Формування нанорозмірних плівок Ti-O-N та Cr-O-N іонно-променевими методами
Створення діагностичних приладів для вимірювання параметрів пучків іонів і атомно-молекулярних потоків у вакуумному середовищі. Методика синтезу ультратонких суцільних плівок нітридів та оксинітридів металів з використанням іонно-променевого розпилення.
Подобные документы
Дослідження процесів, які призводять до утворення збуджених частинок, що відлітають від поверхні при взаємодії іонного пучка з твердим тілом. Використання методу іонно-фотонної спектроскопії для визначення параметрів електронної структури твердого тіла.
автореферат, добавлен 11.08.2015Фізичні основи промислово-перспективних технологій виготовлення робочих плівкових елементів різного функціонального призначення з підвищеною електропровідністю, відтворюваністю властивостей і надійністю. Умови дифузійного формування нанорозмірних плівок.
автореферат, добавлен 29.09.2014Вплив виду, концентрації легуючої домішки на фазовий склад і параметри кристалічної структури, оптичні й електричні властивості плівок оксиду цинку. Оптимізація технологічних параметрів різних видів магнетронного розпилення для одержання легованих плівок.
автореферат, добавлен 30.07.2014Напружений стан монокристалічних і текстурованих матеріалів. Аналіз стискаючих неоднорідно-розподілених по товщині іонно-плазмових плівок. Релаксація та формування пружних спотворень. Оптимізація технології отримання оболонок із заданими властивостями.
автореферат, добавлен 28.07.2014Визначення тиску насиченої пари фуллерена, що випаровувався. Формування металофуллеренових конденсатів під час осадження потоків часток з підвищенною енергією металевої компоненти. Дослідження структури плівок фуллериту, легованих атомами вісмуту.
автореферат, добавлен 25.08.2015Поняття та класифікація, поляризація діелектриків. Вплив зовнішніх факторів на діелектричну проникність. Формування діелектричних плівок на поверхні напівпровідникових пластин. Отримання шарів оксиду і нітриду кремнію, реактивне іонно-плазмове розпилення.
курсовая работа, добавлен 26.08.2016Елементний склад і розподіл елементів по глибині для плівок SiOX у залежності від методу їх формування та механізми впливу технологічних параметрів отримання на їх властивості. Вплив домішки азоту на формування структур із кремнієвими нанокластерами.
автореферат, добавлен 26.09.2015Дослідження електро- та фотофізичних властивостей плівок напівпровідникових молекулярних композитів на основі полімерів і полікомплексів азобензолу і гетерополіядерних комплексів з координованими іонами металів. Здійснення голографічного запису.
автореферат, добавлен 30.07.2015Створення установки для вимірювання кутових залежностей інтенсивностей поляризованого світла, розробка надійного методу визначення оптичних сталих ультратонких плівок та визначення їх товщини. Дослідження розмірних ефектів та кута брюстера тонких плівок.
автореферат, добавлен 07.03.2014Розробка методики вимірювання крайових кутів змочування для конденсованих плівок металів і сплавів з використанням просвічуючої мікроскопії. Вивчення змочування в острівцевих плівках металів у залежності від розміру частинок і товщини плівок-підкладок.
автореферат, добавлен 28.08.2014Розроблення синтезу мезопористих плівок цирконійвмісного ТіО2 темплатним методом з використанням хелатного стабілізуючого агенту ацетилацетону, що виступають фотокаталізаторами процесів відновлення біхромат-іонів у розчині пари аліфатичних спиртів.
автореферат, добавлен 14.09.2014Дослідження процесів формування структури, складу і властивостей зростання плівкових покриттів, утворених залежно від умов розпилення і складу робочого газу. Оптимізація цих умов з метою одержання плівок із заданими фізико-механічними властивостями.
автореферат, добавлен 26.07.2014Закономірності впливу структури, умов вирощування і зовнішніх факторів (термічного відпалу, радіаційного опромінення, легування) на термоелектричні характеристики плівок телуриду свинцю та їх аналогів. Методика вимірювання теплопровідності тонких плівок.
автореферат, добавлен 11.11.2013Одержання методом реактивного магнетронного розпилення плівок різних фаз оксиду. Дослідження будови та мікроструктури плівок Bi2O3 за допомогою рентгенофазового аналізу, оптичної та електроннооптичної мікроскопії і специфіка їх температурної стабільності.
автореферат, добавлен 29.07.2014- 15. Закономірності формування та еволюції нерівноважного структурного стану іонно-плазмових конденсатів
Структурний стан матеріалів, одержаних за умов високої нерівноважності процесів. Формування та еволюція фазового складу, структури, субструктурних характеристик конденсатів вольфраму, одержаних за нерівноважних умов осадження з іонно-плазмових потоків.
автореферат, добавлен 14.09.2015 Застосування вольфраму і вуглецю як матеріалів першої стінки, що контактують із плазмою в термоядерному реакторі. Бомбардування вольфрамової плівки одночасно іонами палива та вуглецю середніх енергій. Вплив хімічної взаємодії на розпилення вольфраму.
автореферат, добавлен 30.08.2014Методика отримання шорстких поверхонь монокристалів NaCl, KCl. Процес осадження гранульованих плівок, що утворюють двошарове покриття. Визначення спектра поглинання вихідних та покритих відповідним діелектриком гранульованих плівок металів третьої групи.
автореферат, добавлен 10.01.2014Вивчення електрофізичних властивостей термодинамічно гомогенних розплавів. Дослідження механізму розсіювання електронів в іонно-електронних системах. Вдосконалення методики високотемпературних вимірювань електропровідності хімічно агресивних середовищах.
автореферат, добавлен 12.07.2015Вплив низькотемпературних методів виготовлення плівок систем Cu-In-Se та CuInSe2-ZnSe на їх фазовий склад та структуру для потреб геліоенергетики. Методика осадження плівок ZnSe на поверхні альфа-CIS для буферних шарів плівкових сонячних елементів.
автореферат, добавлен 13.08.2015- 20. Надтонкі діелектричні молекулярні плівки, організація і еволюція їх структури, оптичні властивості
Вивчення структурної стабільності високовпорядкованих діелектричних молекулярних плівок в залежності від інтеркаляції іонів металів. Аналіз механізмів фазових перетворень періодичної металоорганічної матриці і росту напівпровідникових нанокристалів.
автореферат, добавлен 25.09.2015 Вплив фокусуючого магнітного поля на кутові характеристики іонних потоків. Динамічна система автоматизованого вимірювання товщини покриття і температури. Напружений стан деталей і різальних інструментів, його вплив на одно- та багатошарові покриття.
автореферат, добавлен 29.07.2014Ознайомлення з методами побудови тришарової моделі для тонких металічних плівок з врахуванням верхнього перехідного шару між плівкою і повітрям. Дослідження та аналіз тришарових тонкоплівкових структур із використанням методів спектроеліпсометрії.
автореферат, добавлен 30.07.2015Аналіз температурних залежностей електропровідності тонких плівок металів. Розмірна залежність ефективного параметру електрон-фононної взаємодії. Тангенс кута нахилу експериментальних температурних залежностей опору для плівок Pd, Pt і Sc. Енергія фонона.
статья, добавлен 23.12.2016Створення мікроелектронних хімічних біосенсорiв. Розробка високочутливих селективних аналізаторів іонів важких металів. Вивчення впливу парів аміаку на електропровідність плівок поліаніліну. Комп’ютерне моделювання зміни поверхневого потенціалу сенсорів.
автореферат, добавлен 12.02.2014Удосконалення методик отримання плівок металів із відтворюваними структурою та електрофізичними властивостями. Дослідження закономірностей змін електричних властивостей тонких плівок під впливом поверхневого і зерномежового розсіювання носіїв струму.
автореферат, добавлен 05.08.2014