Интегральный сенсор угловых скоростей и линейных ускорений
Необходимость разработки интегральных трехосных микромеханических сенсоров угловой скорости и линейных ускорений, позволяющих улучшить массогабаритные характеристики данных микросистем, уменьшить их себестоимость. Технологические требования к ним.
Подобные документы
- 1. Интегральные сенсоры угловых скоростей и линейных ускорений LR-типа на основе углеродных нанотрубок
Технологии формирования наноструктурированных материалов и гибридных сенсорных систем на основе углеродных нанотрубок. Результаты моделирования наномеханического сенсора LR-типа в зависимости от изменений внешних воздействий с перекрытием по времени.
статья, добавлен 29.05.2017 Маятниковый акселерометр для применения в бесплатформенных инерциальных блоках систем управления высокоманевренных объектов. Основные конструктивные особенности, позволившие добиться широких диапазонов измерения ускорений при малых габаритах прибора.
доклад, добавлен 28.10.2018Гироскоп как устройство, предназначенное для измерения малых линейных или угловых перемещений инерционных масс, которые определяются параметрами движения подвижных объектов. Методика вычисления погрешности микромеханических инерциальных датчиков.
статья, добавлен 24.05.2018Характеристика микроэлектронных сенсоров, предназначенных для определения температуры подложки интегральных микросхем. Сравнение термосенсоров на основе резистивных, диодных и транзисторных структур. Обзор влияния температуры на параметры полупроводника.
статья, добавлен 02.03.2012- 5. Защита кристаллов полупроводниковых приборов и интегральных микросхем от воздействий внешней среды
Понятие и функциональные особенности интегральных микросхем, эксплуатационные и технологические требования к ним. Виды корпусов данных микросхем, современный этап развития: керамические, пластмассовые, металлополимерные. Методы герметизации пластмассами.
курсовая работа, добавлен 11.03.2012 Метод оценки погрешности микромеханических датчиков при воспроизведении колебаний с заданным спектром частот. Использование установки на основе линейного вибростенда, дополненного датчиками измерения угловых скоростей вибрации для коррекции показаний.
статья, добавлен 28.10.2018Представление обзора применяемых и перспективных путей снижения влияния угловых шумов радиолокационной цели на точность измерения угловых координат в радиолокационной головке самонаведения. Сопоставление интегральных законов распределения промаха.
статья, добавлен 27.02.2019Обзор различных типов датчиков, их классификация, описание принципов работы и области их применения. Фундаментальные явления, лежащие в основе работы оптических химических сенсоров. Применение интегральных оптических датчиков в микроэлектронике.
статья, добавлен 07.11.2018Увеличение производительности труда при сборке летательных аппаратов. Повышение надежности собираемых изделий. Акселерометр - датчик линейных ускорений, созданный для преобразования ускорения в электрический сигнал. Принцип действия акселерометра А-12.
реферат, добавлен 27.09.2010Миниатюрные датчики угловой скорости. Алгоритм калибровки емкостных характеристик электростатических датчиков. Калибровка несимметричности емкостных характеристик датчика угла (ДУ) и датчика момента (ДМ). Использование дополнительных обкладок ДМ и ДУ.
доклад, добавлен 28.10.2018Кинематическая схема датчика угловой скорости с электрической пружиной, содержащая: гиромотор; рамку гиромотора с полуосями. Определение передаточной функции по разомкнутой системе. Составление и расчет математической модели датчика угловой скорости.
курсовая работа, добавлен 10.04.2018Технологические основы создания люминесцентных сенсоров для микро- и наноэлектроники на основе полярных и неполярных зондов, нековалентно связанных с макромолекулами белка. Исследование процессов тушения флуоресценции сенсоров тяжелыми металлами.
автореферат, добавлен 14.04.2018Понятие и функциональные особенности сенсоров, их классификация и разновидности, отличительные признаки и назначение. Устройство и принципы работы химических и электрохимических сенсоров, а также биосенсоров, определение главных сфер их применения.
контрольная работа, добавлен 12.01.2012Моделирование чувствительного элемента на поверхностных акустических волнах для сверхбольших ускорений в программном обеспечении OOFELIE::Multiphysics. Анализ графиков зависимостей изменения частоты выходного сигнала от ускорения по ортогональным осям.
статья, добавлен 28.10.2018Результаты натурного эксперимента, подтверждающего возможность достоверного измерения угловых скоростей поворота летательного аппарата при траекторных нестабильностях полета. Влияние различных факторов на оценку последовательности отраженных сигналов.
статья, добавлен 07.11.2018Применение алгоритма быстрого преобразования Фурье при инженерных расчетах и изучении физических процессов в линейных цепях в переходном и установившемся режимах. Операционный и частотный методы анализа сигналов в линейных цепях в программе Matlab.
курсовая работа, добавлен 23.05.2013Электрические связи в матричных интегральных схемах. Разработка технологического маршрута изготовления базовых матричных кристаллов. Разработка эскизного ТП с использованием программы SSUPREM-3. Оптимизация блока формирования спейсеров, базы стабилитрона.
дипломная работа, добавлен 09.01.2011Математическое описание звеньев. Алгебраический критерий Гурвица и частотный критерий Найквиста. Логарифмические критерии устойчивости САУ. Решение дифференциального уравнения на ЭВМ. Система стабилизации угловой скорости ДПТ с корректирующим звеном.
курсовая работа, добавлен 21.10.2009Исследование линейных электрических цепей постоянного и синусоидального тока. Понятие резонанса, причины и необходимые условия его возникновения; определение параметров цепи. Расчет линейных однофазных цепей при несинусоидальном питающем напряжении.
дипломная работа, добавлен 09.02.2013Влияние параметров межсоединений на динамические характеристики печатных плат, интегральных схем. Требования к оборудованию рабочих мест, освещенности. Уменьшение паразитной индуктивности проводников на печатной плате. Погонная емкость между проводниками.
дипломная работа, добавлен 30.07.2016Изучение основных этапов развития датчиков, принципа работы химических сенсоров, амперометрических, кондуктометрических, кулонометрических электрохимических сенсоров. Характеристика устройства и свойств термистора, биосенсора, явления фотолюминесценции.
реферат, добавлен 29.03.2011Переходная функция и показатели качества систем автоматизированного управления. Методы построения переходной функции. Коэффициент ошибок систем управления. Интегральные оценки качества протекания переходных процессов. Недостатки интегральных оценок.
лекция, добавлен 22.07.2015Базовые технологические операции изготовления интегральных микросхем. Операция наращивания на подложке монокристаллического слоя. Получение эпитаксиальных пленок. Использование светочувствительных материалов. Ионное легирование и термическое окисление.
доклад, добавлен 22.05.2016Автоматизация производственных процессов и внедрение микропроцессорного управления, определение пространственного положения различных движущихся частей механизмов, их скоростей и ускорений. Область применения датчиков Холла со встроенным магнитом.
статья, добавлен 21.09.2017Определение устойчивости линейных систем, эффективность применения обратной связи. Алгебраические, геометрические критерии устойчивости, условие устойчивости состояния покоя цепи линейных систем. Построения диаграммы Найквиста для неустойчивой системы.
курсовая работа, добавлен 13.03.2009