Отримання шарів AlN при магнетронному розпиленні алюмінію в газовій суміші Ar + N2

Дослідження впливу параметрів експерименту на процес формування та основні характеристики шарів нітриду алюмінію. Отримання близьких до стехіометричного складу шарів нітриду алюмінію, що мають кристалічну будову з гексагональною граткою типу вюрциту.

Подобные документы

Работы в архивах красиво оформлены согласно требованиям ВУЗов и содержат рисунки, диаграммы, формулы и т.д.
PPT, PPTX и PDF-файлы представлены только в архивах.
Рекомендуем скачать работу и оценить ее, кликнув по соответствующей звездочке.