Структурні та оптичні властивості багатокомпонентних тонких плівок, модифікованих активними обробками
Дослідження властивостей тонких багатокомпонентних плівок: епітаксійних плівок SiGe, Si-Ge-С, отриманих методом плазмохімічного осадження. Введення вуглецю в процесі іонної імплантації і його вплив на рівень механічних напружень в епітаксійних структурах.
Подобные документы
Критичні, резистивні та високочастотні властивості тонких епітаксійних надпровідних плівок. Особливості механізму росту плівок YBCO та утворення специфічної наноструктурної мережі дислокаційних меж доменів. Механізми протікання надпровідного струму.
автореферат, добавлен 10.08.2014Вплив азоту та потужності розряду на оптичні властивості алмазоподібних вуглецевих плівок, отриманих методом плазмово-стимульованого осадження з газової фази. Вплив ультрафіолетового та гамма-опромінення на властивості кремнієвих сонячних елементів.
автореферат, добавлен 12.07.2015Умови осадження полікристалічних плівок ZnO методом хімічного осадження з парової фази металоорганічних вихідних реагентів, при підсиленні плазмовим розрядом. Вплив галію на структуру, морфологію, електричний опір та спектр оптичного пропускання плівок.
автореферат, добавлен 26.08.2015Моделі для реалізації методу математичного планування і оптимізації багатофакторного експерименту у способі вирощування тонких плівок з парової фази методом гарячої стінки. Експериментальні дослідження структури і електричних властивостей тонких плівок.
автореферат, добавлен 23.11.2013Синтез та деякі властивості фулериту С60 у масивному та плівковому стані, перспективи застосування. Особливості структури тонких конденсованих плівок. Електронографічні та електронно-мікроскопічні методики дослідження теплового розширення тонких плівок.
автореферат, добавлен 28.07.2014Ознайомлення з методами побудови тришарової моделі для тонких металічних плівок з врахуванням верхнього перехідного шару між плівкою і повітрям. Дослідження та аналіз тришарових тонкоплівкових структур із використанням методів спектроеліпсометрії.
автореферат, добавлен 30.07.2015Дослідження структури та електрофізичних властивостей, ефекту Холла та магнітоопору в тонких магнітних плівках сплаву. Метод електронно-променевого випаровування, який застосовується при виготовленні плівок. Дослідження кристалічної структури зразків.
статья, добавлен 23.10.2010Механізм формування підсистеми дефектів структури, обумовлених дією опромінення, легування та термічної обробки та її вплив на електричні властивості тонких моно- і полікристалічних плівок. Електрофізичні властивості тонких плівок халькоґенідів плюмбуму.
автореферат, добавлен 13.08.2015Дослідження процесів дефектоутворення та їх впливу на структуру та електричні властивості плівок селеніду свинцю. Характеристика механізмів фізичних процесів, що мають місце при вирощуванні плівок. Моделі атомних дефектів у тонких плівках селеніду свинцю.
автореферат, добавлен 27.07.2014Систематичне експериментальне вивчення змін складу, структури та властивостей плівок систем Zr-B та V-B. Оцінювання умови формування та зростання конденсатів, які отримують за допомогою систем ІПР. Осадження високотвердих наноструктурних плівок.
автореферат, добавлен 28.07.2014Удосконалення методик отримання плівок металів із відтворюваними структурою та електрофізичними властивостями. Дослідження закономірностей змін електричних властивостей тонких плівок під впливом поверхневого і зерномежового розсіювання носіїв струму.
автореферат, добавлен 05.08.2014Фізико-технологічні параметри процесу формування тонких плівок шляхом термоіонного і реакційного термоіонного осаджування, різних модифікацій магнетронного розпилення та методами активованого плазмою хімічного осадження і лазерного випаровування.
автореферат, добавлен 22.04.2014Закономірності впливу структури, умов вирощування і зовнішніх факторів (термічного відпалу, радіаційного опромінення, легування) на термоелектричні характеристики плівок телуриду свинцю та їх аналогів. Методика вимірювання теплопровідності тонких плівок.
автореферат, добавлен 11.11.2013Дослідження структури та електричних властивостей тонких плівок на основі твердих розчинів PbTe-Bi2Te3, осаджених у вакуумі на слюдяні та ситалові підкладки. Мозаїчна структура парофазного конденсата, сформована за механізмом зародження Фольмера-Вебера.
статья, добавлен 13.10.2016Аналіз параметрів для отримання алмазоподібних плівок в умовах електромагнітного опромінювання ростової поверхні. Розрахунок швидкості росту плівок з урахуванням чинника електромагнітного опромінювання у моделях газофазного росту алмазоподібного вуглецю.
автореферат, добавлен 25.02.2015Дослідження властивостей алмазоподібних плівок вуглецю. Вивчення прихованих шарів карбіду кремнію, синтезованих високодозовою імплантацією вуглецю в монокристалічний кремній. Механізми гетерування домішок та пасивації рекомбінаційно-активних центрів.
автореферат, добавлен 20.04.2014Вплив виду, концентрації легуючої домішки на фазовий склад і параметри кристалічної структури, оптичні й електричні властивості плівок оксиду цинку. Оптимізація технологічних параметрів різних видів магнетронного розпилення для одержання легованих плівок.
автореферат, добавлен 30.07.2014Вивчення багатокомпонентних халькогенідів міді і срібла у масивних зразках, в тонких плівках. Фазоутворення у розрізах Cu2S-Ag2Se, Cu2S-Ag2Те, Cu2S-Cu2Se, Cu2S-Cu2Te, їх дослідження методами ДТА і рентгеноструктурного аналізу. Закономірності росту плівок.
автореферат, добавлен 23.11.2013Оптимальні параметри для отримання алмазоподібних плівок в умовах електромагнітного опромінювання ростової поверхні. Механізми впливу випромінювання видимого і УФ-діапазонів на процеси росту і структуру плівок. Дія електромагнітного випромінювання.
автореферат, добавлен 29.09.2015Влив температури нітридизації, величини поруватості підкладок GaAs на кристалографічні, оптичні (комбінаційне розсіювання світла) властивості гетероепітаксійних плівок GaN. Залежність між величиною поруватості підкладок і типом кристалічної гратки плівок.
автореферат, добавлен 29.09.2014Дослідження структурних і фізичних властивостей реактивно-магнетронно розпилених плівок W-Ti-N та Ta-Si-N, в залежності від вмісту азоту в розпилювальній плазмі. Взаємозв’язок між фізико-технологічними параметрами розпилення і властивостями тонких плівок.
автореферат, добавлен 30.10.2015Визначення факторів впливу на структуру і фізичні властивості тонких плівок W-Ti-N і Ta-Si-N. Дослідження антидифузійних властивостей тонкоплівкових бар’єрів. Оптимізація технологічних основ отримання плівок, їх застосування в напівпровідникових системах.
автореферат, добавлен 27.08.2014Процес фізичної деградації епітаксіальних плівок при тривалому атмосферному зберіганні, в результаті корпускулярної і фотонної дії в лабораторних умовах і в навколоземному космічному просторі (НКП). Можливість експлуатації плівкових об’єктів в умовах НКП.
автореферат, добавлен 15.11.2013Фактори, які впливають на структуру та основні фізичні властивості тонких плівок W-Ti-N та Ta-Si-N, отриманих реактивним магнетронним розпиленням. Застосування плівок в якості дифузійних бар’єрів в системах металізації до напівпровідникових сполук.
автореферат, добавлен 27.08.2014Дослідження кристалічної структури, гальваномагнітних властивостей та доменної структури плівок сплаву Fe0,5-Ni0,5. Особливості використання такого сплаву у техніці для створення магнітопроводів, осердь електромагнітів, які є магнітом’яким матеріалом.
статья, добавлен 23.10.2010