Оптичні властивості тонких плівок Мо, Ті, Сr і перехідних шарів на них
Ознайомлення з методами побудови тришарової моделі для тонких металічних плівок з врахуванням верхнього перехідного шару між плівкою і повітрям. Дослідження та аналіз тришарових тонкоплівкових структур із використанням методів спектроеліпсометрії.
Подобные документы
Дослідження властивостей тонких багатокомпонентних плівок: епітаксійних плівок SiGe, Si-Ge-С, отриманих методом плазмохімічного осадження. Введення вуглецю в процесі іонної імплантації і його вплив на рівень механічних напружень в епітаксійних структурах.
автореферат, добавлен 20.04.2014Синтез та деякі властивості фулериту С60 у масивному та плівковому стані, перспективи застосування. Особливості структури тонких конденсованих плівок. Електронографічні та електронно-мікроскопічні методики дослідження теплового розширення тонких плівок.
автореферат, добавлен 28.07.2014Визначення факторів впливу на структуру і фізичні властивості тонких плівок W-Ti-N і Ta-Si-N. Дослідження антидифузійних властивостей тонкоплівкових бар’єрів. Оптимізація технологічних основ отримання плівок, їх застосування в напівпровідникових системах.
автореферат, добавлен 27.08.2014Моделі для реалізації методу математичного планування і оптимізації багатофакторного експерименту у способі вирощування тонких плівок з парової фази методом гарячої стінки. Експериментальні дослідження структури і електричних властивостей тонких плівок.
автореферат, добавлен 23.11.2013Встановлення та пояснення оптичних властивостей пористого кремнезему. Побудова моделей адсорбційних центрів на поверхні пор. Вивчення тонких металевих плівок, осаджених на поверхню кремнезему лазерним методом. Оптичні параметри осадженої плівки.
автореферат, добавлен 27.02.2014Дослідження структури та електрофізичних властивостей, ефекту Холла та магнітоопору в тонких магнітних плівках сплаву. Метод електронно-променевого випаровування, який застосовується при виготовленні плівок. Дослідження кристалічної структури зразків.
статья, добавлен 23.10.2010Механізм формування підсистеми дефектів структури, обумовлених дією опромінення, легування та термічної обробки та її вплив на електричні властивості тонких моно- і полікристалічних плівок. Електрофізичні властивості тонких плівок халькоґенідів плюмбуму.
автореферат, добавлен 13.08.2015Дослідження структурних і фізичних властивостей реактивно-магнетронно розпилених плівок W-Ti-N та Ta-Si-N, в залежності від вмісту азоту в розпилювальній плазмі. Взаємозв’язок між фізико-технологічними параметрами розпилення і властивостями тонких плівок.
автореферат, добавлен 30.10.2015Фактори, які впливають на структуру та основні фізичні властивості тонких плівок W-Ti-N та Ta-Si-N, отриманих реактивним магнетронним розпиленням. Застосування плівок в якості дифузійних бар’єрів в системах металізації до напівпровідникових сполук.
автореферат, добавлен 27.08.2014Оптичні властивості тонких плівок і керамік на основі оксидів вольфраму і вісмуту, особливості їх люмінесценції при різних видах збудження. Встановлення механізму випромінювання та дослідження характеристик центрів захоплення термоактиваційними методами.
автореферат, добавлен 25.06.2014Фізико-технологічні параметри процесу формування тонких плівок шляхом термоіонного і реакційного термоіонного осаджування, різних модифікацій магнетронного розпилення та методами активованого плазмою хімічного осадження і лазерного випаровування.
автореферат, добавлен 22.04.2014Дослідження структури та електричних властивостей тонких плівок на основі твердих розчинів PbTe-Bi2Te3, осаджених у вакуумі на слюдяні та ситалові підкладки. Мозаїчна структура парофазного конденсата, сформована за механізмом зародження Фольмера-Вебера.
статья, добавлен 13.10.2016Проблеми дослідження магнітної та кристалічної мікроструктури приповерхневих шарів епітаксійних плівок ЗІГ. Розробка методики чисельного аналізу експериментальних КЕМ спектрів гранатових структур з великою кількістю близьких нееквівалентних положень.
автореферат, добавлен 25.04.2014Створення установки для вимірювання кутових залежностей інтенсивностей поляризованого світла, розробка надійного методу визначення оптичних сталих ультратонких плівок та визначення їх товщини. Дослідження розмірних ефектів та кута брюстера тонких плівок.
автореферат, добавлен 07.03.2014Удосконалення методик отримання плівок металів із відтворюваними структурою та електрофізичними властивостями. Дослідження закономірностей змін електричних властивостей тонких плівок під впливом поверхневого і зерномежового розсіювання носіїв струму.
автореферат, добавлен 05.08.2014Критичні, резистивні та високочастотні властивості тонких епітаксійних надпровідних плівок. Особливості механізму росту плівок YBCO та утворення специфічної наноструктурної мережі дислокаційних меж доменів. Механізми протікання надпровідного струму.
автореферат, добавлен 10.08.2014Фазовий склад, структурний стан поверхні, особливості дифузійних процесів та електрофізичні властивості дво- та тришарових плівок на основі Cr, Cu і Sc (Со), їх аналіз. Моделювання термо- та тензорезистивних властивостей тришарових плівкових систем.
автореферат, добавлен 28.07.2014З’ясування можливості використання тонко- і товстоплівкових структур на основі трикомпонентних твердих розчинів Cd1-xZn(Mn)xTe для поглинаючих шарів детекторів іонізуючого випромінювання. Оптимізація люмінесцентних характеристик плівкових базових шарів.
дипломная работа, добавлен 13.01.2020Дослідження процесів дефектоутворення та їх впливу на структуру та електричні властивості плівок селеніду свинцю. Характеристика механізмів фізичних процесів, що мають місце при вирощуванні плівок. Моделі атомних дефектів у тонких плівках селеніду свинцю.
автореферат, добавлен 27.07.2014Дослідження кристалічної структури, гальваномагнітних властивостей та доменної структури плівок сплаву Fe0,5-Ni0,5. Особливості використання такого сплаву у техніці для створення магнітопроводів, осердь електромагнітів, які є магнітом’яким матеріалом.
статья, добавлен 23.10.2010Розробка математичної моделі дифузії домішок азоту та їх взаємодії з атомами підґратки миш’яку. Визначення вливу температури нітридизації і величини поруватості підкладок на кристалографічні, морфологічні та оптичні властивості гетероепітаксійних плівок.
автореферат, добавлен 29.09.2015Дослідження впливу поверхневого та зерномежового розсіювання носіїв струму на перенос заряду в плівках. Розробка і вдосконалення методик керування кінетичними коефіцієнтами плівок за допомогою зміни товщини шару та середніх розмірів кристалітів.
автореферат, добавлен 12.02.2014Вплив виду, концентрації легуючої домішки на фазовий склад і параметри кристалічної структури, оптичні й електричні властивості плівок оксиду цинку. Оптимізація технологічних параметрів різних видів магнетронного розпилення для одержання легованих плівок.
автореферат, добавлен 30.07.2014Аналіз температурних залежностей електропровідності тонких плівок металів. Розмірна залежність ефективного параметру електрон-фононної взаємодії. Тангенс кута нахилу експериментальних температурних залежностей опору для плівок Pd, Pt і Sc. Енергія фонона.
статья, добавлен 23.12.2016Вплив азоту та потужності розряду на оптичні властивості алмазоподібних вуглецевих плівок, отриманих методом плазмово-стимульованого осадження з газової фази. Вплив ультрафіолетового та гамма-опромінення на властивості кремнієвих сонячних елементів.
автореферат, добавлен 12.07.2015