Литография высокого разрешения в технологии полупроводников
Фотолитография и основы оптики. Проекционная, контактная печать и печать с зазором. Характеристики электронно-лучевых установок, поглощение излучения высоких энергий. Радиационные повреждения приборов. Рентгеновское и ионно-лучевое экспонирование.
Подобные документы
Физические основы электронных приборов и понятие полупроводников, применение акцепторной примеси. Электрическое поле, создаваемое пространственными зарядами и возникновение прямого тока. Вольт-амперная характеристика электронно-дырочного перехода.
контрольная работа, добавлен 23.01.2015Основы теории электропроводности полупроводников. Дрейфовый, диффузионный ток. Контактные явления. Электронно-дырочный переход в состоянии равновесия. Полупроводниковые диоды, стабилитроны и стабисторы. Анализ принципа действия биполярного транзистора.
учебное пособие, добавлен 21.09.2018Методы лучевой терапии, их классификация. Место ускорителей и изотопных установок в лучевой терапии, их сравнительная характеристика. Принцип генерирования излучений высоких энергий. Понятие дозы излучения, ее распределение при воздействии излучений.
реферат, добавлен 04.01.2016Понятие рентгеновского излучения, история его открытия и применение. Получение и обнаружение рентгеновского излучения. Рентгеновская и гамма-дефектоскопия. Методы дифракционного анализа. Опасные факторы рентгеновского излучения, биологическое действие.
реферат, добавлен 20.01.2013Определение ширины запрещенной зоны полупроводников по краю собственного поглощения. Правила измерения интенсивности поглощенного излучения. Вычисление температурной зависимости электропроводности полупроводников и металлов. Расчет энергии упругости.
лабораторная работа, добавлен 19.12.2015Открытие рентгеновского излучения, особенности его воздействия. Возникновение рентгеновского излучения при взаимодействии электронов, движущихся с большими скоростями, с веществом. Рентгеновская и гамма-дефектоскопия, медицинская рентгенодиагностика.
курсовая работа, добавлен 30.05.2013Влияние температуры, давления, электрического поля на оптическое поглощение в основной полосе. Способы описания взаимодействия излучения с веществом. Поглощение света при возбуждении колебаний кристаллической решетки. Оптические процессы в металлах.
презентация, добавлен 10.08.2015Рассмотрение биографии лауреата Нобелевской премии - Рентгена Вильгельма Конрада. История открытия рентгеновских лучей. Опыты рентгена, изучение свойств излучения. Открытие лучей, испускаемых ураном. Применение рентгеновского излучения в медицине.
презентация, добавлен 21.12.2014Анализ основных элементов физики полупроводников. Зависимость электродвижущей силы Холла от размеров пластины. Схемы включения биполярных транзисторов. Сущность электронно-лучевых и вакуумно-люминесцентных индикаторов. Изучение светоизлучающих диодов.
лекция, добавлен 08.08.2020Особенности рентгеновского излучения как электромагнитных волн, история его открытия. Энергетические диапазоны рентгеновского излучения. Биологическое воздействие на ткани живых организмов. Лучевая болезнь, лучевые ожоги и злокачественные опухоли.
презентация, добавлен 17.11.2014- 11. Электропечать
Изучение особенностей применения электропечати. Стадии электрофотографического процесса. Отличительные черты аэрозольного проявления, метода проявления "магнитной кистью". Схема узла проявления с однокомпонентным проявителем. Электрокаплеструйная печать.
статья, добавлен 22.07.2013 Современные литографические процессы в технологии ППП и ИС. Понятие и специфика фоторезистов и фотошаблонов. Характеристика контактной и бесконтактной фотолитографии. Выбор и описание работы технологического оборудования оптической фотолитографии.
дипломная работа, добавлен 25.10.2010Характеристика особенностей увеличения электропроводности полупроводников под действием электромагнитного излучения. Рассмотрение контакта электронного и дырочного полупроводников. Исследование основных способов изменения сопротивления запирающего слоя.
реферат, добавлен 30.07.2015Изучение терминов "элементная база", "электронные приборы". Достоинства и недостатки полупроводников. История развития техники электронных приборов. Особенности конструкции диффузионно-сплавного транзистора. Общие свойства электронно-дырочных переходов.
шпаргалка, добавлен 01.04.2017Признаки полупроводников и их отличие от металлов и диэлектриков. Строение и электрические свойства полупроводников. Собственная и примесная проводимость полупроводников. Применение полупроводниковых приборов: диоды, фотодиоды, транзисторы, термисторы.
реферат, добавлен 30.10.2014Переходы электронов между стационарными состояниями в кристалле под действием электромагнитного излучения. Собственное поглощение света. Уравнение Максвелла при отсутствии сторонних полей и объемных зарядов. Поглощение света решеткой, электронами.
курсовая работа, добавлен 13.07.2017Классификация, основанная на диапазонах биологической эффективности ультрафиолетового излучения. Стандартные значения энергий разных ковалентных связей. Важнейшие характеристики оптического излучения. Схемы процессов поглощения фотона и флуоресценции.
реферат, добавлен 12.08.2015- 18. Генерация рентгеновского излучения при взаимодействии быстрых электронов с мозаичными кристаллами
Влияние совершенства структуры кристаллов на характеристики рентгеновского излучения, генерируемого при взаимодействии электронов средних энергий с кристаллами. Сопоставление характеристик излучения совершенных и мозаичных кристаллов в сфере медицины.
автореферат, добавлен 26.03.2018 Экспериментальные исследования излучения волоконного лазера, которое описывается параметрами гауссовых пучков. Анализ распространения луча в пространстве и преобразования оптической системой согласно теории лазерной оптики для когерентного излучения.
статья, добавлен 07.12.2018Исследование конструкции и электрофизических параметров микрострипового детектора частиц и излучений. Анализ технологии изготовления стрип-детекторов с емкостной связью с p-n переходами, резисторами и переходными конденсаторами на кремниевом кристалле.
статья, добавлен 03.10.2013Классификация электроннолучевых приборов. Устройство, принцип действия трубки с электростатическим управлением. Электростатическая фокусировка электронного луча. Магнитные фокусирующие линзы. Магнитная отклоняющая система. Конструкция отклоняющих катушек.
реферат, добавлен 13.10.2017Выбор ионно-оптической системы для источника квазимонохроматического рентгеновского излучения, состоящей из двух дублетов электростатических квадрупольных линз. Рассмотрение двух вариантов запитывания линз, обеспечивающих стигматическую фокусировку.
статья, добавлен 11.09.2013Расчет электропроводности металлов на основе квантовой теории. Собственная и примесная проводимость полупроводников. Сущность электронно-дырочного перехода как граница соприкосновения двух полупроводников. Термоэлектрические явления по зонной теории.
дипломная работа, добавлен 14.08.2018Различные технологии получения изображений фотографического качества. Использование специального тест-объекта для сравнительной характеристики различных методов печати изображения фотографического качества. Анализ и специфика струйной технологии печати.
статья, добавлен 07.12.2018Экспериментальное исследование микрорельефа и характеристик дифракционных оптических элементов, синтезированных методами компьютерной оптики, изготовленных по технологии электронной литографии. Существенная характеристика лазерных пучков Бесселя.
автореферат, добавлен 02.03.2018