Структура та фізичні властивості боридних плівок, отриманих ВЧ-магнетронним розпиленням
Систематичне експериментальне вивчення змін складу, структури та властивостей плівок систем Zr-B та V-B. Оцінювання умови формування та зростання конденсатів, які отримують за допомогою систем ІПР. Осадження високотвердих наноструктурних плівок.
Подобные документы
Фактори, які впливають на структуру та основні фізичні властивості тонких плівок W-Ti-N та Ta-Si-N, отриманих реактивним магнетронним розпиленням. Застосування плівок в якості дифузійних бар’єрів в системах металізації до напівпровідникових сполук.
автореферат, добавлен 27.08.2014Встановлення фізичних закономірностей формування аморфної та мікрокристалічної структури в плівках Со-Р, отриманих при імпульсному електроосадженні. Встановлення залежності хімічних властивостей плівок Со-Р від структури та режимів імпульсного струму.
автореферат, добавлен 06.07.2014Аналіз впливу режимів імпульсного струму на умови кристалізації міді. Дослідження структури і текстури мідних плівок, отриманих в імпульсних режимах електроосадження. Проведення дослідження фізичних властивостей багатошарових плівок мідь-нікель.
автореферат, добавлен 31.01.2014Дослідження процесів формування структури, складу і властивостей зростання плівкових покриттів, утворених залежно від умов розпилення і складу робочого газу. Оптимізація цих умов з метою одержання плівок із заданими фізико-механічними властивостями.
автореферат, добавлен 26.07.2014Дослідження властивостей тонких багатокомпонентних плівок: епітаксійних плівок SiGe, Si-Ge-С, отриманих методом плазмохімічного осадження. Введення вуглецю в процесі іонної імплантації і його вплив на рівень механічних напружень в епітаксійних структурах.
автореферат, добавлен 20.04.2014Визначення тиску насиченої пари фуллерена, що випаровувався. Формування металофуллеренових конденсатів під час осадження потоків часток з підвищенною енергією металевої компоненти. Дослідження структури плівок фуллериту, легованих атомами вісмуту.
автореферат, добавлен 25.08.2015Умови осадження полікристалічних плівок ZnO методом хімічного осадження з парової фази металоорганічних вихідних реагентів, при підсиленні плазмовим розрядом. Вплив галію на структуру, морфологію, електричний опір та спектр оптичного пропускання плівок.
автореферат, добавлен 26.08.2015Фізичні основи промислово-перспективних технологій виготовлення робочих плівкових елементів різного функціонального призначення з підвищеною електропровідністю, відтворюваністю властивостей і надійністю. Умови дифузійного формування нанорозмірних плівок.
автореферат, добавлен 29.09.2014Аналіз впливу режимів імпульсного струму на умови кристалізації міді. Дослідження структури і текстури мідних плівок, отриманих в імпульсних режимах електроосадження. Встановлення зв’язку між параметрами імпульсного струму та структурою мідних плівок.
автореферат, добавлен 12.02.2014Визначення факторів впливу на структуру і фізичні властивості тонких плівок W-Ti-N і Ta-Si-N. Дослідження антидифузійних властивостей тонкоплівкових бар’єрів. Оптимізація технологічних основ отримання плівок, їх застосування в напівпровідникових системах.
автореферат, добавлен 27.08.2014Фазовий склад і структура плівок, вирощених із парової фази. Механізми деградації електричних властивостей плівки. Встановлення залежності типу провідності і концентрації носіїв струму. Аналіз профілів властивостей плівок різної структурної досконалості.
автореферат, добавлен 14.07.2015Вплив низькотемпературних методів виготовлення плівок систем Cu-In-Se та CuInSe2-ZnSe на їх фазовий склад та структуру для потреб геліоенергетики. Методика осадження плівок ZnSe на поверхні альфа-CIS для буферних шарів плівкових сонячних елементів.
автореферат, добавлен 13.08.2015Дослідження впливу різних методів напилювання на механізм росту, фазовий склад, структуру, кінетику росту і властивості нітридних плівок, отриманих на Si, Ni, Ti і на тугоплавких підкладках. Формулювання, аналіз та оцінка практичних рекомендацій.
автореферат, добавлен 28.07.2014Вплив азоту та потужності розряду на оптичні властивості алмазоподібних вуглецевих плівок, отриманих методом плазмово-стимульованого осадження з газової фази. Вплив ультрафіолетового та гамма-опромінення на властивості кремнієвих сонячних елементів.
автореферат, добавлен 12.07.2015Механізм формування підсистеми дефектів структури, обумовлених дією опромінення, легування та термічної обробки та її вплив на електричні властивості тонких моно- і полікристалічних плівок. Електрофізичні властивості тонких плівок халькоґенідів плюмбуму.
автореферат, добавлен 13.08.2015Влив температури нітридизації, величини поруватості підкладок GaAs на кристалографічні, оптичні (комбінаційне розсіювання світла) властивості гетероепітаксійних плівок GaN. Залежність між величиною поруватості підкладок і типом кристалічної гратки плівок.
автореферат, добавлен 29.09.2014Аналіз кристалічної структури, електронних і коливальних спектрів конденсованих плівок С60, легованих молекулами кисню і атомами міді. Вплив радіаційних пошкоджень на розсіяння світла, фотолюмінесценцію і оптичну провідність плівок молекул фулеренів.
автореферат, добавлен 29.07.2014Встановлення взаємозв'язку структури алмазних та алмазоподібних вуглецевих плівок з умовами осадження. Дослідження фоточутливості отриманих гетеропереходів в ультрафіолетовій області випромінювання. Практичне використання плівок в оптоелектроніці.
автореферат, добавлен 22.04.2014Дослідження процесів випаровування й осадження речовини тіогалату цинку при одержанні тонких плівок. Побудова моделі росту конденсату тіогалату цинку на підкладках. Розкриття впливу термічної і лазерної обробки на структуру й оптичні параметри плівок.
автореферат, добавлен 24.02.2014Дослідження структурних і фізичних властивостей реактивно-магнетронно розпилених плівок W-Ti-N та Ta-Si-N, в залежності від вмісту азоту в розпилювальній плазмі. Взаємозв’язок між фізико-технологічними параметрами розпилення і властивостями тонких плівок.
автореферат, добавлен 30.10.2015Дослідження кристалічної структури, гальваномагнітних властивостей та доменної структури плівок сплаву Fe0,5-Ni0,5. Особливості використання такого сплаву у техніці для створення магнітопроводів, осердь електромагнітів, які є магнітом’яким матеріалом.
статья, добавлен 23.10.2010Дослідження структури та електрофізичних властивостей, ефекту Холла та магнітоопору в тонких магнітних плівках сплаву. Метод електронно-променевого випаровування, який застосовується при виготовленні плівок. Дослідження кристалічної структури зразків.
статья, добавлен 23.10.2010Синтез та деякі властивості фулериту С60 у масивному та плівковому стані, перспективи застосування. Особливості структури тонких конденсованих плівок. Електронографічні та електронно-мікроскопічні методики дослідження теплового розширення тонких плівок.
автореферат, добавлен 28.07.2014Одержання методом реактивного магнетронного розпилення плівок різних фаз оксиду. Дослідження будови та мікроструктури плівок Bi2O3 за допомогою рентгенофазового аналізу, оптичної та електроннооптичної мікроскопії і специфіка їх температурної стабільності.
автореферат, добавлен 29.07.2014Закономірності формування структурно-фазового складу і електрофізичних властивостей двошарових плівок на основі Nі і V, Cr, Co. Розрахунок ефективних коефіцієнтів взаємної дифузії атомів у процесі зерномежової конденсаційно-стимульованої і термодифузії.
автореферат, добавлен 28.07.2014