Процессы получения легированных эпитаксиальных слоев кремния
Процесс получения легированных эпитаксиальных слоев кремния в силановой технологии. Получение нелегированных или слабо легированных эпитаксиальных кремниевых слоев. Использование летучих неорганических соединений легирующих элементов: арсин, стибин.
Подобные документы
Оборудование и методы осаждения вещества. Газофазная эпитаксия - процесс осаждения эпитаксиальных слоев из газовой фазы. Конструкция камер для газофазного наращивания. Достоинства метода эпитаксиального наращивания. Получение поликристаллического кремния.
реферат, добавлен 12.01.2016Свойства пленок нитрида кремния. Электронная структура нитрида кремния. Способы получения пленок нитрида кремния. Высокотемпературные акустические приемники. Датчик газового анализатора. Применение тонких пленок нитрида кремния в микроэлектронике.
курсовая работа, добавлен 06.10.2019Влияние легирующих элементов на структурные свойства сплавов в жидком и твердом состояниях. Разработка комплексно-легированных серых и белых чугунов специального назначения. Технология синтеза легирующих элементов на основе минеральных концентратов.
автореферат, добавлен 14.02.2018Химический состав и механические свойства легированных среднеуглеродистых сталей. Технологии получения высокой прочности и вязкости легированных конструкционных сталей путем подбора химического состава и за счет применения термомеханической обработки.
реферат, добавлен 17.05.2016Основы термического вакуумного распыления. Особенности формирования тонких плёнок термовакуумным, ионным, молекулярно-лучевой эпитаксией, химическими и электрохимическими методами. Химические основы процесса получения эпитаксиальных плёнок кремния.
учебное пособие, добавлен 26.11.2013Обоснование необходимости создания новых материалов с повышенным комплексом свойств. Место легированных сталей в развитии промышленных комплексов. Экспериментальное оборудование для исследований высокотемпературных образований в легированных сталях.
реферат, добавлен 16.07.2012Механические, химические, физические и электрофизические свойства кремния. Применение кремния в электронной технике. Способы получения технического кремния. Способы получения и очистки трихлорсилана. Методы производства монокристаллического кремния.
реферат, добавлен 08.10.2017Закономерности при разработке экономно легированных порошковых проволок на основе железа для износостойких и жаростойких применений. Получение слоев при сварке, наплавке и напылении: износостойких со структурой метастабильного аустенита и жаростойких.
статья, добавлен 25.10.2018Анализ, особенности обработки металлов резанием и сварка легированных, аустенитных и жаропрочных сталей. Рассмотрение основных легирующих элементов и их свойств, особенности и отличия аустенитных и ферритных сталей и специфика жаропрочных сталей.
статья, добавлен 29.08.2022Назначение и содержание легирующих элементов. Влияние элементов на полиморфизм железа. Различие между углеродистыми и легированными сталями. Основные марки быстрорежущей инструментальной стали. Легированные инструментальные и конструкционные стали.
лекция, добавлен 21.10.2013Описание процесса кристаллизации для легированных сталей с добавками кобальта и ванадия. Определение соотношения фаз и структурных составляющих в сплаве при заданной температуре. Фазовые области на диаграмме кобальт-ванадий, линии ликвидуса и солидуса.
реферат, добавлен 12.12.2014Определение преимуществ легированных латуней, которые занимают лидирующее место среди конструкционных машиностроительных материалов. Рассмотрение основных видов дефектов при горячей прокатке. Ознакомление с главными видами брака при прессовании.
статья, добавлен 27.10.2018Химический состав и область применения выбранной стали. Выбор стали для подшихтовки. Расчётные формулы для получения стали методом переплава легированных отходов. Ожидаемый химический состав по расплавлении шихты, угар элементов во время плавления.
контрольная работа, добавлен 21.11.2014Возможность получения в плавильном пространстве восстановительной или нейтральной атмосферы и различного давления при получении стали в дуговых печах. Порядок легирования при выплавке легированных сталей в электродуговых печах. Одношлаковый процесс.
курсовая работа, добавлен 27.05.2014Наплавка и газотермическое нанесение покрытий. Получение поверхностных слоев нанесением расплавленного присадочного материала методом сварки. Материалы, применяемые для наплавочных работ. Виды химико-термической обработки поверхностей заготовок.
статья, добавлен 24.08.2020Теоретическая сущность способа электрошлаковой сварки металлов. Схема выполнения процесса пластичным электродом и плавящимся мундштуком. Общая характеристика достоинств и недостатков применения данного способа. Особенности сварки легированных сталей.
контрольная работа, добавлен 20.10.2010Ознакомление легирующих элементов повышающих стоимость стали. Способы борьбы с распадом металла. Обоснование воздействия легированных элементов стали на полиморфизм железа и превращение перлита в аустенит. Изучение изотермического распада аустенита.
презентация, добавлен 14.10.2013Применение добавочных видов механической обработки для повышения усталостной прочности сварных соединений. Влияние наноструктурирования поверхностных слоев методом ультразвукового пластического деформирования на структуру соединений, выполненных сваркой.
статья, добавлен 27.10.2018Влияние элементов на полиморфизм железа. Конструкционные стали, применяемые для изготовления разнообразных деталей машин. Исследование влияния легирующих элементов на превращение перлита в аустенит. Достоинства и недостатки легированных сталей, их виды.
лекция, добавлен 18.10.2013Изучение возможности металлотермического получения кристаллического кремния (КК) с использованием в качестве восстановителя различных видов углеродистых восстановителей. Анализ получения КК из кварца с использованием спецкокса и длиннопламенного угля.
статья, добавлен 24.05.2018Изучение способов производства железоуглеродистых сплавов, содержащих углерод. Особенности выплавки стали в мартеновских печах, конвертерах и электропечах. Характеристика процесса прокатки металла. Принципы литья углеродистых и легированных сталей.
реферат, добавлен 03.11.2013Разработка технологии очистки ряда алкоголятов металлов и кремнийсодержащих для получения веществ высокой чистоты с использованием процессов адсорбции и фильтрации. Возможности использования этих продуктов для нанесения на различные поверхности.
автореферат, добавлен 02.09.2018Классификация легированных сталей, их достоинства и недостатки. Требования к конструкционным сталям. Полиморфизм железа. Влияние легирующих элементов при отпуске, на превращение переохлажденного аустенита, перлита в аустенит, на мартенситное превращение.
лекция, добавлен 29.09.2013Характеристика основных легирующих элементов и их влияния на свойства стали. Методика маркировки высоколегированных стальных материалов. Применение инструментальных сталей для изготовления режущих, измерительных и ударно-штамповочных инструментов.
презентация, добавлен 23.12.2014Система обозначений марок легированных сталей. Диаграммы изотермического распада аустенита в легированных сталях. Конструкционные стали: строительные, высокопрочные, коррозионностойкие. Стали и сплавы на основе железа с особыми физическими свойствами.
реферат, добавлен 10.04.2018