Стаціонарні електричні розряди з однорідним випаровуванням електрода у вакуумі та їх застосування в джерелах плазми, іонів та термоіонному напиленні
Вивчення властивостей і технологічних параметрів стаціонарного проходження електричного струму між електродами у вакуумі. Розробка методів термоіонного напилення плівок і покриттів та їх застосування у розробці конкретних виробів мікроелектроніки.
Подобные документы
Дослідження структури та електричних властивостей тонких плівок на основі твердих розчинів PbTe-Bi2Te3, осаджених у вакуумі на слюдяні та ситалові підкладки. Мозаїчна структура парофазного конденсата, сформована за механізмом зародження Фольмера-Вебера.
статья, добавлен 13.10.2016Диференціальні рівняння, що описують рух порошку для неоднорідних полів швидкості газового потоку. Залежність розв’язків від технологічних параметрів процесу напилення покриттів. Зміна температури та швидкості частинок порошку вздовж дистанції напилення.
статья, добавлен 25.10.2016Оптимізація геометрії, вибір параметрів комплексу зондування плазми пучком важких іонів в умовах відхилення зондувального пучка від площини інжекції під впливом магнітних полів. Поведінка електричного потенціалу й електронної густини плазми в стелараторі.
автореферат, добавлен 29.07.2014Встановлення особливостей сольватації іонів в об'ємі рідини та причини адсорбції іонів на поверхні електродів. Розробка методів визначення структури і параметрів подвійного електричного шару. Аналіз механізму обміну електронами між електродом та іонами.
автореферат, добавлен 28.07.2014Вплив виду, концентрації легуючої домішки на фазовий склад і параметри кристалічної структури, оптичні й електричні властивості плівок оксиду цинку. Оптимізація технологічних параметрів різних видів магнетронного розпилення для одержання легованих плівок.
автореферат, добавлен 30.07.2014Електронна польова емісія у вакуумі з кремнієвих і вуглецевих нанокомпозитних напівпровідникових структур на Si і GaAs. Локальна передпробійна формовка напівпровідникових і діелектричних плівок електричним полем. Покращення емісійних параметрів катодів.
автореферат, добавлен 14.09.2015Формули та приклади розв’язання задач з кінематики, динаміки прямолінійного руху та гідростатики. Характеристика законів збереження енергії. Електричне поле у вакуумі та діелектриках. Провідники в електричному полі. Енергія електричного поля та струму.
учебное пособие, добавлен 07.07.2017Вплив просторово-часової неоднорідності щільної плазми на її фізичні властивості. Методика емісійної і абсорбційної томографічної спектрометрії плазми на основі просторової модуляції випромінювання. Умови формування плазмових згустків у газі і вакуумі.
автореферат, добавлен 12.02.2014Застосування методів корекції дискретних сигналів струму і напруги з метою підвищення точності визначення електромагнітних параметрів двигуна постійного струму при живленні його від перетворювача напруги. Миттєві значення напруги та струму якоря.
статья, добавлен 29.09.2018Призначення, принцип дії і класифікація електричних машин. Особливості будови генераторів постійного струму. Залежність обертаючого моменту на валу електродвигуна постійного струму від сили струму в обмотці. Застосування у електрифікованому транспорті.
реферат, добавлен 04.12.2010Фазовий склад і структура плівок, вирощених із парової фази. Механізми деградації електричних властивостей плівки. Встановлення залежності типу провідності і концентрації носіїв струму. Аналіз профілів властивостей плівок різної структурної досконалості.
автореферат, добавлен 14.07.2015Перевірка достовірності розрахунку електричного кола за балансом потужностей та законами Кірхгофа. Розрахунок струмів електричного кола методом вузлових потенціалів. Знаходження сили струму у вітці з джерелом напруги G2 методом еквівалентного генератора.
контрольная работа, добавлен 09.03.2020Фізика процесів запалювання і горіння розрядів низького тиску. Вольт-амперна характеристика впливу додаткового електрода з позитивним потенціалом на розряд з випаровуванням анода. Оцінка параметрів потоку плазми парів різних твердотільних матеріалів.
автореферат, добавлен 05.01.2014Фізико-технологічні параметри процесу формування тонких плівок шляхом термоіонного і реакційного термоіонного осаджування, різних модифікацій магнетронного розпилення та методами активованого плазмою хімічного осадження і лазерного випаровування.
автореферат, добавлен 22.04.2014Стаціонарні розподіли рухомих позитивно заряджених іонів у кристалі CdS, що сформовані під дією електричного поля. Можливості керованого формування складних профілів провідності та фоточутливості. Побудування теорії перехідного процесу електродифузії.
автореферат, добавлен 23.11.2013Визначення факторів впливу на структуру і фізичні властивості тонких плівок W-Ti-N і Ta-Si-N. Дослідження антидифузійних властивостей тонкоплівкових бар’єрів. Оптимізація технологічних основ отримання плівок, їх застосування в напівпровідникових системах.
автореферат, добавлен 27.08.2014З’ясування причин анізотропії віддзеркалення електронів проводимості від реальної поверхні вольфраму з орієнтацією. Розробка методів літографічної модифікації поверхні Si у надвисокому вакуумі. Методика отримання надгострих вольфрамових вістрів.
автореферат, добавлен 18.11.2013Створення масиву наночастинок Au на напівпровідникових плівках CdS термічним відпалюванням у вакуумі плівок золота товщиною 6 нм. Дослідження морфології поверхні плівок CdS, покритих масивом наночастинок золота, визначення середніх розмірів наночастинок.
статья, добавлен 13.10.2016Визначення умов існування електричного струму. Класифікація речовин за здатністю проводити електричні заряди. Вивчення електричних властивостей індію. Розгляд змісту електронної теорії провідності. Визначення відношення заряду до маси носіїв заряду.
практическая работа, добавлен 08.04.2020Створення плівок поруватого кремнію електрохімічним методом. Характеристика електричних та оптичних властивостей прозорих плівкових оксидів. Застосування технології вологого хімічного та парового осадження при виготовленні головних ясних покрить.
диссертация, добавлен 01.01.2017Іонізований газ, що виникає в процесі самостійного розряду - особливий стан речовини, який являє собою плазму. Дуговий газовий розряд - безперервний процес проходження електричного струму через повітряний зазор, що виникає між кількома електродами.
презентация, добавлен 02.02.2021Розрахунок інтегральних виразів для спектрально-кутових розподілів потужності випромінювання систем заряджених частинок. Вплив фактора когерентності на тонку структуру спектра випромінювання двох електронів, що рухаються по гвинтовій лінії у вакуумі.
автореферат, добавлен 28.07.2014Сутність процесу іонізації газів, поняття та основні типи самостійного розряду (іскровий, дуговий, тліючий, коронний), їх характеристика та застосування. Виникнення електричного струму, умови вивільнення енергії залежно від кількості катіонів та іонів.
контрольная работа, добавлен 27.04.2015Дослідження краплинної фази ерозії катода для різних катодних матеріалів у високому вакуумі та при наявності газу в розрядному проміжку. Вивчення нових можливостей стаціонарного вакуумного дугового розряду в процесах плазмової обробки поверхонь.
автореферат, добавлен 22.06.2014Формування наночастинок Ag в приповерхневих шарах стекол 98.0CaB4O7-2.0Ag2O і 97.0CaB4O7-1.0Gd2O3-2.0Ag2O відпалом у вакуумі або в атмосфері повітря. Аналіз різницевого спектру поглинання і спектру нормалізованого пропускання скла, відпаленого у вакуумі.
статья, добавлен 23.12.2016