Методы и средства измерений линейных размеров в нанометровом диапазоне
Разработка методов и средств измерений линейных размеров элементов в субмикронной и нанометровой областях. Перспективы уменьшения критического размера элемента микросхемы от 0,35 до 0,07 мкм при сохранении погрешности их измерения в контрольной операции.
Подобные документы
Операции и средства поверки. Определение диапазона и основной погрешности измерения частоты входного сигнала. Определение погрешности калиброванных частотных интервалов или меток и погрешности измерения отношения амплитуд спектральных составляющих.
реферат, добавлен 09.02.2009Контактные измерения профилометрами различных моделей. Конструктивные особенности объекта измерений и средства измерений. Принципы, положенные в основу создания средств измерения. Схемы использования индикаторных головок (перпендикулярность поверхности).
контрольная работа, добавлен 25.04.2024Повышение точности измерений в промышленности как один из существенных резервов повышения качества продукции. Рассмотрение основных целей измерений. Характеристика методов повышения точности измерений, примеры использования информационной избыточности.
реферат, добавлен 15.07.2012Средства измерения и их основные элементы. Статистические и динамические характеристики, чувствительность измерительных приборов. Обзор датчиков как источников информации. Изучение особенностей использования сенсоров и схем обработки полученного сигнала.
лекция, добавлен 30.07.2015Основные понятия о методах и системах измерения (СИ). Классификация средств измерений. Формы представления и нормирование погрешностей СИ, классы точности. Общие требования к СИ электрических величин. Характеристики и классификация измерительных приборов.
презентация, добавлен 22.01.2016Классификация цифровых измерительных приборов по методу измерений и форме представления показаний, по роду измеряемой величины и по способу получения данных. Описание современных средств контроля и измерений размеров изделий для машиностроения.
реферат, добавлен 13.04.2011Виды погрешности приборов, условия, последовательность и содержание операций их поверки. Выбор и обоснование рабочих эталонов. Государственная поверочная схема средств измерения влажности. Метрологическая оценка погрешностей, оформление результатов.
курсовая работа, добавлен 05.01.2019Построение эмпирических распределений параметров элементов входного сопротивления. Идентификация законов распределения случайных величин. Особенность использования методов обнаружения и исключения систематической составляющей погрешности измерения.
курсовая работа, добавлен 17.02.2019Объективные оценки результатов измерений коэффициента ошибок. Генераторы гармонических сигналов для измерения в каналах и трактах. Оценивание качества каналов тональной частоты методом шумовой загрузки. Характеристика измерения остаточного затухания.
контрольная работа, добавлен 30.11.2018Принципы организации проверки средств измерений на железнодорожном транспорте в устройствах автоматики и телемеханики. Способы рациональных, достоверных специальных измерений, методы технического диагностирования устройств и автоматизации измерений.
методичка, добавлен 03.08.2013Понятие и сущность средств измерений, их описание, отличительные черты и использование. Классификация средств измерений, их метрологические характеристики. Поверка и сертификация средств измерений, мера физической величины и измерительные приборы.
реферат, добавлен 02.07.2015Оценка результатов измерений коэффициента ошибок при роботе телекоммуникационных систем. Назначение гармонических сигналов, их измерения, определение качества каналов тональной частоты методом шумовой загрузки. Измерения в цифровых системах передачи.
контрольная работа, добавлен 21.03.2016Основные приборы и средства измерений частоты, периода и других временных параметров электрических сигналов. Методы переноса частоты СВЧ-колебания. Цифровой способ измерения частоты гармонического сигнала. Составляющие погрешности измерения частоты.
статья, добавлен 20.02.2014Алгоритм выявления и коррекции систематической составляющей погрешности. Повышение точности информации, получаемой от средств измерений траектории полёта. Структурная схема оптико-электронных станций. Основные элементы дискриминатора и экстраполятора.
статья, добавлен 05.02.2014Периодическая поверка средств измерений - основной вид учета систематических погрешностей. Разработка системы поверки радиокоммуникационного сервисного тестера РСТ-430. Этапы, средства, операции разработки поверки, экспериментально-методологическая часть.
курсовая работа, добавлен 27.02.2009Разработка интегральной микросхемы в соответствии с требованиями, приведенными в техническом задании. Электрический расчет схемы с помощью программы электрического моделирования "VITUS". Топологии микросхемы, расчет геометрических размеров элементов.
курсовая работа, добавлен 25.03.2010Значение физической величины и ее измерение. Группы мер и измерительных приборов. Погрешности прямых многократных измерений. Основные положения метрологического обеспечения. Классификация электрорадиоизмерительных приборов. Измерение тока и напряжения.
курс лекций, добавлен 06.02.2014Требования к методам и средствам регистрации излучений. Новейшие исследования и разработки в области электронных цифровых приёмных устройств оптического излучения. Задача повышения пространственного разрешения при сохранении линейных размеров пикселей.
статья, добавлен 07.11.2018- 19. Метод измерений
Методы измерений: непосредственная оценка и сравнение с мерой. Измерительный преобразователь, прибор и установка. Измерительно-информационная система. Метрологические характеристики средств измерений, а также статическая характеристика преобразования.
реферат, добавлен 02.03.2016 Обоснование необходимости определения суммарной погрешности рабочего и эталонного средств измерений при осуществлении контроля их метрологических характеристик. Рассмотрение применения контрольных карт Шухарта для контроля измерительного процесса.
статья, добавлен 30.09.2016Предмет и задачи метрологии. Критерии оценки степени доверия к приборам. Определение точности, погрешности и стабильности средств измерений. Методология проведения испытаний первичных преобразователей расхода и температуры. Сверка номеров Госреестра.
статья, добавлен 27.02.2017Оценка качества измерений с использованием неопределенности измерений и показателя точности (прецизионности и правильности). Обеспечение качества результатов измерений испытательной лаборатории на примере измерения технического светового выхода.
статья, добавлен 14.07.2016Критерии методов измерения затухания, которое осуществляется на всех стадиях производства оптического кабеля, строительства, эксплуатации ВОЛС. Измерение коэффициента ошибок, уровней оптической мощности, как важнейшей характеристики линейного тракта.
реферат, добавлен 27.11.2009Характеристика главных проблем и направлений развития метрологического обеспечения средств измерений. Особенность разработки и эксплуатации интеллектуальных датчиков. Анализ ускорения создания новых средств измерений с метрологическим самоконтролем.
статья, добавлен 09.04.2019Понятие об измерениях, терминология и определения. Классификация методов измерений. Электронно-лучевые осциллографы. Общие свойства электромеханических приборов. Статистический метод измерения нелинейных искажений. Преобразователи электронных вольтметров.
учебное пособие, добавлен 06.04.2012