Автоматизация контроля скоростей распыления и осаждения тонких пленок методом электронно-эмиссионной спектроскопии при магнетронном нанесении
Проблема автоматизации известных методов оперативного контроля скорости осаждения покрытий в вакууме. Математическое моделирование планарной магнетронной системы распыления, электронно-эмиссионного датчика контроля скорости осаждения материала в вакууме.
Подобные документы
Возможности и технология методов магнетронного распыления и ионного осаждения покрытий. Нанесение антифрикционных, износостойких и жаростойких покрытий вакуумно-дуговым методом. Влияние нестехиометрии на физико-химические свойства поверхностных слоев.
учебное пособие, добавлен 03.03.2018Исследование влияния режима магнетронного распыления и состава реакционного газа на структуру и свойства пленок ITO. Назначение ионно-плазменного оборудования и процессы нанесения тонкопленочных функциональных покрытий на подложки большой площади.
реферат, добавлен 25.12.2020Устройство малогабаритной вакуумной установки модульного типа. Определение толщины пленки меди на ситалловой подложке с помощью атомно-силового микроскопа. Анализ зависимости толщины тонких пленок меди от времени процесса при магнетронном распылении.
научная работа, добавлен 03.05.2019Характеристика влияния физико-химических факторов на структуру осаждаемых металлических пленок. Ознакомление со схемой процесса электрохимической металлизации в электролитической ячейке. Анализ экспериментальных параметров электрохимического осаждения.
лабораторная работа, добавлен 17.09.2015Оценка зависимости производительности гальванического осаждения от величины потенциала катода и анода, от концентрации компонентов электролита около поверхности осаждения. Особенности механического устранения пассивной пленки с поверхности катода.
статья, добавлен 27.07.2017Лазерная поверхностная обработка металлов. Их электронно-лучевая плавка. Технология электронно-лучевой обработки конструкционных материалов. Ионно-лучевые методы осаждения покрытий и ионная литография. Лазерная обработка отверстий, ионное легирование.
реферат, добавлен 23.12.2014Связь структуры, состава и физико-механических свойств полученных методом вакуумно-дугового осаждения многослойных композиций титана с условиями осаждения. Наноструктура покрытия, эффективность многослойных покрытий многофункционального назначения.
статья, добавлен 29.09.2016Зависимости интенсивности осаждения кристаллита от плотности тока, электросопротивления контакта от коэффициента трения, скорости осаждения от коэффициента трения. Эффекты, обусловленные возрастанием температуры в окрестностях зоны деформаций металла.
статья, добавлен 26.10.2010Свойства тонких покрытий на основе нитридов переходных металлов. Упругие свойства нитридных пленок. Получение нитридных пленок методом вакуумно-дугового распыления. Изучение структуры и механических свойств нитридных пленок и пленок переходных металлов.
статья, добавлен 08.12.2018Исследование процесса ассистируемого фильтруемого вакуумно-дугового осаждения наноструктурированных многослойных покрытий. Параметры покрытий, включающие состав, структуру, толщину, твёрдость, адгезию по отношению к субстрату в зависимости от условий.
статья, добавлен 27.05.2018Анализ проблемы автоматизации контроля параметров прессования и вулканизации при производстве резинотехнических изделий. Специфика использования стационарного датчика и измерителя-регулятора ТРМ201 для контроля температуры запекания резиновой смеси.
реферат, добавлен 21.04.2016Определение оптимального режима получения пленок оксида цинка методом магнетронного распыления для изготовления газовых сенсоров. Изучение влияния режимов получения на электрическое сопротивление пленок при различных значениях относительной влажности.
статья, добавлен 29.06.2017Разработка магнетронной распылительной системы с жидкофазной мишенью, предназначенной для получения толстых металлических покрытий с высокими скоростями осаждения. Распыление из жидкой фазы. Переход к режиму работы магнетрона на собственных парах мишени.
статья, добавлен 02.11.2016Общая характеристика основных методов нанесения вакуумных покрытий. Генерация потока осаждаемого вещества термическим испарением. Электронно-лучевое лазерное испарение. Образование плёнок испаряемого материала на элементах электронно-оптической системы.
реферат, добавлен 17.10.2017Назначение, функциональные возможности и конструкции шахтного оборудования для контроля поступления воздуха в тупиковые выработки шахт, техника безопасности при работе с ним. Расчет и выбор установки датчика скорости воздуха для контроля его количества.
лабораторная работа, добавлен 01.03.2009Разработка технологий химического осаждения никель-фосфорных покрытий, легированных цинком, вольфрамом, молибденом и марганцем для расширения их сферы использования. Кинетические, электрохимические характеристики процессов осаждения и свойства сплавов.
автореферат, добавлен 14.12.2017Изложение технологии осаждения тонких плёнок перспективных материалов для устройств фазовой памяти – халькогенидных стеклообразных полупроводников. Рассмотрение энергонезависимой памяти, основанной на фазовых переходах. Технология вакуумного нанесения.
статья, добавлен 25.03.2018Описание способа непрерывного контроля частоты и амплитуды колебаний воздуховода при изменении скорости воздушного потока в вентиляционных системах. Изучение принципа работы устройства на базе пьезокерамического датчика с предварительным напряжением.
статья, добавлен 30.05.2017Изучение влияния морфологического строения конденсатов на основе исследуемых интерметаллидов на их свойства. Использование электронно-лучевой технологии осаждения конденсатов. Оценка демпфирующей способности титановых рабочих лопаток с покрытиями.
статья, добавлен 12.03.2020Ознакомление с принципами работы нанооборудования. Методика проведения экспериментов на установке молекулярного наслаивания TFS-200. Исследование процессов получения наногетероструктур, термического и атомно-слоевого осаждения диэлектриков на пластины.
отчет по практике, добавлен 05.07.2022Особенности использования тонких пленок в современных интегральных устройствах и датчиках. Результаты молекулярно-динамического моделирования квазистатического деформирования тонких пленок меди в условиях циклического нагружения и одноосного растяжения.
статья, добавлен 29.10.2018Выбор электролита для осаждения гальванических покрытий для высокого качества и надежности восстановления поверхностей деталей машин. Критерии выбора электролита. Состав выбранного электролита цинкования, описание методики его контроля и корректировки.
статья, добавлен 27.07.2017Рассмотрение преимуществ метода химического осаждения покрытий. Выполнение микроструктурных исследований методов электронной растровой микроскопии с использованием энергодисперсионного рентгеновского анализатора. Установление типа карбидных соединений.
реферат, добавлен 17.12.2019Оборудование и методы осаждения вещества. Газофазная эпитаксия - процесс осаждения эпитаксиальных слоев из газовой фазы. Конструкция камер для газофазного наращивания. Достоинства метода эпитаксиального наращивания. Получение поликристаллического кремния.
реферат, добавлен 12.01.2016Применение гальванических покрытий. Нанесение золотого, серебренного покрытия на медные или латунные детали. Составы растворов и режим осаждения. Состав и свойства анодно-оксидных покрытий. Окрашивание анодных покрытий. Метод гидрографической печати.
курсовая работа, добавлен 21.11.2018