен 15.07.2012

  • Средства измерения и их основные элементы. Статистические и динамические характеристики, чувствительность измерительных приборов. Обзор датчиков как источников информации. Изучение особенностей использования сенсоров и схем обработки полученного сигнала.

    лекция, добавлен 30.07.2015

  • Основные понятия о методах и системах измерения (СИ). Классификация средств измерений. Формы представления и нормирование погрешностей СИ, классы точности. Общие требования к СИ электрических величин. Характеристики и классификация измерительных приборов.

    презентация, добавлен 22.01.2016

  • Классификация цифровых измерительных приборов по методу измерений и форме представления показаний, по роду измеряемой величины и по способу получения данных. Описание современных средств контроля и измерений размеров изделий для машиностроения.

    реферат, добавлен 13.04.2011

  • Виды погрешности приборов, условия, последовательность и содержание операций их поверки. Выбор и обоснование рабочих эталонов. Государственная поверочная схема средств измерения влажности. Метрологическая оценка погрешностей, оформление результатов.

    курсовая работа, добавлен 05.01.2019

  • Построение эмпирических распределений параметров элементов входного сопротивления. Идентификация законов распределения случайных величин. Особенность использования методов обнаружения и исключения систематической составляющей погрешности измерения.

    курсовая работа, добавлен 17.02.2019

  • Объективные оценки результатов измерений коэффициента ошибок. Генераторы гармонических сигналов для измерения в каналах и трактах. Оценивание качества каналов тональной частоты методом шумовой загрузки. Характеристика измерения остаточного затухания.

    контрольная работа, добавлен 30.11.2018

  • Принципы организации проверки средств измерений на железнодорожном транспорте в устройствах автоматики и телемеханики. Способы рациональных, достоверных специальных измерений, методы технического диагностирования устройств и автоматизации измерений.

    методичка, добавлен 03.08.2013

  • Понятие и сущность средств измерений, их описание, отличительные черты и использование. Классификация средств измерений, их метрологические характеристики. Поверка и сертификация средств измерений, мера физической величины и измерительные приборы.

    реферат, добавлен 02.07.2015

  • Оценка результатов измерений коэффициента ошибок при роботе телекоммуникационных систем. Назначение гармонических сигналов, их измерения, определение качества каналов тональной частоты методом шумовой загрузки. Измерения в цифровых системах передачи.

    контрольная работа, добавлен 21.03.2016

  • Основные приборы и средства измерений частоты, периода и других временных параметров электрических сигналов. Методы переноса частоты СВЧ-колебания. Цифровой способ измерения частоты гармонического сигнала. Составляющие погрешности измерения частоты.

    статья, добавлен 20.02.2014

  • Алгоритм выявления и коррекции систематической составляющей погрешности. Повышение точности информации, получаемой от средств измерений траектории полёта. Структурная схема оптико-электронных станций. Основные элементы дискриминатора и экстраполятора.

    статья, добавлен 05.02.2014

  • Периодическая поверка средств измерений - основной вид учета систематических погрешностей. Разработка системы поверки радиокоммуникационного сервисного тестера РСТ-430. Этапы, средства, операции разработки поверки, экспериментально-методологическая часть.

    курсовая работа, добавлен 27.02.2009

  • Разработка интегральной микросхемы в соответствии с требованиями, приведенными в техническом задании. Электрический расчет схемы с помощью программы электрического моделирования "VITUS". Топологии микросхемы, расчет геометрических размеров элементов.

    курсовая работа, добавлен 25.03.2010

  • Значение физической величины и ее измерение. Группы мер и измерительных приборов. Погрешности прямых многократных измерений. Основные положения метрологического обеспечения. Классификация электрорадиоизмерительных приборов. Измерение тока и напряжения.

    курс лекций, добавлен 06.02.2014

  • Требования к методам и средствам регистрации излучений. Новейшие исследования и разработки в области электронных цифровых приёмных устройств оптического излучения. Задача повышения пространственного разрешения при сохранении линейных размеров пикселей.

    статья, добавлен 07.11.2018

  • Методы измерений: непосредственная оценка и сравнение с мерой. Измерительный преобразователь, прибор и установка. Измерительно-информационная система. Метрологические характеристики средств измерений, а также статическая характеристика преобразования.

    реферат, добавлен 02.03.2016

  • Обоснование необходимости определения суммарной погрешности рабочего и эталонного средств измерений при осуществлении контроля их метрологических характеристик. Рассмотрение применения контрольных карт Шухарта для контроля измерительного процесса.

    статья, добавлен 30.09.2016

  • Предмет и задачи метрологии. Критерии оценки степени доверия к приборам. Определение точности, погрешности и стабильности средств измерений. Методология проведения испытаний первичных преобразователей расхода и температуры. Сверка номеров Госреестра.

    статья, добавлен 27.02.2017

  • Оценка качества измерений с использованием неопределенности измерений и показателя точности (прецизионности и правильности). Обеспечение качества результатов измерений испытательной лаборатории на примере измерения технического светового выхода.

    статья, добавлен 14.07.2016

  • Критерии методов измерения затухания, которое осуществляется на всех стадиях производства оптического кабеля, строительства, эксплуатации ВОЛС. Измерение коэффициента ошибок, уровней оптической мощности, как важнейшей характеристики линейного тракта.

    реферат, добавлен 27.11.2009

  • Характеристика главных проблем и направлений развития метрологического обеспечения средств измерений. Особенность разработки и эксплуатации интеллектуальных датчиков. Анализ ускорения создания новых средств измерений с метрологическим самоконтролем.

    статья, добавлен 09.04.2019

  • Понятие об измерениях, терминология и определения. Классификация методов измерений. Электронно-лучевые осциллографы. Общие свойства электромеханических приборов. Статистический метод измерения нелинейных искажений. Преобразователи электронных вольтметров.

    учебное пособие, добавлен 06.04.2012

Работы в архивах красиво оформлены согласно требованиям ВУЗов и содержат рисунки, диаграммы, формулы и т.д.
PPT, PPTX и PDF-файлы представлены только в архивах.
Рекомендуем скачать работу и оценить ее, кликнув по соответствующей звездочке.