Ионная имплантация: перспективы и альтернативы
Ионная имплантация - процесс легирования тонких приповерхностных слоев твердого тела путем облучения поверхности пучком ионов. Перечень основных научных направлений, где используется данная технология и описание физических эффектов ее сопровождающих.
Подобные документы
Разработка упрочняющих технологий для управления фазовым составом, структурой и свойствами поверхностного слоя железоуглеродистых сплавов для повышения его износостойкости. Теплофизические модели лазерной и плазменной закалки, ионная имплантация.
реферат, добавлен 12.10.2016Понятие, сущность и назначение ионной имплантации, преимущества и недостатки. Схема установки и характеристика процесса структурообразования. Определение дефектов при легировании и способы их устранения. Физические ограничения имплантационного метода.
курсовая работа, добавлен 04.05.2015Результаты экспериментальных исследований формирования приповерхностных слоев деталей из конструкционных материалов при шлифовании и в процессе трения. Описание физических явлений, сопровождающих формирование неравновесных состояний поверхностных слоев.
статья, добавлен 27.05.2018Сущность и назначение ионной имплантации как метода внедрения атомных частиц в углеродные наноструктуры. Использование метода в промышленности. Дефекты при ионном легировании и способы их устранения. Применение ионного легирования в технологии СБИС.
реферат, добавлен 22.11.2016Физические особенности процесса ионного легирования. Влияние технологических параметров на процесс ионной имплантации. Распределение внедренных примесных атомов, радиационные дефекты. Методы математического моделирования процесса ионной имплантации.
доклад, добавлен 17.05.2016Сущность ионной имплантации, распределение примеси бора и фосфора в кремниевом биполярном n-p-n транзисторе. Основные характеристики и технологические особенности ионной имплантации. "Гибридизация" имплантационной методики с традиционными технологиями.
курсовая работа, добавлен 21.12.2023Перспективность ионной имплантации в микроэлектронике, металлообработке, металлургии, теплоэнергетике. Особенности теплоотдачи от поверхности твердых тел, обработанных методом корпускулярного легирования. Методика исследования синтезированных композитов.
статья, добавлен 22.01.2018Процесс полимолекулярной адсорбции ряда жидкостей на поверхности твердого тела. Изменение характеристик приповерхностного слоя. Ориентационное упорядочение жидкокристаллического типа в приповерхностных слоях. Свойства эпитропного жидкого кристалла.
статья, добавлен 30.08.2016- 9. Ионное ассистирование в процессах образования тонкопленочных структур на поверхности твердого тела
Ионное ассистирование - метод формирования тонкопленочных слоев, основанный на ионной бомбардировке выращиваемой фазы. Характеристики оборудования для исследования процессов ионного ассистирования и процесса ионно-лучевого нанесения тонких пленок.
отчет по практике, добавлен 09.11.2014 Модификация поверхности металлов при помощи имплантации ионов. Технология ускорения ионов, предполагающая "энергетическую накачку" среды с последующим их ускорением непосредственно из плазмы газового разряда. Схема экспериментальной установки ускорителя.
статья, добавлен 30.09.2012Конденсация и ионная бомбардировка как основные методы нанесения покрытий. Изучение структуры фазового состава и химических элементов в поверхностном слое режущего инструмента, после нанесения покрытия на основе молибдена вакуумно-плазменным методом.
статья, добавлен 17.12.2019Характеристика трещин на поверхности монокристаллов сапфира. Анализ условий образования трещин при взаимодействии абразива и поверхности материала. Рекомендации по определению свойств приповерхностных слоев сапфира и усовершенствованию качества кристалла.
статья, добавлен 29.07.2017- 13. Технология прямого сращивания пластин кремния и технологические маршруты изготовления структур КНИ
Преимущества структур КНИ перед структурами на основе объемного кремния. Технологии создания структур КНИ. Особенности процесса имплантация ионов водорода в приборную пластину. Исследование процессов химико-механической обработки кремниевых структур.
статья, добавлен 02.11.2018 Экспериментальные результаты и термодинамическое исследование ионной флотации из Y(+3), Er(+3), Yb(+3) в водных системах. Коэффициенты распределения редкоземельных элементов в процессе флотаци. Получены зависимости коэффициентов распределения ионов.
статья, добавлен 10.05.2018Свойства сплавов на основе Ni-Cr. Использование порошковых покрытий из никелевых сплавов с целью защиты поверхности конструкционной стали. Методы анализа поверхности и приповерхностных слоев. Спектральный флуоресцентный анализ, особенности его применения.
контрольная работа, добавлен 19.04.2013Механоактивация как метод управления физическими свойствами твердого тела. Релаксация прикладываемой к образцу механической энергии через различные каналы. Пластическая деформация, разрушение твердого тела путем накопления точечных дефектов и дислокаций.
статья, добавлен 30.07.2017Рассмотрение особенностей процесса уменьшения размеров частиц твердого тела до требуемых размеров путем механического воздействия. Определение степени и основных принципов измельчения. Обзор классификации оборудования и определение принципов его работы.
презентация, добавлен 04.12.2017Анализ результатов исследования влияния лазерного импульсного облучения на структуру поверхностных слоев сплавов. Образование мультимасштабной структуры, включающей крупномасштабные и мелкомасштабные изменения рельефа поверхности как следствие процесса.
статья, добавлен 27.07.2016Разработка технологии очистки ряда алкоголятов металлов и кремнийсодержащих для получения веществ высокой чистоты с использованием процессов адсорбции и фильтрации. Возможности использования этих продуктов для нанесения на различные поверхности.
автореферат, добавлен 02.09.2018Сущность сталеплавильных процессов. Основные методы раскисления и легирования стали. Обоснование выбора плавильного агрегата. Описание устройства дуговых печей. Порядок легирования, применение синтетического шлака и процесс обработки металла аргоном.
курсовая работа, добавлен 15.03.2012Технологический процесс формообразования поверхности при обработке минералов. Процесс удаления поверхностного слоя (ПС) минерала с формированием поверхности заданной шероховатости и неплоскостности. Качество обработки поверхности с минимизацией отходов.
автореферат, добавлен 12.02.2018Лазерная поверхностная обработка металлов. Их электронно-лучевая плавка. Технология электронно-лучевой обработки конструкционных материалов. Ионно-лучевые методы осаждения покрытий и ионная литография. Лазерная обработка отверстий, ионное легирование.
реферат, добавлен 23.12.2014- 23. Антиизносные электроэрозионные покрытия при изготовлении и восстановлении роторов турбокомпрессоров
Схематическое изображение зон эрозионного износа деталей ротора центробежного компрессора. Рекомендуемые удельные усилия деформации электроэрозионного легирования поверхности слоев различной твердости и результаты их воздействия на микрогеометрию.
статья, добавлен 13.01.2020 Изучение вопроса о влиянии электрического поля на смачиваемость древесной поверхности клеем. Процессы смачивания и растекания жидкости по поверхности твердого тела, определяемые адгезионными силами. Изменение вязкости смолы КФ–МТ–15 от времени выдержки.
статья, добавлен 28.04.2017Построение схемы электроискрового процесса. Достоинства и особенности электроискрового легирования. Рабочие инструменты и детали, оснастка и их восстановление и ремонт. Примеры установок электроискрового легирования и их технические характеристики.
реферат, добавлен 10.05.2016