Ионное ассистирование в процессах образования тонкопленочных структур на поверхности твердого тела
Ионное ассистирование - метод формирования тонкопленочных слоев, основанный на ионной бомбардировке выращиваемой фазы. Характеристики оборудования для исследования процессов ионного ассистирования и процесса ионно-лучевого нанесения тонких пленок.
Подобные документы
Ознакомление с порядком формирования пленок в процессах ионно-плазменного нанесения. Исследование структурных последствий образования зародышей в тонких пленках. Рассмотрение схемы вакуумного напыления. Анализ диодных систем на постоянном напряжении.
курсовая работа, добавлен 18.04.2015Понятие, сущность и назначение ионной имплантации, преимущества и недостатки. Схема установки и характеристика процесса структурообразования. Определение дефектов при легировании и способы их устранения. Физические ограничения имплантационного метода.
курсовая работа, добавлен 04.05.2015Характеристика технологических приёмов для управляемого удаления поверхностного слоя материала с заготовки. Исследование особенностей химического, электрохимического и ионно-плазменного травления. Оборудование для ионно-плазменной обработки материалов.
презентация, добавлен 24.10.2014Характеристика основных требований, которые предъявляются к технологическому процессу осаждения тонкопленочных покрытий. Расчет приращения емкости сетчатого конденсатора за счет осаждаемого материала в случае увеличения площадок под ячейками сетки.
автореферат, добавлен 10.08.2018Изучение свойств пленок титана, образовавшихся на нейтронной мишени в результате электронно-лучевого напыления. Характеристика кристаллической микроструктуры пленки, напыленной при различных температурах подложки. Исследование шероховатости поверхности.
дипломная работа, добавлен 01.09.2016Разработка технологии очистки ряда алкоголятов металлов и кремнийсодержащих для получения веществ высокой чистоты с использованием процессов адсорбции и фильтрации. Возможности использования этих продуктов для нанесения на различные поверхности.
автореферат, добавлен 02.09.2018Создание методики расчета с определением условий и значимых параметров процесса ориентации сферического ротора относительно ионного потока при формировании тонкопленочного покрытия с выявлением зависимости характеристик покрытия от этих параметров.
статья, добавлен 28.10.2018Физические особенности процесса ионного легирования. Влияние технологических параметров на процесс ионной имплантации. Распределение внедренных примесных атомов, радиационные дефекты. Методы математического моделирования процесса ионной имплантации.
доклад, добавлен 17.05.2016Вакуумные технологические установки для нанесения покрытий. Подготовка поверхности изделий, виды покрытий и их свойства. Оборудование для контроля качества вакуумно-плазменных покрытий. Особенности тонкопленочных покрытий. Физическое газофазное осаждение.
презентация, добавлен 29.08.2015Ионная имплантация - процесс легирования тонких приповерхностных слоев твердого тела путем облучения поверхности пучком ионов. Перечень основных научных направлений, где используется данная технология и описание физических эффектов ее сопровождающих.
статья, добавлен 06.10.2015Особенности использования тонких пленок в современных интегральных устройствах и датчиках. Результаты молекулярно-динамического моделирования квазистатического деформирования тонких пленок меди в условиях циклического нагружения и одноосного растяжения.
статья, добавлен 29.10.2018Рассмотрение процесса нанесения ионно-плазменных покрытий на турбинные лопатки. Изучение перспективных методов ассистирования процесса синтеза покрытий. Возможности регулирования структурно-фазового и элементного состава покрытий и свойств покрытий.
статья, добавлен 18.02.2021Характеристика методов нанесения композиционных материалов: ионное, катодное, магнетронное распыление, распыление в несамостоятельном газовом разряде. Технология вакуумной металлизации. Исследование электрофизических свойств композиционных материалов.
курсовая работа, добавлен 13.01.2016Механизмы формирования микро- и наноструктур поверхностных слоев деталей при финишной абразивной обработке. Параметры процесса обработки, влияющие на формирование тонких поверхностных структур. Термическое и силовое воздействие на поверхность детали.
статья, добавлен 27.05.2018Рассмотрение конструкции маломощного СВЧ-плазмотрона, используемого в установке плазменного нанесения порошковых покрытий. Особенности использования технологии нанесения тонких пленок и покрытий из различных материалов на разнообразные изделия.
статья, добавлен 23.02.2019Приготовление кремниевых пленок. Изготовление отрицательного электрода литий-ионного аккумулятора. Исследование влияния процессов отжига пленок на улучшение их электрохимических характеристик, проведение двух типов отжига – в вакууме и в атмосфере азота.
практическая работа, добавлен 16.11.2018Свойства пленок нитрида кремния. Электронная структура нитрида кремния. Способы получения пленок нитрида кремния. Высокотемпературные акустические приемники. Датчик газового анализатора. Применение тонких пленок нитрида кремния в микроэлектронике.
курсовая работа, добавлен 06.10.2019Экструзионный метод производства полимерных пленок. Производство рукавных и плоских пленок, их свойства. Методы получения комбинированных пленок. Влияние технологических параметров процесса получения на физико-механические свойства полимерных пленок.
реферат, добавлен 22.08.2011Анализ результатов исследования влияния лазерного импульсного облучения на структуру поверхностных слоев сплавов. Образование мультимасштабной структуры, включающей крупномасштабные и мелкомасштабные изменения рельефа поверхности как следствие процесса.
статья, добавлен 27.07.2016Анализ процессов нанесения покрытия металлов вакуумно-дуговыми ионно-плазменными методами, разделение на основные характерные зоны, возникающие при обработке изделий. Системный подход к обеспечению качества вакуумно-дуговых ионно-плазменных покрытий.
статья, добавлен 27.07.2016Изложение технологии осаждения тонких плёнок перспективных материалов для устройств фазовой памяти – халькогенидных стеклообразных полупроводников. Рассмотрение энергонезависимой памяти, основанной на фазовых переходах. Технология вакуумного нанесения.
статья, добавлен 25.03.2018Подготовка поверхности режущего инструмента к нанесению покрытия. Комбинированная обработка рабочих поверхностей режущего инструмента. Ионное азотирование и нанесение покрытий. Лазерная обработка, легирование. Криогенно-эрозионная обработка поверхности.
курсовая работа, добавлен 16.09.2013- 23. Методы деполяризационной спектрометрии в анализе дефектности тонкопленочных носителей информации
Использование полимерных пленок для изготовления гибких носителей информации, применяемых в системах с молекулярной записью и электростатическим считыванием. Характеристика искусственного создания дефектов. Особенность проведения операции контроля.
статья, добавлен 04.03.2018 - 24. Метод ионной имплантации — перспективное направление модификации поверхности изделий в строительстве
Преимущества метода ионной имплантации перед способами вакуумного напыления. Представление установки ионной имплантации для реализации метода, принцип ее работы. Результаты использования упрочняющих покрытий на инструменте для обработки древесных изделий.
статья, добавлен 30.09.2012 Общее понятие ионной имплантации, как метода легирования поверхностных слоев, заключающегося в обработке поверхности потоком высокоэнергетичных ионов и внедрении их в объеме материала. Физические основы метода. Структура и свойства имплантированных слоев.
реферат, добавлен 11.12.2014