Розвиток технології вакуумного іонно-плазмового напилення та напрями її вдосконалення
Способи нанесення вакуумних покриттів. Обґрунтування переваг методу іонно-плазмового напилення в умовах бомбардування. Класифікація катодних плям та їхнього впливу на величину ерозії катода. Типи магнітних фільтрів для зменшення частки крапельної фази.
Подобные документы
Диференціальні рівняння, що описують рух порошку для неоднорідних полів швидкості газового потоку. Залежність розв’язків від технологічних параметрів процесу напилення покриттів. Зміна температури та швидкості частинок порошку вздовж дистанції напилення.
статья, добавлен 25.10.2016Закономірності формування іонно-плазмових покриттів системи Ti-W-B і вплив постконденсаційної обробки на їх фазовий склад, структуру, субструктуру й напружений стан. Структура таких покриттів стійка до відпалів і опромінення протонами з енергією 200 кеВ.
статья, добавлен 13.10.2016Дослідження краплинної фази ерозії катода для різних катодних матеріалів у високому вакуумі та при наявності газу в розрядному проміжку. Вивчення нових можливостей стаціонарного вакуумного дугового розряду в процесах плазмової обробки поверхонь.
автореферат, добавлен 22.06.2014Вивчення електрофізичних властивостей термодинамічно гомогенних розплавів. Дослідження механізму розсіювання електронів в іонно-електронних системах. Вдосконалення методики високотемпературних вимірювань електропровідності хімічно агресивних середовищах.
автореферат, добавлен 12.07.2015Напружений стан монокристалічних і текстурованих матеріалів. Аналіз стискаючих неоднорідно-розподілених по товщині іонно-плазмових плівок. Релаксація та формування пружних спотворень. Оптимізація технології отримання оболонок із заданими властивостями.
автореферат, добавлен 28.07.2014Дослідження процесів, які призводять до утворення збуджених частинок, що відлітають від поверхні при взаємодії іонного пучка з твердим тілом. Використання методу іонно-фотонної спектроскопії для визначення параметрів електронної структури твердого тіла.
автореферат, добавлен 11.08.2015Фізико-технологічні параметри процесу формування тонких плівок шляхом термоіонного і реакційного термоіонного осаджування, різних модифікацій магнетронного розпилення та методами активованого плазмою хімічного осадження і лазерного випаровування.
автореферат, добавлен 22.04.2014Особливості кристалічної структури. Хімічні надпровідники. Методи одержання надпровідних плівок для надпровідних ІС. CVD-технології ВТНП та їх методи. Метод магнетронного напилення. Сквіди як сенсори енергії. Метрологія та квантова обробка інформації.
курсовая работа, добавлен 12.04.2010Створення діагностичних приладів для вимірювання параметрів пучків іонів і атомно-молекулярних потоків у вакуумному середовищі. Методика синтезу ультратонких суцільних плівок нітридів та оксинітридів металів з використанням іонно-променевого розпилення.
автореферат, добавлен 27.07.2015- 10. Закономірності формування та еволюції нерівноважного структурного стану іонно-плазмових конденсатів
Структурний стан матеріалів, одержаних за умов високої нерівноважності процесів. Формування та еволюція фазового складу, структури, субструктурних характеристик конденсатів вольфраму, одержаних за нерівноважних умов осадження з іонно-плазмових потоків.
автореферат, добавлен 14.09.2015 Аналіз нелінійних процесів фокусування пучка заряджених частинок у зондоформуючій системі ядерного скануючого мікрозонда з інтегрованими дублетами магнітних квадрупольних лінз. Напрямок досліджень при оптимізації іонно-оптичних параметрів ЗФС мікрозонда.
автореферат, добавлен 20.07.2015- 12. Особливості структури та напруженого стану іонно-плазмових конденсатів вольфраму і карбіду вольфраму
Встановлення закономірностей формування структури і напруженого стану іонно-плазмових конденсатів вольфраму і карбіду вольфраму, області температурної стабільності їх структури і складу. Механізм фазових перетворень у конденсатах при відпалюванні.
автореферат, добавлен 22.04.2014 Побудова формалізму дослідження лінійної та нелінійної стадій несталостей плазми, яка містить іони, ларморівські орбіти яких обходять вісь плазмового стовпа. Розробка теорії розсіяння частинок плазми на ансамблі циліндричних хвиль з випадковими фазами.
автореферат, добавлен 25.06.2014Методи отримання магнітних наноструктур та їх класифікація. Використання методу термічного випаровування у вакуумі для отримання магнітних наночастинок. Механізми перемагнічування однодоменних часток. Методи дослідження тимчасових магнітних ефектів.
презентация, добавлен 09.05.2015Елементний склад і розподіл елементів по глибині для плівок SiOX у залежності від методу їх формування та механізми впливу технологічних параметрів отримання на їх властивості. Вплив домішки азоту на формування структур із кремнієвими нанокластерами.
автореферат, добавлен 26.09.2015Вивчення властивостей і технологічних параметрів стаціонарного проходження електричного струму між електродами у вакуумі. Розробка методів термоіонного напилення плівок і покриттів та їх застосування у розробці конкретних виробів мікроелектроніки.
автореферат, добавлен 05.01.2014Визначення структури магнітного поля у фотосфері і хромосфері активних областей і в тіні ізольованих плям, рухів плазми з магнітними полями на різних рівнях над тінню одиночних плям. Методики вимірювання магнітних полів і променевих швидкостей на Сонці.
автореферат, добавлен 29.08.2013Аналіз теоретичних й експериментальних досліджень, що спрямовані на підвищення ресурсу роботи та ефективності електродугових нагрівачів газу. Дослідження способів зменшення витрати захисного газу, підвищення теплового ККД, розщеплення катодних плям дуги.
автореферат, добавлен 06.07.2014Поняття та класифікація, поляризація діелектриків. Вплив зовнішніх факторів на діелектричну проникність. Формування діелектричних плівок на поверхні напівпровідникових пластин. Отримання шарів оксиду і нітриду кремнію, реактивне іонно-плазмове розпилення.
курсовая работа, добавлен 26.08.2016Створення матеріалів, захисних покриттів та технологій на основі титан-вуглецю. Визначення оптимальних параметрів розпилення та конденсації вуглецево-титанових парів із різним ступенем пересичення. Вдосконалення магнітних систем робочих установок.
автореферат, добавлен 15.07.2014Формування багатокомпонентних покриттів з регульованою стехіометрією. Створення розсіювання мішеней, виготовлених з алюмінію і нікелю. Аналіз розпилення магнітних металів і сплавів. Вдосконалення схеми установки і джерел плазми для утворення укладання.
автореферат, добавлен 27.09.2014Релаксація радіаційних дефектів в процесі теплового впливу. Розрахунок енергій міграції дефектів та часу цього процесу для докритичних та близьких до критичної доз імплантації. Зміни у порушеному приповерхневому шарі в процесі ізохронного відпалу.
автореферат, добавлен 24.06.2014Математичне моделювання процесу дефектостворення в покрівлях, які осаджуються в умовах бомбардування газовими іонами. Вивчення стійкості нітридних покриттів Cr-N та V-N при радіаційному діянні високоенергетичних атомів реактивних та інертних газів.
автореферат, добавлен 30.10.2015Оцінка характеристик функціонування катіонітних фільтрів та обґрунтування ефективних систем обробки теплоносіїв енергоустановок, що забезпечує скорочення витрат реагентів і води на власні потреби та зменшення кількості скидів в навколишнє середовище.
автореферат, добавлен 06.07.2014Теоретична оцінка параметрів осадження компонентів пари на підкладку, оптимізація умов напилення шарів. Особливості впливу концентраційного профілю та хімічного складу елементів-модифікаторів на параметри тонкоплівкових структур на основі As2S3.
автореферат, добавлен 22.04.2014