Циліндричні обернені розряди магнетронного типу та їх застосування
Фундаментальні властивості плазми газових розрядів, які вживаються в сучасних технологіях. Застосування плазмодинамічних пристроїв нового покоління для синтезу наномасштабних плівок і покриттів з металевих сполук із заданими функціональними ознаками.
Подобные документы
Розгляд властивостей газових розрядів низького тиску (індукційних, на поверхневих хвилях та з пиловими частинками). Гідродинамічні моделі для плазмових стовпів. Розробка методів керування просторовими та усередненими параметрами газових розрядів.
автореферат, добавлен 30.08.2014Вплив виду, концентрації легуючої домішки на фазовий склад і параметри кристалічної структури, оптичні й електричні властивості плівок оксиду цинку. Оптимізація технологічних параметрів різних видів магнетронного розпилення для одержання легованих плівок.
автореферат, добавлен 30.07.2014Фактори, які впливають на структуру та основні фізичні властивості тонких плівок W-Ti-N та Ta-Si-N, отриманих реактивним магнетронним розпиленням. Застосування плівок в якості дифузійних бар’єрів в системах металізації до напівпровідникових сполук.
автореферат, добавлен 27.08.2014Дослідження процесів формування структури, складу і властивостей зростання плівкових покриттів, утворених залежно від умов розпилення і складу робочого газу. Оптимізація цих умов з метою одержання плівок із заданими фізико-механічними властивостями.
автореферат, добавлен 26.07.2014Методи високоефективної плазмової нетермічної обробки поверхні діелектричних матеріалів, використання імпульсних високовольтних газових розрядів. Розробка пристроїв генерації плазми, вимірювання її властивостей та обробка поверхні для здійснення процесів.
автореферат, добавлен 26.08.2014Вивчення процесів утворення вуглецевих конденсатів при осадженні потоків активованих часток вуглецю (атомів, іонів, радикалів і іонізованих молекул). Одержання алмазоподібних і алмазних плівок, що мають необхідні властивості (механічні, оптичні).
автореферат, добавлен 22.07.2014Взаємозв’язок між морфологією та ефективними оптичними параметрами композитних гетеросистем з нанорозмірними металевими та діелектричними складовими. Адсорбція молекул з газових середовищ. Використання способів та методів поляритонної еліпсометрії.
автореферат, добавлен 30.07.2015Механізм формування підсистеми дефектів структури, обумовлених дією опромінення, легування та термічної обробки та її вплив на електричні властивості тонких моно- і полікристалічних плівок. Електрофізичні властивості тонких плівок халькоґенідів плюмбуму.
автореферат, добавлен 13.08.2015Визначення факторів впливу на структуру і фізичні властивості тонких плівок W-Ti-N і Ta-Si-N. Дослідження антидифузійних властивостей тонкоплівкових бар’єрів. Оптимізація технологічних основ отримання плівок, їх застосування в напівпровідникових системах.
автореферат, добавлен 27.08.2014Синтез та деякі властивості фулериту С60 у масивному та плівковому стані, перспективи застосування. Особливості структури тонких конденсованих плівок. Електронографічні та електронно-мікроскопічні методики дослідження теплового розширення тонких плівок.
автореферат, добавлен 28.07.2014Поняття іонізації газів, особливості їх електропровідності і її основні види (несамостійна і самостійна). Кількісна характеристика процесу іонізації. Поняття самостійного розряду. Типи самостійних газових розрядів: іскровий, дуговий, тліючий, коронний.
реферат, добавлен 13.04.2015Фізико-механічні властивості керамічних покриттів, нанесених плазмово-детонаційним способом на металеві підкладки. Формування високодисперсного стану в плазмово-детонаційному покритті з оксиду алюмінію. Огляд особливостей мікротвердості напилених керамік.
автореферат, добавлен 12.07.2014Одержання методом реактивного магнетронного розпилення плівок різних фаз оксиду. Дослідження будови та мікроструктури плівок Bi2O3 за допомогою рентгенофазового аналізу, оптичної та електроннооптичної мікроскопії і специфіка їх температурної стабільності.
автореферат, добавлен 29.07.2014Розробка теоретичних положень синтезу схем напівпровідникових вентильних перетворювачів із заданими властивостями на основі головної топологічної матриці. Основні топологічні закономірності структурного синтезу поліпшених схем перетворювальних пристроїв.
автореферат, добавлен 15.11.2013Особливості структури, фізико-хімічні та оптико-спектральні властивості люмінофорів. Особливості синтезу тонкоплівкових та керамічних сполук і аналіз їх кристалічної структури. Результати досліджень оптичних властивостей тонких плівок та монокристалів.
автореферат, добавлен 12.07.2015Встановлення природи та особливостей люмінесценції МК і МП окисних сполук системи Al2O3-Y2O3-R2O3 (R-РЗ іони) з структурою гранату і перовскіту. Оригінальні роботи із синтезу методом РФЕ нелегованих і легованих різними типами домішок МП окисних сполук.
автореферат, добавлен 26.07.2014Обґрунтування можливості створення системи децентралізованого вироблення тепла. Ефективність використання паливно-енергетичних ресурсів в Україні. Вивчення процесів взаємодії обертових газових потоків в енергозберігаючих технологіях теплоенергетики.
автореферат, добавлен 28.07.2014Вплив просторово-часової неоднорідності щільної плазми на її фізичні властивості. Методика емісійної і абсорбційної томографічної спектрометрії плазми на основі просторової модуляції випромінювання. Умови формування плазмових згустків у газі і вакуумі.
автореферат, добавлен 12.02.2014Влив температури нітридизації, величини поруватості підкладок GaAs на кристалографічні, оптичні (комбінаційне розсіювання світла) властивості гетероепітаксійних плівок GaN. Залежність між величиною поруватості підкладок і типом кристалічної гратки плівок.
автореферат, добавлен 29.09.2014Розроблення синтезу мезопористих плівок цирконійвмісного ТіО2 темплатним методом з використанням хелатного стабілізуючого агенту ацетилацетону, що виступають фотокаталізаторами процесів відновлення біхромат-іонів у розчині пари аліфатичних спиртів.
автореферат, добавлен 14.09.2014Комплексне дослідження впливу температури підкладки, знаку та величини потенціалу зсуву, прикладеного до підкладки при осадженні, на структуру, склад та морфологію покриттів, що конденсуються. Процес росту покриттів на основі диборидів танталу та гафнію.
автореферат, добавлен 27.07.2015Основні фотоелектричні властивості нелегованих полікристалічних алмазних плівок, які були вирощені CVD-методом. Внесок поверхні плівок в процеси електропереносу. Спектральна залежність нестаціонарного фотовідгуку у видимому та ближньому ІЧ-діапазонах.
автореферат, добавлен 25.02.2015Аналіз температурних залежностей електропровідності тонких плівок металів. Розмірна залежність ефективного параметру електрон-фононної взаємодії. Тангенс кута нахилу експериментальних температурних залежностей опору для плівок Pd, Pt і Sc. Енергія фонона.
статья, добавлен 23.12.2016Вплив азоту та потужності розряду на оптичні властивості алмазоподібних вуглецевих плівок, отриманих методом плазмово-стимульованого осадження з газової фази. Вплив ультрафіолетового та гамма-опромінення на властивості кремнієвих сонячних елементів.
автореферат, добавлен 12.07.2015Розробка математичної моделі дифузії домішок азоту та їх взаємодії з атомами підґратки миш’яку. Визначення вливу температури нітридизації і величини поруватості підкладок на кристалографічні, морфологічні та оптичні властивості гетероепітаксійних плівок.
автореферат, добавлен 29.09.2015