Реактивное ионное травление
Характеристика технологических приёмов для управляемого удаления поверхностного слоя материала с заготовки. Исследование особенностей химического, электрохимического и ионно-плазменного травления. Оборудование для ионно-плазменной обработки материалов.
Подобные документы
Принципы реактивного ионного травления. Химические процессы в тлеющем разряде. Травление некоторых специальных материалов и структур: диоксида кремния, алюминия и его сплавов. Газы, используемые для травления алюминия. Коррозия после процесса травления.
курсовая работа, добавлен 11.12.2014Исследование изменения потенциала плазменного потока с использованием зондовой методики диагностики плазмы. Оценка концентрации положительных ионов материала внедрения при ионно-плазменной модификации поверхности стекла при атмосферном давлении.
статья, добавлен 29.01.2017Повышение надежности машин и металлоконструкций путем улучшения состояния качества поверхностного слоя материала. Основные преимущества метода лазерно–плазменной очистке и обработки поверхности по сравнению с другими способами удаления короззионного слоя.
статья, добавлен 08.06.2018Применение ионно-плазменного азотирования (ИПА) для упрочнения различных изделий. Основные преимущества метода ИПА. Распределение микротвердости по глубине азотированного слоя. Характеристика легированных сталей после ионно-плазменного азотирования.
реферат, добавлен 25.05.2014Основные виды загрязнений, встречающиеся при подготовке материала к травлению, причины их возникновения и методы удаления. Основные виды травления на полупроводниковых и диэлектрических пластинах, оборудование, используемое для этого и результаты.
курсовая работа, добавлен 23.06.2012Напыление и его виды. Вакуумные технологии покрытия, преимущества и цели. Схема процесса, оборудование, режим и обработка ионно-плазменного напыления, расходные материалы. Генератор металлической плазмы, технические характеристики серийных установок.
реферат, добавлен 18.12.2013Изучение механизма горения водорода в кислороде. Рассмотрение модели электрода разрабатываемого электролизера с основными размерами. Анализ принципиальной схемы электроискрового преобразователя. Описание этапов разработки ионно-плазменной установки.
статья, добавлен 23.02.2019Разработка технологической схемы изготовления сопла с круглым отверстием. Материал и режимы получения защитной пленки Si3N4. Остановка травления слоёв, технология электрохимического стоп-травления. Процесс фотолитографии. Режим анизотропного травления.
контрольная работа, добавлен 05.06.2016Лазерная поверхностная обработка металлов. Их электронно-лучевая плавка. Технология электронно-лучевой обработки конструкционных материалов. Ионно-лучевые методы осаждения покрытий и ионная литография. Лазерная обработка отверстий, ионное легирование.
реферат, добавлен 23.12.2014- 10. Ионное ассистирование в процессах образования тонкопленочных структур на поверхности твердого тела
Ионное ассистирование - метод формирования тонкопленочных слоев, основанный на ионной бомбардировке выращиваемой фазы. Характеристики оборудования для исследования процессов ионного ассистирования и процесса ионно-лучевого нанесения тонких пленок.
отчет по практике, добавлен 09.11.2014 Характеристика основных причин низкой прочности сцепления газотермических покрытий с подложкой. Нанесение плазменного покрытия с применением ионно-дуговой активации поверхности. Устойчивость диффузного несамостоятельного разряда. Катодное распыление.
статья, добавлен 03.11.2013Ионно-плазменное напыление как наиболее рациональный способ повышение ресурса ножей автогрейдера. Особенности закалки покрытия ножей токами высокой частоты. Описание метода конденсации ионной бомбардировки, повышение адгезионной связи покрытия с металлом.
статья, добавлен 22.01.2017Азотирование — технологический процесс химико-термической обработки азотом поверхностей металлов, сплавов: назначение, свойства азотированных металлических поверхностей. Процессы, оборудование для газового, каталитического, ионно-плазменного азотирования.
реферат, добавлен 14.07.2013Изучение структуры, фазового состава и распределения микромеханических свойств поверхностного слоя коррозионностойких сталей после нанесения покрытия CrN ионно-плазменным методом на опытные образцы стали 40Х после нанесения поверхностного покрытия.
статья, добавлен 17.12.2019Разработка математической модели физических процессов, протекающих в плазменной струе, а также при ее взаимодействии с частицами порошкового материала. Оценка технологических параметров операции нанесения покрытий и эффективности обработки материала.
статья, добавлен 03.11.2013Анализ процессов нанесения покрытия металлов вакуумно-дуговыми ионно-плазменными методами, разделение на основные характерные зоны, возникающие при обработке изделий. Системный подход к обеспечению качества вакуумно-дуговых ионно-плазменных покрытий.
статья, добавлен 27.07.2016Финишная полировка - основное применение электролитно-плазменной обработки поверхностей электропроводящих материалов. Характеристика ключевых технологических особенностей обработки металлической поверхности после осуществления газоплазменной резки.
контрольная работа, добавлен 27.12.2017Виды технологических процессов. Определение вида заготовки и метода ее получения. Последовательность переходов, обеспечивающих получение требуемой по чертежу точности и качества поверхностного слоя, от заготовки до конечных характеристик поверхности.
лекция, добавлен 25.09.2017Исследование влияния режима магнетронного распыления и состава реакционного газа на структуру и свойства пленок ITO. Назначение ионно-плазменного оборудования и процессы нанесения тонкопленочных функциональных покрытий на подложки большой площади.
реферат, добавлен 25.12.2020Рассмотрение влияния метода электроэрозионной обработки на технологические характеристики поверхностного слоя обрабатываемого материала. Анализ изменений твердости и шероховатости поверхности после электроэрозионной обработки твердосплавной фрезы.
статья, добавлен 03.06.2016Оптимизация режимов формирования азотированного слоя при комбинированной обработке быстрорежущего инструмента. Закономерности поведения обработанной плазмы. Комбинированная поверхностная ионно-плазменная обработка инструмента из быстрорежущей стали.
доклад, добавлен 26.11.2015- 22. Определение свойств сверхтонких ферромагнитных слоев по сигналам накладных электромагнитных датчиков
Влияние режимов ионно-лучевой обработки интенсивными пучками низкоэнергетических ионов азота на структуру и физико-механические свойства аустенитной нержавеющей стали. Условия формирования ферромагнитного слоя. Контроль свойств модифицированного слоя.
статья, добавлен 02.11.2018 Исследование стадий процесса травления печатных плат. Изучение причин бокового подтрава печатных проводников. Сквозное протравливание поверхности меди. Анализ потерь при травлении. Кислотная и щелочная технологии травления. Сопротивление печатных плат.
статья, добавлен 25.04.2017Разработка упрочняющих технологий для управления фазовым составом, структурой и свойствами поверхностного слоя железоуглеродистых сплавов для повышения его износостойкости. Теплофизические модели лазерной и плазменной закалки, ионная имплантация.
реферат, добавлен 12.10.2016Особенности износа режущих инструментов. Свойства инструментальных материалов покрытия, некоторые элементы резания. Применение смазочно-охлаждающих жидкостей. Установка ионно-плазменного напыления ННВ-6.6-И1. Выбор оптимальных режимов напыления.
дипломная работа, добавлен 14.10.2010