Аномальный тлеющий разряд в процессах нанесения функциональных покрытий
Зависимость ионов от мощности в аномальном тлеющем разряде в магнитном поле. Влияние метода магнетронного распыления на модель строения неоднородных по структуре пленок оксидов металлов. Специфика потока плазмы смеси газов аномального тлеющего разряда.
Подобные документы
Исследование распределения температуры и плотности заряженных частиц, спектральных характеристик излучения тлеющего разряда низкого давления в продольном магнитном поле. Релаксация пучка быстрых электронов. Анализ интенсивности спектрального излучения.
автореферат, добавлен 31.10.2018Определение понятия тлеющего барьерного разряда. Ознакомление с принципом работы и конструкцией плазменного коагулятора. Определение показателей напряжения и тока для тлеющего разряда при атмосферном давлении в благородных газах (гелии, аргоне).
реферат, добавлен 13.07.2013Исследование пробоя газов во внешнем магнитном поле. Формирование и развитие искрового канала газового пробоя при изменении начальных условий. Влияние анизотропии, вызванной внешним продольным критическим магнитным полем, на характеристики разряда.
диссертация, добавлен 28.10.2018Появление новых областей приложения газового разряда: лазеры, плазмохимия, термоэмиссионные преобразователи, плазменные технологии поверхностей, нанотехнологии и другие. Проведение общего сравнительного анализа тлеющего и дугового разрядов в газах.
статья, добавлен 28.09.2018Особенности проводимости газов. Электроток в газе как направленное движение положительных ионов к катоду, а отрицательных ионов и электронов к аноду. Самостоятельный газовый разряд, техническое применение его типов: тлеющего, коронного, дугового, плазмы.
реферат, добавлен 24.01.2014Основные свойства тлеющего разряда. Сущность диффузионного механизма горения. Время зажигания разряда и восстановления электрической прочности прибора. Восстановление электрической прочности разрядного промежутка. Распределение свечения и энергии.
лекция, добавлен 11.08.2014Понятие и содержание метода пульверизации, его недостатки. Определение поверхностного сопротивления пленок. Методы осаждения прозрачных проводящих покрытий из газовой фазы. Разработка технологии получения пленок ITO реактивным магнетронным распылением.
курсовая работа, добавлен 13.12.2019Развитие разряда в однородном поле при постоянном напряжении. Закон Пашена: содержание и сферы применения. Особенности развития разряда в резко-неоднородных полях. Характер и оценка влияния формы воздействующего напряжения на процесс развития разряда.
лекция, добавлен 22.07.2013Разработка стартеров тлеющего разряда и зажигающих устройств как приборов для зажигания высокоэффективных источников света. Механизмы при протекании тока, их роль в формировании импульса напряжения в стартерной схеме зажигания люминесцентных ламп.
автореферат, добавлен 14.02.2018Изучение характеристик электрического разряда в потоке пылевой плазмы, состоящей из смеси продуктов сгорания пропана в кислороде и различных порошков. Создание экспериментальной установки для исследования электрического разряда в потоке пылевой плазмы.
автореферат, добавлен 28.03.2018Проведение исследования распределений молекул азота по колебательным уровням основного состояния в плазме емкостного высокочастотного разряда магнетронного типа в смеси аргона с воздухом. Изучение концентрации заряженных частиц и температура электронов.
статья, добавлен 08.12.2018Проведено экспериментальное исследование характеристик ВЧЕ разряда магнетронного типа в метане методами оптической спектроскопии. Изучены распределения атомарного и молекулярного водорода по энергетическим уровням при различных условиях в разряде.
статья, добавлен 20.05.2018- 13. Разряды
Процесс рекомбинации ионов. Ионизация атомов электронными ударами. Метод измерения энергии ионизации. Стримерная теория искры. Молния как пример искрового разряда. Самостоятельные и несамостоятельные разряды. Особенности использования тлеющего разряда.
реферат, добавлен 12.06.2009 Исследование процесса зарядки и распыления краски. Описание основных конструкций электроокрасочных распылителей. Нанесение порошковых покрытий. Зависимость тока и плотности потока, осаждающихся на изделие частиц наносимого порошка от времени напыления.
реферат, добавлен 22.07.2013Экспериментальное исследование спектральной светимости непрерывного спектра в области отрицательного свечения тлеющего разряда. Определение вклада в светимость непрерывного спектра тормозного излучения при рассеянии электрона на нейтральной частице.
статья, добавлен 07.11.2018Исследовано влияние концентрации водорода в газовой смеси на электрические и оптические свойства пленок аморфного гидрогенизированного кремния, полученных магнетронным методом. Совершенствование магнетронного метода получения кремниевых пленок.
реферат, добавлен 24.10.2010Механизмы рассеяния ионов при бомбардировке идеальных дефектных поверхностей монокристаллов GaP (100) и пленок льда при малоугловом падении потока ионов. Особенности процессов распыления поверхностей плёнок льда, покрывающих поверхность Au (111).
автореферат, добавлен 19.06.2015Понятие плазмы как газа, молекулы которого ионизированы, суммарные заряды электронов и ионов в каждом объеме равны, а концентрация зарядов превышает минимальное значение. Диффузионная теория газоразрядной плазмы и зондовый метод измерения ее параметров.
реферат, добавлен 30.11.2011Исследование характеристик тлеющего разряда между никелевым медным дисковым электродом диаметром 3 см и межэлектродным зазором 6 см в воздухе. Осевые и радиальные распределения напряженности электрического поля, заряженных частиц и температуры электронов.
статья, добавлен 08.12.2018Изучение влияния расположения спирали внутри дилектрической трубки на ток, мощность разряда и концентрацию озона в барьерно-поверхностном разряде в диэлектрической трубке с металлической спиралью. Использование газового разряда для генерирования озона.
статья, добавлен 20.05.2018- 21. Дуговой разряд
Свойства и принципы образования дугового разряда, понятие катодного пятна. Распределение потенциала и вольтамперная характеристика при дуговом разряде, анализ температуры и излучения. Особенности применения дугового разряда в электрообработке металла.
курсовая работа, добавлен 18.03.2016 Общие свойства алмазоподобных углеродных покрытий. Анализ метода вакуумно-дугового распыления. Применение ионных источников для контроля состава и энергии осаждаемых частиц. Осаждение из плазмы, создаваемой лазерным воздействием на графитовую мишень.
курсовая работа, добавлен 23.06.2015Факторы стабильности разряда: напряжение, ток, состав газа, геометрия. Зависимость напряжения возникновения разряда от ширины зазора. Скорость потока газа для гелия, азота и воздуха. Частота и длительность импульсов. Схема экспериментальной установки.
статья, добавлен 13.07.2013Явление электрического разряда в газах, энергия ионизации. Опыты Д. Франка и Г. Герца. Возникновение искрового разряда между двумя электродами, молния. Самостоятельные и несамостоятельные разряды. Особенности коронного, тлеющего и дугового разрядов.
доклад, добавлен 18.05.2012- 25. Многоликий ток
Ток в металлах, в вакууме, полупроводниках. Ток в растворах электролитов, как упорядоченное движение ионов. Коронный электрический разряд в газе. Молния - искровой разряд в атмосфере. "Громовая машина" М.В. Ломоносова. Электрическая дуга. Тлеющий разряд.
презентация, добавлен 04.04.2015