Калибровка установок измерений размеров элементов микроэлектронных структур
Измерение размеров микроструктур в субмикронном диапазоне. Измерение профиля полупроводниковых структур. Образование методической погрешности при контроле профиля элемента методом атомно-силовой микроскопии. Калибровки с применением мер малой длины.
Подобные документы
Разработка методики подготовки атомно-силовой микроскопии (АСМ) зондов для выполнения электрических АСМ измерений и электрохимической литографии. Разработка методики выбора оптимальной силы взаимодействия "зонд-образец" для контроля процесса износа.
автореферат, добавлен 25.07.2018Средства и способы измерения линейных размеров, расчет объема параллелепипеда с учётом различных видов погрешности. Оценка границ доверительного интервала. Расчет суммарной погрешности прямых измерений. Расчет объема тела в рамках допустимых отклонений.
лабораторная работа, добавлен 06.04.2015Расчёт погрешности результата косвенного измерения расхода воды. Расширение пределов измерений амперметров. Измерение мощности электродинамическими приборами. Применение трансформаторов тока и напряжения. Аналоговые средства динамических измерений.
контрольная работа, добавлен 18.02.2014Определение значения систематического и случайного среднеквадратического значения составляющих погрешности измерений. Характеристики электронно-счетного частотомера. Основные принципы аккредитации. Измерение напряжения и его квадратической погрешности.
контрольная работа, добавлен 06.06.2018Сущность и физический смысл измерения. Определение длины, массы, температуры, разновидности средств электротехнических измерений. Классификация измерительных приборов, их принцип действия. Измерение неэлектрических величин электрическими методами.
шпаргалка, добавлен 22.06.2011Расчет косвенного измерения количества тепла, переносимого газом в единицу времени, и определение его абсолютной и относительной погрешности. Построение математической модели зависимости методической погрешности от температуры измеряемой газовой среды.
курсовая работа, добавлен 10.11.2015Понятие и причины, приводящие к появлению погрешностей. Случайные и систематические, абсолютные и относительные погрешности. Класс точности электроизмерительных приборов. Запись окончательного результата прямого измерения. Погрешности косвенных измерений.
контрольная работа, добавлен 14.05.2013Процесс обработки результатов прямых равноточных измерений, содержащих случайную и систематическую погрешности. Определение косвенных измерений при нелинейной зависимости аргументов при возможной корреляции между ними, вычисление границ погрешности.
контрольная работа, добавлен 20.12.2016Классификация погрешностей измерений по способу выражения, возникновения и проявления. Особенности оценки погрешности при прямых и косвенных измерениях. Погрешность измерения и принцип неопределенности Гейзенберга. Итоговая оценка границ погрешности.
реферат, добавлен 20.10.2020Измерение размеров силицидов кобальта, образующихся при диффузионном легировании кремния атомами кобальта методом малоуглового рассеяния излучения лазера. Специфика образования силицидов кобальта размерами 0,8-30 мкм в приповерхностной области кремния.
статья, добавлен 22.06.2015Системы физических величин. Разновидности погрешностей средств и результатов измерения. Систематические, прогрессирующие и случайные погрешности. Изменение погрешности средств измерений во время эксплуатации. Инструментальные и методические погрешности.
реферат, добавлен 03.12.2013Погрешности измерений и их типы. Оценка систематической (приборной) и случайной погрешности. Понятие доверительного интервала и доверительной вероятности. Методика расчета погрешностей прямых и косвенных измерений на примере определения объема цилиндра.
лабораторная работа, добавлен 29.12.2011Определение значений параметров напряжения произвольной формы по показаниям вольтметра. Приемы выполнения измерений, обеспечивающие наименьшие погрешности. Особенности и основные факторы выбора вольтметров при исследовании сигналов различных форм.
лабораторная работа, добавлен 12.04.2017Виды измерений. Классификация погрешностей. Обработка прямых измерений. Обработка косвенных измерений. Правила округления приближенных чисел. Примеры обработки результатов измерений. Вероятностные свойства серии наблюдений. Закон Гуасса. Погрешности.
методичка, добавлен 12.11.2008Определение коэффициента теплопроводности твердого тела методом сравнения с теплопроводностью эталонного материала. Измерение температуры между пластинами. Возможные погрешности прямых измерений, их причины. Пример расчета погрешности при измерениях.
лабораторная работа, добавлен 02.12.2018Ознакомление с принципами работы лазеров, измерение длины волны излучения лазера, сравнение спектров индуцированного и спонтанного излучений. Характеристика оптического квантового генератора, его устройства, свойств, которыми обладает лазерное излучение.
лабораторная работа, добавлен 25.11.2009Погрешность измерения как отклонение измеренного значения величины от её истинного размера. Определение степени расхождения показаний прибора и действительного значения измеряемой величины. Аппаратурные и субъективные погрешности, точность измерений СИ.
лекция, добавлен 03.04.2019Наблюдения, полученные в процессе измерения физической величины, оценка случайной погрешности измерений. Прямые измерения емкости конденсатора. доверительные границы не исключённых систематических погрешностей. Измерение мощности постоянного тока.
контрольная работа, добавлен 28.08.2010Теоретические основы методики измерения вязкости при помощи вискозиметра Оствальда. Последовательность осуществления эксперимента. Рекомендации по обработке результатов эксперимента. Расчет погрешности измерений. Требования к технике безопасности.
методичка, добавлен 02.10.2017Описание основных принципов работы сканирующего зондового и атомного силового микроскопов. Характеристика ключевых методов исследования биологических и органических объектов и структур. Типовой анализ искажающих эффектов атомно-силовой микроскопии.
диссертация, добавлен 23.12.2013Характеристика универсального инструмента, предназначенного для измерений линейных размеров абсолютным или относительным контактным методом в области малых размеров с низкой погрешностью. Рассмотрение основных типов микрометров. Оценка назначения прибора.
реферат, добавлен 26.05.2016Рассмотрение краткой истории установления единиц физических величин. Выявление метрологических характеристик и классификации измерительных средств, особенностей их выбора. Определение погрешности и качества измерений. Анализ российской системы калибровки.
курсовая работа, добавлен 22.06.2022Сравнение физической величины с другой, однородной, принятой за единицу измерения. Определение абсолютной и относительной погрешности измерения. Обработка результатов прямых однократных и многократных измерений. Правила округления результатов измерения.
методичка, добавлен 30.09.2014Электромагнитные амперметры и описание чувствительного элемента. Методика расчета параметров прибора, схемы включения и погрешности. Снятие измерений и расчет вариации показаний амперметра. Измерение тока импульсов различной длительности и частоты.
дипломная работа, добавлен 07.08.2013Механизм анодного окисления кремния. Влияние толщины плёнки на её электрофизические свойства. Создание структур "кремний на изоляторе", измерение методом эллипсометрии. Исследование электрофизических свойств структур в условиях анодного окисления.
дипломная работа, добавлен 15.10.2013