Ионно-плазменные методы формирования тонкопленочных покрытий
Достоинства ионно-плазменного нанесения, его отличие от термовакуумного процесса. Устройства катодного распыления на постоянном токе, основные элементы магнетронных распылительных систем. Отличительные особенности осаждения пленок из ионных пучков.
Подобные документы
Роль тонкопленочной технологии в производстве интегральных микросхем. Методы формирования тонких пленок: термического испарения в вакууме, ионного распыления, ионно-термического испарения. Характеристика и свойства тонкопленочных пассивных элементов.
курсовая работа, добавлен 17.01.2011Разработка технологий и эффективного технологического оборудования, в том числе магнетронных распылительных систем для нанесения энергосберегающих (низкоэмиссионных и электрохромных) тонкопленочных покрытий на архитектурные стекла и полимерные пленки.
автореферат, добавлен 17.09.2018Пассивные устройства и полосковые линии передачи. Основные способы получения топологии элементов МЭУ СВЧ. Метод вакуумного испарения и ионно-плазменного распыления. Технология изготовления полосковых СВЧ плат. Тонкопленочная и толстопленочная технология.
презентация, добавлен 10.08.2015Составление математической модели системы автоматического регулирования на постоянном токе. Определение значения показателей качества в переходном процессе замкнутой системы. Построение логарифмических частотных характеристик корректирующего устройства.
контрольная работа, добавлен 28.03.2015Рост популярности метод электрофоретического осаждения в микроэлектронике. Исследование преимуществ метода электрофоретического осаждения. Основные факторы, влияющие на процесс. Экспериментальное исследование процесса осаждения с заданным составом.
курсовая работа, добавлен 14.06.2018Исследование динамической проводимости на постоянном токе. Отражение электромагнитных волн сверхвысокочастотного диапазона от тонких пленок гранулированных аморфных металл-диэлектрических нанокомпозитов. Модель внутригранулярных (внутрикластерных) токов.
статья, добавлен 05.11.2018Переход от микро- к наноразмерным пленкам в электронике. Работа технологической установки для формирования наноразмерных пленок и диагностической рентгено-рефлектометрической системы. Контроль параметров растущих пленок в реальном времени их формирования.
лабораторная работа, добавлен 30.11.2018Современное состояние производства гибких печатных плат. Технологические методы и оборудование для нанесения проводящего слоя на полимерную пленку. Рассмотрение методов повышения адгезионной способности покрытий. Классификация гибких печатных плат.
диссертация, добавлен 23.12.2013Проведение исследования полупроводниковых приборов со встроенным и индуцированным каналом. Характеристика температурных свойств полевых транзисторов. Особенность большого входного сопротивления устройства на постоянном токе и высокой технологичности.
лекция, добавлен 23.09.2016Достоинства, недостатки централизованных и распределенных систем. Конструкция трансформаторного дифференциального датчика. Фазовые цифровые преобразователи перемещений с косвенным преобразованием. Отличительные признаки управляющих вычислительных систем.
контрольная работа, добавлен 23.10.2017Разработка на основе системного анализа концепции автоматизации технологических процессов газотермического нанесения покрытий. Проектирование алгоритмов идентификации и методов синтеза цифровых нелинейных фильтров для функциональных подсистем АСУ ТП ГНП.
автореферат, добавлен 03.02.2018Электрические нормы на магистральные и зоновые кабельные линии. Нормы на электрические параметры симметричных ВЧ-кабелей на постоянном токе. Нормы на линии цифровых систем передачи и местной связи. Новый стандарт на электрические характеристики.
реферат, добавлен 30.08.2009Элементы конструкции интегральных схем (ИС), технологические маршруты изготовления ИС и пути их совершенствования. Влияние конструктивно-технологических факторов на надежность и коэффициент выхода годных тонкопленочных ИС с резистивными структурами.
курсовая работа, добавлен 04.12.2018Оценка влияния параметров процесса газофазного осаждения нитрида кремния (Si3N4) на механические напряжения пленок. Определение размерного фактора, позволяющего управлять чувствительностью гофрированной мембраны для миниатюрного акустического датчика.
автореферат, добавлен 31.07.2018Общие принципы построения спутниковых навигационных систем и формирования сигналов в них. Принцип устройства автоподстройки частоты и формирования кодов. Методы измерений при применении спутниковых навигационных систем. Рассмотрение возможных альтернатив.
дипломная работа, добавлен 05.10.2013Устройство и принцип работы газоразрядных дисплеев. Функциональные возможности плазменного монитора. Преимущества и недостатки газоразрядных мониторов. Тенденции развития современных газоразрядных мониторов. Примеры газоразрядных мониторов Panasonic.
курсовая работа, добавлен 29.03.2012- 17. Аморфные сплавы
Способы получения аморфных сплавов, их классификация. Закалка из жидкого состояния. Осаждение на охлаждаемые подложкой ионно-плазменном и термическом напылении. Аморфизация электроискровым разрядом. Структуры аморфных сплавов, ионная имплантация.
реферат, добавлен 17.03.2021 Основной анализ коэффициента усиления напряжения на постоянном токе. Главная особенность скорости нарастания входных и выходных усилий. Характеристика схемы дифференциального усилителя для увеличения мощности подключенного к мостовой конфигурации.
лабораторная работа, добавлен 04.02.2015Маршруты формирования пленок на поверхности сапфира для газочувствительных датчиков с использованием лазерного излучения длиной волны 1064 нм. Экспериментальная оценка применения лазерного излучения для получения тонких пленок на поверхности подложки.
статья, добавлен 29.07.2017Методы очистки подложек интегральных схем и деталей электровакуумных приборов. Технология получения и изучения свойств тонких пленок. Изготовление оксидного катода и его испытание в разборной лампе. Технология люминофоров и люминесцирующих покрытий.
методичка, добавлен 27.10.2017Выбор типа проводимости транзисторов. Синтез конфигурации схемы питания усилительных каскадов постоянными напряжениями и токами. Расчет элементов на постоянном токе. Мероприятия по снижению влияния дестабилизирующих факторов. Коэффициент усиления тракта.
курсовая работа, добавлен 04.04.2023Разработка программы в среде Pascal ABC, предназначенной для моделирования поведения линейной схемы на постоянном токе. Моделирование линейных электронных схем постоянного тока при прямом формировании узловых уравнений с управляемыми источниками токов.
курсовая работа, добавлен 14.05.2015Понятие и основные принципы работы системы оповещения о пожаре и других чрезвычайных ситуациях. Типы систем оповещения, их отличительные черты. Состав оборудования систем оповещения. Особенности проектирования систем управления и оповещения эвакуацией.
реферат, добавлен 24.01.2009Определение физико-химических свойств материалов для изготовления ступенчатых волноводов методами плавления стекла, его парофазного (внешнего, осевого) и плазменного осаждения. Изучение строения оптоволоконного кабеля и его защиты от внешних факторов.
реферат, добавлен 27.11.2009Необходимость использования RLC-элементов в качестве блоков наноэлектрических схем. Методика изготовления образцов с высоким значением кинетической индуктивности и требования к ним. Принципы и правила нанесения тонкопленочных материалов подложки.
курсовая работа, добавлен 01.12.2019