Термическое окисление Si
Оборудование для термического окисления. Характеристика термических пленок SiO2. Скорость травления в буферном растворе. Воспроизводимые свойства использования реакторов пониженного давления. Особенности роста тонких и толстых пленок двуокиси кремния.
Подобные документы
Особенности использования тонких пленок в современных интегральных устройствах и датчиках. Результаты молекулярно-динамического моделирования квазистатического деформирования тонких пленок меди в условиях циклического нагружения и одноосного растяжения.
статья, добавлен 29.10.2018Свойства тонких покрытий на основе нитридов переходных металлов. Упругие свойства нитридных пленок. Получение нитридных пленок методом вакуумно-дугового распыления. Изучение структуры и механических свойств нитридных пленок и пленок переходных металлов.
статья, добавлен 08.12.2018Экструзионный метод производства полимерных пленок. Производство рукавных и плоских пленок, их свойства. Методы получения комбинированных пленок. Влияние технологических параметров процесса получения на физико-механические свойства полимерных пленок.
реферат, добавлен 22.08.2011Получение тонких пленок ZnO удовлетворительного качества. Исследование влияния импульсного магнитного поля на их структуру и электрические свойства. Анализ морфологии и структуры полученных пленок, определение их толщины и электрических характеристик.
дипломная работа, добавлен 18.07.2020Исследование влияния режима магнетронного распыления и состава реакционного газа на структуру и свойства пленок ITO. Назначение ионно-плазменного оборудования и процессы нанесения тонкопленочных функциональных покрытий на подложки большой площади.
реферат, добавлен 25.12.2020Образование и рост островковых тонких пленок. Устройство малогабаритной вакуумной установки модульного типа. Термическое испарение и магнетронное распыление. Исследование полученных структур меди на подложке с помощью атомно-силового микроскопа.
научная работа, добавлен 02.05.2019Изучение оптических свойств и термостабильности серебряных, алюминиевых и медных пленок, а также влияние планарной двумерной структуры на термостабильность. Коэффициенты отражения и пропускания в пленку, зависимость этих коэффициентов от длины волны.
статья, добавлен 20.05.2018Приготовление кремниевых пленок. Изготовление отрицательного электрода литий-ионного аккумулятора. Исследование влияния процессов отжига пленок на улучшение их электрохимических характеристик, проведение двух типов отжига – в вакууме и в атмосфере азота.
практическая работа, добавлен 16.11.2018Общее представление об углероде. Исследование фазового перехода алмаз-графит. Характеристика пленок аморфного углерода. Особенности и технология напыления углеродных алмазоподобных пленок при помощи автоматизированной импульсной лазерной установки.
курсовая работа, добавлен 01.04.2013Изготовление, применение, свойства тонкоплёночных структур на основе оксида тантала. Технологическое и измерительное оборудование. Осаждение тонких пленок окиси тантала, их оптические спектры. Исследования вольт-амперных и вольт-фарадных характеристик.
научная работа, добавлен 09.11.2018Ознакомление с принципами работы нанооборудования. Методика проведения экспериментов на установке молекулярного наслаивания TFS-200. Исследование процессов получения наногетероструктур, термического и атомно-слоевого осаждения диэлектриков на пластины.
отчет по практике, добавлен 05.07.2022Классификация и виды радиопоглощающих материалов. Волноводный метод определения диэлектрической проницаемости. Исследование радиофизических свойств ненаполненных полимерных пленок. Влияние рецептурно-технологических факторов на получения пленок.
дипломная работа, добавлен 28.08.2016Основные характеристики марок операционных пленок известных компаний, представленных на российском рынке, производящих пленки и их важнейшие рабочие характеристики. Модификация операционных пленок. Использование в медицине пленки на неровных поверхностях.
статья, добавлен 06.07.2020Преимущества золь-гель метода по сравнению с электрохимическим осаждением и магнетронным напылением плёнок. Характеристика и свойства композита полианилина. Использование двуокиси титана для изготовления датчиков и фотоэлектрических преобразователей.
статья, добавлен 01.03.2019Механические характеристики пленок оксидокарбидов хрома, получаемых из металлорганических соединений пиролизом последних в присутствии окислителя. Влияние температуры пиролиза исходного МОС-соединения, соотношения металлорганическое соединение–окислитель.
статья, добавлен 21.06.2018Оксид церия как перспективный полупроводниковый материал. Влияние природы и обработки подложки на свойства CeO2. Составление пленкообразующего раствора, подготовка подложки к его нанесению. Анализ оптических свойств и морфологии полученных пленок.
курсовая работа, добавлен 28.02.2020Принципы реактивного ионного травления. Химические процессы в тлеющем разряде. Травление некоторых специальных материалов и структур: диоксида кремния, алюминия и его сплавов. Газы, используемые для травления алюминия. Коррозия после процесса травления.
курсовая работа, добавлен 11.12.2014Рост экологических проблем, связанных с утилизацией отходов. Разработка на основе доступных технологий и рецептур аналогов биоразлагаемых пленок для использования в упаковке пищевых и фармацевтических продуктов. Выбор оптимальных композиций природных поли
статья, добавлен 08.02.2022Изучение технологического процесса облицовывания, оклеивания поверхностей заготовок из дешевых материалов слоем пленок или шпоном. Техническая характеристика пропиточных составов и рулонных пленок. Защитно-декоративные покрытия в мебельном производстве.
реферат, добавлен 23.05.2015Схема создания наноструктур из многослойных пленок путем химического травления "жертвенного" слоя. Формирование кольцевых, спиральных структур. Сила трения в наномире. Взаимодействие точечных зарядов, величины сил в различных наномеханических устройствах.
лекция, добавлен 12.08.2015Характеристика влияния физико-химических факторов на структуру осаждаемых металлических пленок. Ознакомление со схемой процесса электрохимической металлизации в электролитической ячейке. Анализ экспериментальных параметров электрохимического осаждения.
лабораторная работа, добавлен 17.09.2015Исследование методами просвечивающей электронной микроскопии и рамановской спектроскопии модифицированных висмутом пленок Ge2Sb2Te5, полученных путем ионно-плазменного высокочастотного распыления. Смещение положений между интенсивностями пиков.
реферат, добавлен 13.04.2017Технологический процесс производства пленок: выдавливание червячными прессами и метод пневматического растяжения. Покрытие бумаги полимерными пленками. Применение пленки как упаковочного материала, для фотографий, магнитных лент и электроизоляции.
лекция, добавлен 16.04.2016Особенности определения толщины и скорости роста анодного оксида алюминия, полученного анодированием в щелочном электролите. Разработка режимов и технологии анодирования. Оценка свойств пленок анодного оксида алюминия при разных режимах его получения.
статья, добавлен 30.01.2018Рассмотрение конструкции маломощного СВЧ-плазмотрона, используемого в установке плазменного нанесения порошковых покрытий. Особенности использования технологии нанесения тонких пленок и покрытий из различных материалов на разнообразные изделия.
статья, добавлен 23.02.2019