Технологический процесс ионно-плазменного травления (ИПТ) систем: кремниевая подложка - алюминиевая маска

Принципы реактивного ионного травления. Химические процессы в тлеющем разряде. Травление некоторых специальных материалов и структур: диоксида кремния, алюминия и его сплавов. Газы, используемые для травления алюминия. Коррозия после процесса травления.

Подобные документы

  • Характеристика технологических приёмов для управляемого удаления поверхностного слоя материала с заготовки. Исследование особенностей химического, электрохимического и ионно-плазменного травления. Оборудование для ионно-плазменной обработки материалов.

    презентация, добавлен 24.10.2014

  • Основные виды травления - группы технологических приёмов для управляемого удаления поверхностного слоя материала с заготовки под действием химических веществ. Схема установки РИТ с высокочастотным индукционным источником плазмы. Состав газовой смеси.

    реферат, добавлен 15.01.2020

  • Исследование стадий процесса травления печатных плат. Изучение причин бокового подтрава печатных проводников. Сквозное протравливание поверхности меди. Анализ потерь при травлении. Кислотная и щелочная технологии травления. Сопротивление печатных плат.

    статья, добавлен 25.04.2017

  • Характеристика основных видов растворов для травления цветных и черных типов металлов. Описание фотографий микроструктур меди, алюминия и сплавов на их основе. Методика изучения микроструктуры металла или сплава на примере использования микрошлифов.

    статья, добавлен 11.11.2018

  • Основные виды загрязнений, встречающиеся при подготовке материала к травлению, причины их возникновения и методы удаления. Основные виды травления на полупроводниковых и диэлектрических пластинах, оборудование, используемое для этого и результаты.

    курсовая работа, добавлен 23.06.2012

  • Обзор процесса групповой обработки формирования структур как объекта управления. Разработка алгоритма системы управления технологическим процессом отжига при формировании структур. Моделирование травления при формировании топологии интегральных элементов.

    автореферат, добавлен 14.08.2018

  • История алюминия и его сплавов. Недостатки алюминия, физические свойства алюминия как химическогог элемента. Рафинирование алюминия и получение его электролизом раствора глинозема. Чистота алюминия как решающий показатель. Сплавы алюминия, его применение.

    реферат, добавлен 15.12.2009

  • Технологический процесс получения алюминия, его стадии, сферы применения. Получение глинозема из руд. Электролиз окиси алюминия. Характеристика опасных веществ и материалов, используемых в производстве. Описание основного используемого оборудования.

    реферат, добавлен 01.12.2013

  • Размерная электрохимическая обработка как изменение размера и формы детали в результате анодного растворения металла, отличия данного процесса от электрополирования и травления. Принципы ультразвуковой обработки. Факторы частоты колебаний генератора.

    реферат, добавлен 24.06.2015

  • История открытия, характеристика алюминия. Нахождение алюминия в природе, особенности алюминиевых руд. Производство глинозема, электролитическое производство алюминия. Алюминиевые сплавы, рафинирование алюминия. Промышленный способ производства алюминия.

    реферат, добавлен 13.03.2021

  • Особенности применения микроскопического анализа металлов и сплавов, устройство и принцип оптического микроскопа. Порядок приготовления и травления микрошлифов. Методика микроанализа, использование металлографического вертикального микроскопа МИМ–7.

    методичка, добавлен 04.05.2012

  • Свойства пористого оксида алюминия как перспективного материала для создания наноструктур на основе самоформирования. Математическая модель ионного транспорта через пленку. Физико-химические процессы образование пор в пленке анодированного алюминия.

    статья, добавлен 30.01.2018

  • Оборудование для термического окисления. Характеристика термических пленок SiO2. Скорость травления в буферном растворе. Воспроизводимые свойства использования реакторов пониженного давления. Особенности роста тонких и толстых пленок двуокиси кремния.

    курсовая работа, добавлен 25.03.2014

  • Конструктивные и технологические особенности сварки алюминия и его сплавов, применяемые в данном процессе материалы и инструменты. Обзор распространенных способов проведения технологических операций. Оценка методов дуговой сварки алюминия и его сплавов.

    контрольная работа, добавлен 21.03.2015

  • Область применения алюминия материала, характеристика обрабатываемости сплавов, её зависимость от физических и химических свойств алюминия, влияние геометрии инструмента на качество обработки резанием. Закономерности механической обработки алюминия.

    статья, добавлен 22.02.2019

  • Материаловедческая экспертиза металлических образцов, изъятых с места техногенной катастрофы или пожара. Исследование микрошлифа с помощью металлографического микроскопа. Методика подготовки микрошлифа. Сущность процесса травления и полирования образца.

    статья, добавлен 11.11.2018

  • Схема создания наноструктур из многослойных пленок путем химического травления "жертвенного" слоя. Формирование кольцевых, спиральных структур. Сила трения в наномире. Взаимодействие точечных зарядов, величины сил в различных наномеханических устройствах.

    лекция, добавлен 12.08.2015

  • Совместимость матрицы и армирующих волокон в композиционных материалах. Основные методы модификации поверхностей наполнителей. Обработка поверхности полимеров плазмой. Модификация полиэтилена, полипропилена и полиэтилентерефталата методом травления.

    курсовая работа, добавлен 13.03.2011

  • Конструктивный и технологический расчёт электролизёра, определение материального баланса, прихода и расхода материалов. Анализ технологического процесса электролитического способа производства алюминия, производственная санитария и организация труда.

    дипломная работа, добавлен 04.01.2012

  • Уникальные свойства алюминия. Основные области применения алюминия и его сплавов. Получение алюминия путем электролиза: добыча бокситов; производство глинозема; получение алюминия (электролитическое разложение глинозема, растворенного в электролите).

    реферат, добавлен 11.03.2023

  • Изучение влияния различных факторов на скорость коррозии стали в фосфорной кислоте. Определение зависимости адсорбции в 4н. Н3РО4 кислоте на стали от состава и концентрации ингибиторов, полученных на основе отходов промышленного производства морфолина.

    статья, добавлен 23.06.2018

  • Алюминиевая промышленность как отрасль цветной металлургии. Описание основных потребителей алюминия. Характеристика стадий производственного цикла: добычи алюминиевых руд, производства глинозема и металлического алюминия, а также проката, полуфабрикатов.

    статья, добавлен 26.04.2019

  • Металлические покрытия и технологические советы по декоративном покрытии на металле. Подготовительные операции перед покрытием метала, их характеристика и особенности. Описание подготовительных процедур: обезжиривания, очистки и травления металлов.

    курсовая работа, добавлен 24.11.2008

  • Применение ионно-плазменного азотирования (ИПА) для упрочнения различных изделий. Основные преимущества метода ИПА. Распределение микротвердости по глубине азотированного слоя. Характеристика легированных сталей после ионно-плазменного азотирования.

    реферат, добавлен 25.05.2014

  • Изучение стекловарения как одного из древнейших технологий в материальной культуре. Развитие стекольного производства в Европе и России. Технология создания художественного стекла, золотой фольги. Применение техники гранения, гравирования и травления.

    реферат, добавлен 05.12.2014

Работы в архивах красиво оформлены согласно требованиям ВУЗов и содержат рисунки, диаграммы, формулы и т.д.
PPT, PPTX и PDF-файлы представлены только в архивах.
Рекомендуем скачать работу и оценить ее, кликнув по соответствующей звездочке.