Оптимизация тепловых условий выращивания монокристаллов кремния методом Чохральского
Исследование приемов оптимизации теплового узла для выращивания монокристаллов кремния. Разработка комплексного теплового узла для выращивания монокристаллов кремния методом Чохральского. Усовершенствование конструкции боковой экранировки нагревателя.
Подобные документы
Рассмотрение методов выращивания монокристаллов из расплавов, растворов, газовой и твердой фазы. Описание методов Чохральского и Вернейля, технологии синтеза искусственных алмазов, кристаллизации в условиях встречной диффузии и при испарении растворителя.
реферат, добавлен 27.12.2016Методика получения фасонных изделий из металлов и полупроводников. Выращивание кристалла с поперечным сечением произвольной формы. Технологическое оформление кристаллизации. Выращивание профильных монокристаллов на примере кремния. Размещения расплавов.
контрольная работа, добавлен 08.10.2010Основные принципы технического выращивания монокристаллов. Особенности получения кристаллов из твердой, жидкой и паровой фазы. Характеристика методов Чохральского и Вернейля. Технология синтеза кристаллических материалов с определенными свойствами.
дипломная работа, добавлен 09.09.2015Исследование влияния технологических режимов плавки на степень очистки кремния и однородность распределения примеси в монокристаллах кремния. Характеристика зависимости удельного электрического сопротивления кристаллов кремния от количества проходов.
статья, добавлен 29.07.2016Результаты лабораторных экспериментов по исследованию возможности протекания в условиях агрегата ковш-печь процессов алюмино- и карботермического восстановления кремния из оксида кремния рафинировочного шлака. Определение доли восстанавливаемого кремния.
статья, добавлен 29.07.2016Экспериментальное обнаружение и исследование различных пиков в спектре комбинационного рассеяния образцов кремния, имплантированных ионами меди. Исследование характера динамики трансформации микроскопической структуры приповерхностного слоя кремния.
статья, добавлен 12.11.2020Рассмотрение механических, физических, химических способов обработки полупроводников. Технология создания интегральных микросхем. Требования к подложкам. Характеристика монокристаллов кремния и принципы его получения. Расчет технологических параметров.
курсовая работа, добавлен 28.05.2015Механические, химические, физические и электрофизические свойства кремния. Применение кремния в электронной технике. Способы получения технического кремния. Способы получения и очистки трихлорсилана. Методы производства монокристаллического кремния.
реферат, добавлен 08.10.2017Свойства пленок нитрида кремния. Электронная структура нитрида кремния. Способы получения пленок нитрида кремния. Высокотемпературные акустические приемники. Датчик газового анализатора. Применение тонких пленок нитрида кремния в микроэлектронике.
курсовая работа, добавлен 06.10.2019Сведения о техническом кремнии. Технологический процесс получения однородного, легированного бором монокристалла кремния, методом направленной кристаллизации. Оборудование для бестигельной зонной плавки. Калькуляция себестоимости затрат на ее проведение.
курсовая работа, добавлен 27.11.2013Исследование механизма гетероэпитаксии кремния на сапфире, для последующего создания транзисторных структур с низкой дефектностью. Изучение методом резерфордовского обратного рассеяния эпитаксиальных слоев кремния выращенных на сапфировой подложке.
статья, добавлен 08.04.2019Характеристика карботермического метода рафинирования кремния. Отделение шлака отстаиванием в жидком состоянии для коагуляции и выделения в отдельную фазу мелких включений. Анализ химического, вакуумного и флюсового методов рафинирования кремния.
реферат, добавлен 25.12.2022Понятия, отличия и сферы применения монокристаллов и поликристаллов, условия образования поликристаллического тела в обычных условиях. Процессы, управляющие ростом кристаллов, способы выращивания и их характеристика. Рост кристаллов поваренной соли.
доклад, добавлен 10.12.2014Определение понятия монокристаллов, их физические и химические свойства, признаки и основные сферы применения. Описание и характеристика методов выращивания и уменьшения числа дефектов в монокристаллах. Сущность и задачи кристаллографии и кристаллохимии.
реферат, добавлен 03.02.2015Разработка теплового узла для выращивания полуизолирующего арсенида галлия с оптически качественными характеристиками. Анализ требований по удельному сопротивлению и однородности. Изучение влияния легирующих примесей на удельное сопротивление кристаллов.
статья, добавлен 21.02.2016Применение карбида кремния в ювелирном деле в качестве абразива и имитатора алмаза ювелирного качества. Нахождение в природе и химическая формула карбида кремния, его физико-химические свойства. Штамповка, отделка, огранка и литье ювелирных изделий.
презентация, добавлен 16.12.2013Характеристика кремния металлургического сорта и мероприятия по улучшению его качества. Технологии рафинирования кремния с доведением его до чистоты солнечного сорта, пригодного для изготовления фотоэлектрических преобразователей солнечной энергии.
статья, добавлен 14.10.2016Основной химический состав кристаллического кремния, производимого из лигнита в электропечи. Взаимосвязь между содержанием золы лигнита и количеством железа при использовании лигнита вместо древесного угля в производстве кристаллического кремния.
статья, добавлен 25.07.2018Результаты оптимизации технологического процесса формообразования асферической поверхности на подложке из поликристаллического кремния. Сочетание различных методов контроля формы поверхности и уточнения функции материалосъема во время обработки.
статья, добавлен 07.12.2018Изучение высокоэффективных методов выращивания низкорослых растений на примере производства томатов. Разработка многоярусной вегетационной трубной установки для гидропонного, бессубстратного выращивания растений методом субирригационной аэропоники.
статья, добавлен 31.07.2018Структуры основных политипов карбида кремния, особенности его структуры. Результаты исследования структур на основе карбида кремния методом инфракрасной спектроскопии. Принципы и этапы формирования структуры в композиционной карбид кремниевой керамике.
дипломная работа, добавлен 01.08.2021Исследование полиморфных переходов в карбиде кремния. Зона Бриллюэна и сравнение 3C и 2H политипов SiC. Схема экспериментальной установки структурной кристаллографии. Принцип работы сканирующего зондового микроскопа. Метод магнетронного распыления.
аттестационная работа, добавлен 26.09.2016Отрицательное влияние серы на жаропрочные и усталостные свойства монокристаллов сплава ЖС36-ВИ, на изотермическую жаростойкость с защитным покрытием. Рафинирование сплава лантаном с последующей фильтрацией расплава через пенокерамический фильтр.
статья, добавлен 25.10.2018Разработка и освоение инновационной технологии плазмометаллургического производства нанокарбида кремния и композиций на его основе. Математическая модель плазменных процессов синтеза и модифицирования, интегрирующей стадии испарения дисперсного сырья.
автореферат, добавлен 04.02.2018Изучение возможности металлотермического получения кристаллического кремния (КК) с использованием в качестве восстановителя различных видов углеродистых восстановителей. Анализ получения КК из кварца с использованием спецкокса и длиннопламенного угля.
статья, добавлен 24.05.2018