Стаціонарні електричні розряди з однорідним випаровуванням електрода у вакуумі та їх застосування в джерелах плазми, іонів і термоіонному напиленні

Властивості стаціонарного проходження електричного струму між електродами у вакуумі. Розробка типів джерел плазми й іонів та плазмових прискорювачів з електродом, що однорідно випаровується у вакуумі; методів термоіонного напилення плівок і покриттів.

Подобные документы

Работы в архивах красиво оформлены согласно требованиям ВУЗов и содержат рисунки, диаграммы, формулы и т.д.
PPT, PPTX и PDF-файлы представлены только в архивах.
Рекомендуем скачать работу и оценить ее, кликнув по соответствующей звездочке.