Понятие и операции фотолитографии
Литография - технологический метод, предназначенный для формирования на подложке топологического рисунка микросхемы с помощью чувствительных к излучению покрытий. Задачи и операции фотолитографии. Сушка проявленного слоя, удаление с подложки фоторезиста.
Подобные документы
Исследование теплофизических свойств так называемых "жидких теплоизолирующих покрытий", содержащих в своем составе полые стеклянные микросферы. Измерение коэффициента теплопроводности методом трубы при тестировании материалов теплоизолирующих покрытий.
статья, добавлен 03.05.2019Исследование механических свойств и структурно-фазового состава порошковых покрытий на основе Ni и Со, нанесенных методом плазменной детонации на стальные подложки до и после их модификации облучением. Исследование шероховатости поверхности покрытий.
автореферат, добавлен 29.06.2018- 3. Гидродинамические характеристики термокапиллярного вихря в тонком слое жидкости на твердой подложке
Анализ влияния мощности индуцирующего лазерного пучка, вязкости жидкости и толщины ее слоя на температуру подложки. Методика восстановления поля скоростей осесимметричного термокапиллярного вихря в слое жидкости при помощи метода трассерных частиц.
автореферат, добавлен 01.05.2018 Определение понятия, изучение структуры и общая характеристика методов создания p-n-переходов. Определение основных параметров, характеристик и физических процессов, лежащих в основе образования и функционирования p-n-перехода. Процесс фотолитографии.
курсовая работа, добавлен 01.05.2011Экспериментальное исследование процесса конвективной сушки слоя органосодержащего сырья. Уравнения для нахождения критериев Нуссельта и Шервуда. Определение коэффициентов теплоотдачи и массоотдачи слоя твердых бытовых отходов в термическом реакторе.
статья, добавлен 02.12.2018Прозрачный слой на поглощающей теплопроводной подложке. Анализ основных процессов развития и релаксации ТК углубления. Схема развития и релаксации углубления в случае нетеплопроводной эбонитовой подложки и переменной интенсивности индуцирующего пучка.
статья, добавлен 17.06.2018Способы измерения температуры. Понятие люминесценции, ее закономерности. Общие сведения о волоконно-оптических датчиках, их преимущества. Метод индикации температуры с помощью термочувствительных покрытий. Принцип действия термоиндикаторов плавления.
реферат, добавлен 15.12.2015Описание характера поведения кипящего слоя неоднородного инерта, состоящего из разнородных частиц, в аппаратах, применяемых для сушки жидких дисперсных продуктов. Определение основных механизмов коалесценции пузырей в кипящем слое неоднородных частиц.
статья, добавлен 29.07.2017Расшифровка системы условных обозначений микросхемы. Описание технологии её изготовления. Изучение цоколёвки, электрической схемы, параметров и предельно допустимых режимов эксплуатации микросхемы. Разработка на базе микросхемы неинвертирующего усилителя.
курсовая работа, добавлен 29.08.2015- 10. Типы сигналов
Классификация и виды сигналов: аналоговые и дискретные, принципы их формирования и возможные операции, характер и особенности изменений под действием различных факторов. Понятие временного разделения каналов и их оцифровывания. Элементы фильтра.
лекция, добавлен 19.02.2014 Теория конденсированного двойного слоя. Расчет величины удельного поверхностного заряда со стороны раствора. Теория конвергенции двух факторов Штерна. Вольтамперометрический метод изучения строения двойного электрического слоя и адсорбции на електродах.
реферат, добавлен 18.01.2016Исследование влияния порошковых покрытий на основе Ni на подложке из малоуглеродистой стали, нанесенных плазменно-детонационным методом с оплавлением поверхности сильноточным электронным пучком на микроструктуру, фазовый состав и свойства стали.
статья, добавлен 23.10.2010Получение наноструктурированных тонких пленок в различных схемах реализации лазерного эксперимента. Сценарии лазерной абляции металла в жидкости с образованием коллоидных систем с наночастицами. Формирование покрытий на подложки из коллоидных систем.
автореферат, добавлен 28.10.2018- 14. Сверхпроводники
Сверхтонкие YBCO пленки с Тс выше 77К. Контакты сверхпроводника с ферромагнетиком. Использование буферного слоя между подложкой и пленкой. Метод лазерного распыления мишени. Исследования ранних стадий роста пленок с помощью атомно-силового микроскопа.
реферат, добавлен 01.12.2013 Понятие пограничного слоя, физическая картина его возникновения. Определение толщины пограничного слоя в известной системе. Возрастание давления в направлении течения и отрыв потока с образованием вихрей. Ламинарный и турбулентный пограничные слои.
контрольная работа, добавлен 13.02.2014- 16. Взаимодействие предельно коротких оптических импульсов в тонкой пленке топологического изолятора
Исследование взаимодействия предельно коротких импульсов при их распространении по образцу топологического изолятора. Моделирование эволюции электромагнитного поля на основании уравнений Максвелла. Зависимость формы оптического импульса от его скорости.
статья, добавлен 11.01.2018 - 17. Исследование влияния различных газов и летучих жидкостей на механические свойства пленок мицелия
Поиск чувствительных покрытий для датчиков, которые были бы селективны по отношению к конкретным газам. Исследование сорбционной чувствительности экстракта мицелия в лабораторных условиях. Определение плотности и модулей упругости мицелиальной пленки.
статья, добавлен 29.05.2017 Расчет параметров торможения набегающего потока. Определение величин изоэнтропического течения с помощью газодинамических функций. Вычисление температуры восстановления для ламинарного пограничного слоя. Определение критического числа Рейнольдса.
контрольная работа, добавлен 25.11.2014Подавление высокочастотных составляющих (шума) из спектра сигнала. Удаление шума и сжатие одномерных и двумерных сигналов. Изменение вейвлет-коэффициентов. Пакетные функции очистки и сжатия. Удаление шумов и сжатие с использованием пакетных вейвлетов.
статья, добавлен 15.11.2018Расчет микрополоскового фильтра встречных шпилечных резонаторов. Моделирование с помощью программной среды AWR Design Environment. Полюсы и нули частотной характеристики. Оптимизация на подложке из фторопласта. Результаты исследования и проектирования.
контрольная работа, добавлен 27.01.2014Устройства для формирования микро- и наноструктурированных покрытий сложного состава осаждением из фильтрованной вакуумно-дуговой плазмы. Описание испытания в производственных условиях высокопроизводительных установок, оснащённых системами фильтрации.
статья, добавлен 27.07.2016Исследование дисперсионных характеристик замедления и затухания основной и первой высшей моды однополосковой линии на однослойной подложке методом конечных элементов. Численное решение с использованием модели резонатора с расположенной внутри линией.
статья, добавлен 04.11.2018- 23. Влияние подложки на магнитоупругие колебания в структуре "магнитная пленка – немагнитная подложка"
Рассмотрено возбуждение магнитоупругих колебаний в структуре "магнитная пленка – немагнитная подложка" на примере схем магнитострикционного преобразователя и ротационного магнетометра. Изучено существование квазистатической сдвиговой деформации подложки.
статья, добавлен 05.11.2018 Оценка надежности работы линий электропередач в электроэнергетических сетях. Пути ликвидации перебоев в работе линий электропередач. Разработка алгоритма формирования вариантов решений задачи ликвидации технологических нарушений линий электропередач.
статья, добавлен 19.06.2018Характеристика, цели и задачи ОАО "Мурманская ТЭЦ". Техническая характеристика объекта, технологический процесс и организация труда. Устройство тепловых установок и мазутного хозяйства котельного цеха. Режимные карты паровых котлов котлотурбинного цеха.
отчет по практике, добавлен 05.02.2022