Оптимизация тепловых условий выращивания монокристаллов кремния методом Чохральского

Исследование приемов оптимизации теплового узла для выращивания монокристаллов кремния. Разработка комплексного теплового узла для выращивания монокристаллов кремния методом Чохральского. Усовершенствование конструкции боковой экранировки нагревателя.

Подобные документы

  • Рассмотрение методов выращивания монокристаллов из расплавов, растворов, газовой и твердой фазы. Описание методов Чохральского и Вернейля, технологии синтеза искусственных алмазов, кристаллизации в условиях встречной диффузии и при испарении растворителя.

    реферат, добавлен 27.12.2016

  • Методика получения фасонных изделий из металлов и полупроводников. Выращивание кристалла с поперечным сечением произвольной формы. Технологическое оформление кристаллизации. Выращивание профильных монокристаллов на примере кремния. Размещения расплавов.

    контрольная работа, добавлен 08.10.2010

  • Основные принципы технического выращивания монокристаллов. Особенности получения кристаллов из твердой, жидкой и паровой фазы. Характеристика методов Чохральского и Вернейля. Технология синтеза кристаллических материалов с определенными свойствами.

    дипломная работа, добавлен 09.09.2015

  • Исследование влияния технологических режимов плавки на степень очистки кремния и однородность распределения примеси в монокристаллах кремния. Характеристика зависимости удельного электрического сопротивления кристаллов кремния от количества проходов.

    статья, добавлен 29.07.2016

  • Результаты лабораторных экспериментов по исследованию возможности протекания в условиях агрегата ковш-печь процессов алюмино- и карботермического восстановления кремния из оксида кремния рафинировочного шлака. Определение доли восстанавливаемого кремния.

    статья, добавлен 29.07.2016

  • Экспериментальное обнаружение и исследование различных пиков в спектре комбинационного рассеяния образцов кремния, имплантированных ионами меди. Исследование характера динамики трансформации микроскопической структуры приповерхностного слоя кремния.

    статья, добавлен 12.11.2020

  • Рассмотрение механических, физических, химических способов обработки полупроводников. Технология создания интегральных микросхем. Требования к подложкам. Характеристика монокристаллов кремния и принципы его получения. Расчет технологических параметров.

    курсовая работа, добавлен 28.05.2015

  • Механические, химические, физические и электрофизические свойства кремния. Применение кремния в электронной технике. Способы получения технического кремния. Способы получения и очистки трихлорсилана. Методы производства монокристаллического кремния.

    реферат, добавлен 08.10.2017

  • Свойства пленок нитрида кремния. Электронная структура нитрида кремния. Способы получения пленок нитрида кремния. Высокотемпературные акустические приемники. Датчик газового анализатора. Применение тонких пленок нитрида кремния в микроэлектронике.

    курсовая работа, добавлен 06.10.2019

  • Сведения о техническом кремнии. Технологический процесс получения однородного, легированного бором монокристалла кремния, методом направленной кристаллизации. Оборудование для бестигельной зонной плавки. Калькуляция себестоимости затрат на ее проведение.

    курсовая работа, добавлен 27.11.2013

  • Исследование механизма гетероэпитаксии кремния на сапфире, для последующего создания транзисторных структур с низкой дефектностью. Изучение методом резерфордовского обратного рассеяния эпитаксиальных слоев кремния выращенных на сапфировой подложке.

    статья, добавлен 08.04.2019

  • Характеристика карботермического метода рафинирования кремния. Отделение шлака отстаиванием в жидком состоянии для коагуляции и выделения в отдельную фазу мелких включений. Анализ химического, вакуумного и флюсового методов рафинирования кремния.

    реферат, добавлен 25.12.2022

  • Понятия, отличия и сферы применения монокристаллов и поликристаллов, условия образования поликристаллического тела в обычных условиях. Процессы, управляющие ростом кристаллов, способы выращивания и их характеристика. Рост кристаллов поваренной соли.

    доклад, добавлен 10.12.2014

  • Определение понятия монокристаллов, их физические и химические свойства, признаки и основные сферы применения. Описание и характеристика методов выращивания и уменьшения числа дефектов в монокристаллах. Сущность и задачи кристаллографии и кристаллохимии.

    реферат, добавлен 03.02.2015

  • Разработка теплового узла для выращивания полуизолирующего арсенида галлия с оптически качественными характеристиками. Анализ требований по удельному сопротивлению и однородности. Изучение влияния легирующих примесей на удельное сопротивление кристаллов.

    статья, добавлен 21.02.2016

  • Применение карбида кремния в ювелирном деле в качестве абразива и имитатора алмаза ювелирного качества. Нахождение в природе и химическая формула карбида кремния, его физико-химические свойства. Штамповка, отделка, огранка и литье ювелирных изделий.

    презентация, добавлен 16.12.2013

  • Характеристика кремния металлургического сорта и мероприятия по улучшению его качества. Технологии рафинирования кремния с доведением его до чистоты солнечного сорта, пригодного для изготовления фотоэлектрических преобразователей солнечной энергии.

    статья, добавлен 14.10.2016

  • Основной химический состав кристаллического кремния, производимого из лигнита в электропечи. Взаимосвязь между содержанием золы лигнита и количеством железа при использовании лигнита вместо древесного угля в производстве кристаллического кремния.

    статья, добавлен 25.07.2018

  • Результаты оптимизации технологического процесса формообразования асферической поверхности на подложке из поликристаллического кремния. Сочетание различных методов контроля формы поверхности и уточнения функции материалосъема во время обработки.

    статья, добавлен 07.12.2018

  • Изучение высокоэффективных методов выращивания низкорослых растений на примере производства томатов. Разработка многоярусной вегетационной трубной установки для гидропонного, бессубстратного выращивания растений методом субирригационной аэропоники.

    статья, добавлен 31.07.2018

  • Структуры основных политипов карбида кремния, особенности его структуры. Результаты исследования структур на основе карбида кремния методом инфракрасной спектроскопии. Принципы и этапы формирования структуры в композиционной карбид кремниевой керамике.

    дипломная работа, добавлен 01.08.2021

  • Исследование полиморфных переходов в карбиде кремния. Зона Бриллюэна и сравнение 3C и 2H политипов SiC. Схема экспериментальной установки структурной кристаллографии. Принцип работы сканирующего зондового микроскопа. Метод магнетронного распыления.

    аттестационная работа, добавлен 26.09.2016

  • Отрицательное влияние серы на жаропрочные и усталостные свойства монокристаллов сплава ЖС36-ВИ, на изотермическую жаростойкость с защитным покрытием. Рафинирование сплава лантаном с последующей фильтрацией расплава через пенокерамический фильтр.

    статья, добавлен 25.10.2018

  • Разработка и освоение инновационной технологии плазмометаллургического производства нанокарбида кремния и композиций на его основе. Математическая модель плазменных процессов синтеза и модифицирования, интегрирующей стадии испарения дисперсного сырья.

    автореферат, добавлен 04.02.2018

  • Изучение возможности металлотермического получения кристаллического кремния (КК) с использованием в качестве восстановителя различных видов углеродистых восстановителей. Анализ получения КК из кварца с использованием спецкокса и длиннопламенного угля.

    статья, добавлен 24.05.2018

Работы в архивах красиво оформлены согласно требованиям ВУЗов и содержат рисунки, диаграммы, формулы и т.д.
PPT, PPTX и PDF-файлы представлены только в архивах.
Рекомендуем скачать работу и оценить ее, кликнув по соответствующей звездочке.