Оптичний актинометричний метод контролю плазмохімічних процесів в мікроелектронній технології
Аналіз можливостей і перспектив використання оптичного актинометричного методу контролю плазмохімічного травлення структур рSi/SiO2/Si при виготовленні приладів сучасної мікро та наноелектроніки. Результати досліджень процесу травлення мікроструктур.
Подобные документы
Механізм формування на ділянках SiО2 плазмохімічних локально модифікованих плівок із використанням продуктів травлення кремнію. Методики створення орієнтованих механічних напружень, визначення кристалографічної анізотропії процесів травлення монокремнію.
автореферат, добавлен 28.07.2014Загальна характеристика дисертаційної роботи, опис виконання комплексних досліджень фізичних властивостей кристалів CZT. Вирощування кристалів з високим ступенем структурної досконалості. Параметри кристалів після травлення, аналіз отриманих результатів.
автореферат, добавлен 19.04.2014Розробка уніфікованої системи збирання та обробки даних прискорених випробувань для оцінки стадії передруйнування поверхневого прошарку деталей складних виробів на всіх етапах їхнього життєвого циклу із використанням енергетичного методу контролю.
статья, добавлен 27.07.2016Аналіз сучасного стану та перспектив розвитку технології, обладнання і матеріалів флексографії, існуючих методів та засобів контролю. Фізико-хімічні процеси, що відбуваються при виготовлені друкарських форм, а також при роботі друкарського апарату.
автореферат, добавлен 22.07.2014- 5. Системи лазерної відеополяриметрії для автоматизованого контролю параметрів неоднорідних біотканин
Порівняльний аналіз методів оптичного контролю і схем вимірювання поляризаційних параметрів біологічних об’єктів і тканин. Визначення вимірів анізотропії та поляризації неоднорідних біотканин. Покращення універсальної системи лазерної відеополяриметрії.
автореферат, добавлен 26.09.2015 - 6. Розробка методу контролю технічного стану шарошкових доліт в умовах невизначеності процесу буріння
Вивчення способів контролю робочого стану шарошкових доліт. Аналіз нечіткої інформації про параметри буріння. Опис технологічних ситуацій, що виникають в процесі вибою свердловини. Промислове впровадження методу контролю на бурових підприємствах України.
автореферат, добавлен 10.01.2014 Дослідження факторів, що призводять до втрати працездатності модулів ливарних автоматичних ліній, аналіз їх експлуатаційних відмов. Розробка методичного і стендового забезпечення експериментальних досліджень методу контролю працездатності об’єкту.
автореферат, добавлен 06.07.2014Розв’язання задачі вимірювання, контролю та прогнозування стану параметрів мікроклімату виробничого приміщення з метою забезпечення експлуатаційних характеристик прецизійних приладів на стадії процесу їх складання. Зменшення відмови вихідної продукції.
статья, добавлен 02.10.2018Аналіз промислових умов експлуатації систем автоматизованого контролю та основні параметри, які впливають на вірогідність отриманих даних. Модель системи автоматизованого контролю. Дослідження запропонованих алгоритмів використання методу деформації.
автореферат, добавлен 29.07.2015Механізм отримання поруватої поверхні напівпровідників методом електрохімічного травлення. Особливості синтезу одновимірних оксидних структур. Відпал поруватих зразків у потоці атомарного кисню. Схематичне зображення утворення нанотрубок оксиду цинку.
статья, добавлен 02.11.2018Фізико-механічні характеристики напівпровідникових пластин кремнієвих структур з діелектричною ізоляцією в процесі формоутворення. Метод автоматичного операційного контролю товщини пластин. Методика виміру товщини пластин за допомогою створеного методу.
автореферат, добавлен 28.07.2014Дослідження, пов'язані з впливом властивостей гірських порід на показники процесу. Питання розробки методу контролю меж пластів гірських порід безпосередньо в процесі буріння і використання як інформативного показника швидкості зносу озброєння долота.
статья, добавлен 29.09.2018Розрахунок оцінювання впливу на результат вимірювання концентрації зміщення функції перетворення вимірювального каналу з урахуванням похибки. Показники оптичного послаблення. Забруднення скла кювети при застосуванні спектрофотометричного методу.
статья, добавлен 14.01.2017Сутність методу неруйнівного контролю відповідальних деталей гідронасоса. Обрання найбільш придатного для контрольованих деталей тип первинного перетворювача. Виготовлення макету вихорострумового дефектоскопу - основного вимірювального блоку системи.
автореферат, добавлен 28.07.2014Дослідження методу неруйнівного контролю відповідальних деталей гідронасоса. Розробка структурної, принципової схеми вихорострумового дефектоскопа як основного вимірювального блоку автоматизованої системи. Математична модель первинного перетворювача.
автореферат, добавлен 28.07.2014Розгляд стану, проблем і перспектив розвитку уніфікованих систем збирання та обробки даних прискорених випробувань складних виробів. Пропонування аналітичних залежностей, які дозволяють визначити точність випробувань та оцінити якість складних виробів.
статья, добавлен 27.07.2016Розробка теоретичних засад методу контролю напружено-деформованого стану відкритих ділянок лінійної частини магістральних трубопроводів. Характеристика розробки апаратних та програмних засобів для реалізації методу контролю НДС відкритих ділянок ЛЧМТ.
автореферат, добавлен 05.11.2013Розробка приладів контролю з використанням магніточутливих пристроїв для стендів технічної діагностики паливних систем дизельних автомобілів. Наведення результатів теоретичних та експериментальних досліджень автогенераторного магніточутливого пристрою.
статья, добавлен 27.07.2016Розробка методу автоматизованого проектування технології механічної обробки деталей приладів, що дозволяє скоротити час технологічної підготовки виробництва за рахунок інтегрування конструкторських інформаційних потоків та автоматизації процесів.
автореферат, добавлен 26.07.2014Принцип дії приладів для автоматичного контролю і керування температурними режимами технологічних процесів і дистанційної передачі результатів в якості датчиків. Використання термометрів розширення. Характерні несправності та способи їх усунення.
контрольная работа, добавлен 16.07.2017Розробка технології виготовлення анодної фольги, особливості та доцільність використання алюмінієвих електролітичних конденсаторів. Аналіз методів травлення та формування мікроструктури фольги зі збільшенням питомої ємності, їх переваги та недоліки.
автореферат, добавлен 26.08.2014Вивчення об'єктів контролю і їхніх характерних рис, а також відомих методів підвищення якості контролю радіодеталей. Розробка та зміст методу розрахунку ризику виробника при багатоступеневому контролі з виведенням простих аналітичних співвідношень.
автореферат, добавлен 10.09.2014Проблема розробки оптимального методу контролю якості термоелектродних матеріалів з метою його подальшої стандартизації, придатного до застосування безпосередньо в процесі їх виготовлення. Аналіз моделі параметричного вихорострумового перетворювача.
автореферат, добавлен 27.04.2014Аналіз результатів розроблення методів визначення напружено-деформованого стану об’єктів – поглинання та дифузного поверхневого розсіювання. Модифікація поляризаційно-оптичного методу його дослідження для малих за величиною картин оптичної анізотропії.
статья, добавлен 29.07.2016Аналіз кінетичних закономірностей каталізу та інгібування нативними біокоректорами та їх стабілізованими формами. Дослідження складу та фізико-хімічних властивостей стабілізованих біокоректорів. Фармакологічні дослідження біологічно активних добавок.
автореферат, добавлен 26.08.2015