Получение пленок ITO методом реактивного магнетронного распыления
Понятие и содержание метода пульверизации, его недостатки. Определение поверхностного сопротивления пленок. Методы осаждения прозрачных проводящих покрытий из газовой фазы. Разработка технологии получения пленок ITO реактивным магнетронным распылением.
Подобные документы
Эксперименты по нанесению тонких пленок ITO. Изучение возможности использования прозрачных проводящих пленок оксида индия и олова, получаемых методом электронно-лучевого напыления, в качестве контактного материала для отражающего контакта к слою p-GaN.
статья, добавлен 05.11.2014Краткие сведения о тонких пленках и основные процессы, происходящие при их формировании. Методы получения тонких пленок и сравнительные характеристики этих методов. Принципы действия и конструкции установок для магнетронного нанесения тонких пленок.
учебное пособие, добавлен 13.03.2016Изучение метода резистивного испарения металлов, нахождение скорости осаждения и определение основных электрофизических характеристик получаемых пленок. Рассмотрение электрических свойств пленок и процессов их формирования. Вакуумный универсальный пост.
курсовая работа, добавлен 19.09.2016Выращивание аморфных наногранулированных пленок типа "металл-диэлектрик" методом ионно-лучевого напыления на лавсановой подложке большой площади. Изучение распределения толщины, концентрации и относительного объема металлической фазы по площади пленок.
статья, добавлен 07.11.2018Ионно-плазменные методы получения тонких пленок. Молекулярно-лучевая эпитаксия и лазерное распыление. Суть химических вакуумных методов. Электрохимическое осаждение покрытий и химическая металлизация. Оптические свойства пленок аморфных оксидов ванадия.
курсовая работа, добавлен 15.08.2011Исследование фазового состава пленок сплавов на основе железа и кобальта, выращенных магнетронным и вакуумным напылением. Влияние термообработок на метастабильные состояния и магнитные свойства пленок металлов. Особенности атомного упорядочения веществ.
автореферат, добавлен 02.03.2018Зависимость ионов от мощности в аномальном тлеющем разряде в магнитном поле. Влияние метода магнетронного распыления на модель строения неоднородных по структуре пленок оксидов металлов. Специфика потока плазмы смеси газов аномального тлеющего разряда.
автореферат, добавлен 28.03.2018Изучение методом упругого рассеяния света структура пленок алюминия погруженных в водный раствор наночастиц серебра. Последовательность угловых зависимостей интенсивности рассеянного света. Описание структуры пленок в терминах их фрактальной размерности.
статья, добавлен 25.06.2018Получение наноструктурированных тонких пленок в различных схемах реализации лазерного эксперимента. Сценарии лазерной абляции металла в жидкости с образованием коллоидных систем с наночастицами. Формирование покрытий на подложки из коллоидных систем.
автореферат, добавлен 28.10.2018- 10. Электрическое разрушение полимерных диэлектрических пленок в условиях подавления частичных разрядов
Определение электрической долговечности и пробивной напряженности полимерных диэлектрических пленок при различных напряжениях на образце и при различных скоростях его возрастания. Кинетические закономерности электрического пробоя изучаемых пленок.
автореферат, добавлен 02.03.2018 Формирование аморфных наногранулированных пленок типа "металл-диэлектрик" методом ионно-лучевого напыления на лавсановой подложке большой площади. Проведение исследования распределения толщины, концентрации и относительного объема металлической фазы.
статья, добавлен 05.11.2018Основные характеристики сегнетоэлектриков с точки зрения динамики решетки. Факторы, влияющие на динамику в гетероструктурах на основе наноразмерных пленок. Оценка влияния толщины пленок на параметры элементарной ячейки. Принципы переключения поляризации.
учебное пособие, добавлен 08.09.2015Изучение алмазоподобных углеродных пленок CNx и CNx:Euy. Распыление композитной углеродной мишени магнетроном постоянного тока. Измерение отражательной способности поверхности пленок при нормальном падении зондирующего луча и брюстеровского отражения.
статья, добавлен 25.03.2016- 14. Получение и исследование оптических свойств массивов наночастиц Au на поверхности тонких пленок ZnO
Управление морфологическими параметрами массивов наночастиц Au, получаемых на поверхности тонких пленок ZnO методом импульсного лазерного напыления с дальнейшим отжигом в инертной атмосфере. Особенность повышения максимума плазмонного поглощения.
статья, добавлен 29.06.2017 Исследование кристаллической структуры, электрических и гальваномагнитных свойств трехслойных пленок Со/Cu/Co с разной толщиной медного слоя при отжиге. Температурные зависимости результатов удельного электрического сопротивления в интервале 100-700 K.
лабораторная работа, добавлен 23.10.2010Молекулярное моделирование пленок Ленгмюра-Блоджетт на основе стеаратных комплексов La(III) и изучение их свойств. Свойства пленок Ленгмюра-Блоджетт на основе стеаратных комплексов РЗЭ. Анализ метода молекулярной механики. Приближение силового поля ММ+.
курсовая работа, добавлен 21.01.2016Анализ оптической плотности пленок Zn0,99Mn0,01O при температурах Т = 78К и 300К. Сравнение спектров фотолюминесценции и оптической плотности пленок. Анализ спектра магнитного кругового дихроизма пленки Zn0,99Mn0,01O дополнительно легированной азотом.
статья, добавлен 22.06.2015Изучение спектральных зависимостей поглощения и отражения на пленках хрома после термических и механических воздействий, а также влияния агрессивных сред. Определение зависимости оптических свойств пленок от наличия в них карбидных и оксидных фаз.
статья, добавлен 21.06.2018Основные физические характеристики детекторов. Принципы работы SSPD. Осаждение сверхпроводящей плёнки NbN. Применение метода Ван-дер0Пау для изменения контактного сопротивления. Анализ зависимости поверхностного сопротивления от концентрации азота.
дипломная работа, добавлен 15.09.2018Описание методов получения тонких пленок нихрома и исследование зависимости параметров от стехиометрии пленки. Расчет диапазон толщин пленки, удовлетворяющих требованиям удельного поверхностного сопротивления и температурного коэффициента сопротивления.
курсовая работа, добавлен 16.12.2019Исследование особенностей фотоэлементов на основе аморфного кремния, кристаллических пленок кремния, органических материалов и на красителях. Электрические свойства поликристаллического кремния. Способы производства поликристаллических пленок кремния.
реферат, добавлен 13.04.2014Критические параметры эпитаксиальных пленок сплавов при их применении в гетеропереходных устройствах и их напряженность, плотность дефектов и подвижность носителей. Молекулярно-лучевая эпитаксия. Особенности совмещения кремниевой и германиевой технологии.
реферат, добавлен 28.04.2016Применения сегнетоэлектрических пленок в электронике. Характеристика катодного и магнетронного способов ионно-плазменного распыления. Экспериментальная установка по исследованию сегнетоэлектрических плёнок. Ход и методика выполнения эксперимента.
учебное пособие, добавлен 02.06.2013Общие свойства алмазоподобных углеродных покрытий. Анализ метода вакуумно-дугового распыления. Применение ионных источников для контроля состава и энергии осаждаемых частиц. Осаждение из плазмы, создаваемой лазерным воздействием на графитовую мишень.
курсовая работа, добавлен 23.06.2015Определение основных магнитных характеристик тонких пленок различного состава из угловых зависимостей поля однородного ферромагнитного резонанса. Феноменологический расчет дисперсионных зависимостей полей ФМР. Энергия одноосной магнитной анизотропии.
автореферат, добавлен 08.02.2013