Effect of substrate temperature on the properties of PECVD SiCN films

SiCN system like a new kind of semiconductor materials that connect the best properties of silicon carbide and nitride. Characteristics of the variation of the Knoop hardness, nanohardness and Young’s modules as functions of substrate temperature.

Подобные документы

Работы в архивах красиво оформлены согласно требованиям ВУЗов и содержат рисунки, диаграммы, формулы и т.д.
PPT, PPTX и PDF-файлы представлены только в архивах.
Рекомендуем скачать работу и оценить ее, кликнув по соответствующей звездочке.