Реактивное ионное травление
Характеристика технологических приёмов для управляемого удаления поверхностного слоя материала с заготовки. Исследование особенностей химического, электрохимического и ионно-плазменного травления. Оборудование для ионно-плазменной обработки материалов.
Подобные документы
Принципы реактивного ионного травления. Химические процессы в тлеющем разряде. Травление некоторых специальных материалов и структур: диоксида кремния, алюминия и его сплавов. Газы, используемые для травления алюминия. Коррозия после процесса травления.
курсовая работа, добавлен 11.12.2014Исследование изменения потенциала плазменного потока с использованием зондовой методики диагностики плазмы. Оценка концентрации положительных ионов материала внедрения при ионно-плазменной модификации поверхности стекла при атмосферном давлении.
статья, добавлен 29.01.2017Повышение надежности машин и металлоконструкций путем улучшения состояния качества поверхностного слоя материала. Основные преимущества метода лазерно–плазменной очистке и обработки поверхности по сравнению с другими способами удаления короззионного слоя.
статья, добавлен 08.06.2018Применение ионно-плазменного азотирования (ИПА) для упрочнения различных изделий. Основные преимущества метода ИПА. Распределение микротвердости по глубине азотированного слоя. Характеристика легированных сталей после ионно-плазменного азотирования.
реферат, добавлен 25.05.2014Основные виды загрязнений, встречающиеся при подготовке материала к травлению, причины их возникновения и методы удаления. Основные виды травления на полупроводниковых и диэлектрических пластинах, оборудование, используемое для этого и результаты.
курсовая работа, добавлен 23.06.2012Напыление и его виды. Вакуумные технологии покрытия, преимущества и цели. Схема процесса, оборудование, режим и обработка ионно-плазменного напыления, расходные материалы. Генератор металлической плазмы, технические характеристики серийных установок.
реферат, добавлен 18.12.2013Изучение механизма горения водорода в кислороде. Рассмотрение модели электрода разрабатываемого электролизера с основными размерами. Анализ принципиальной схемы электроискрового преобразователя. Описание этапов разработки ионно-плазменной установки.
статья, добавлен 23.02.2019Разработка технологической схемы изготовления сопла с круглым отверстием. Материал и режимы получения защитной пленки Si3N4. Остановка травления слоёв, технология электрохимического стоп-травления. Процесс фотолитографии. Режим анизотропного травления.
контрольная работа, добавлен 05.06.2016Лазерная поверхностная обработка металлов. Их электронно-лучевая плавка. Технология электронно-лучевой обработки конструкционных материалов. Ионно-лучевые методы осаждения покрытий и ионная литография. Лазерная обработка отверстий, ионное легирование.
реферат, добавлен 23.12.2014- 10. Ионное ассистирование в процессах образования тонкопленочных структур на поверхности твердого тела
Ионное ассистирование - метод формирования тонкопленочных слоев, основанный на ионной бомбардировке выращиваемой фазы. Характеристики оборудования для исследования процессов ионного ассистирования и процесса ионно-лучевого нанесения тонких пленок.
отчет по практике, добавлен 09.11.2014 Характеристика основных причин низкой прочности сцепления газотермических покрытий с подложкой. Нанесение плазменного покрытия с применением ионно-дуговой активации поверхности. Устойчивость диффузного несамостоятельного разряда. Катодное распыление.
статья, добавлен 03.11.2013Ионно-плазменное напыление как наиболее рациональный способ повышение ресурса ножей автогрейдера. Особенности закалки покрытия ножей токами высокой частоты. Описание метода конденсации ионной бомбардировки, повышение адгезионной связи покрытия с металлом.
статья, добавлен 22.01.2017Азотирование — технологический процесс химико-термической обработки азотом поверхностей металлов, сплавов: назначение, свойства азотированных металлических поверхностей. Процессы, оборудование для газового, каталитического, ионно-плазменного азотирования.
реферат, добавлен 14.07.2013Изучение структуры, фазового состава и распределения микромеханических свойств поверхностного слоя коррозионностойких сталей после нанесения покрытия CrN ионно-плазменным методом на опытные образцы стали 40Х после нанесения поверхностного покрытия.
статья, добавлен 17.12.2019Разработка математической модели физических процессов, протекающих в плазменной струе, а также при ее взаимодействии с частицами порошкового материала. Оценка технологических параметров операции нанесения покрытий и эффективности обработки материала.
статья, добавлен 03.11.2013Анализ процессов нанесения покрытия металлов вакуумно-дуговыми ионно-плазменными методами, разделение на основные характерные зоны, возникающие при обработке изделий. Системный подход к обеспечению качества вакуумно-дуговых ионно-плазменных покрытий.
статья, добавлен 27.07.2016Финишная полировка - основное применение электролитно-плазменной обработки поверхностей электропроводящих материалов. Характеристика ключевых технологических особенностей обработки металлической поверхности после осуществления газоплазменной резки.
контрольная работа, добавлен 27.12.2017Виды технологических процессов. Определение вида заготовки и метода ее получения. Последовательность переходов, обеспечивающих получение требуемой по чертежу точности и качества поверхностного слоя, от заготовки до конечных характеристик поверхности.
лекция, добавлен 25.09.2017Исследование влияния режима магнетронного распыления и состава реакционного газа на структуру и свойства пленок ITO. Назначение ионно-плазменного оборудования и процессы нанесения тонкопленочных функциональных покрытий на подложки большой площади.
реферат, добавлен 25.12.2020Рассмотрение влияния метода электроэрозионной обработки на технологические характеристики поверхностного слоя обрабатываемого материала. Анализ изменений твердости и шероховатости поверхности после электроэрозионной обработки твердосплавной фрезы.
статья, добавлен 03.06.2016Оптимизация режимов формирования азотированного слоя при комбинированной обработке быстрорежущего инструмента. Закономерности поведения обработанной плазмы. Комбинированная поверхностная ионно-плазменная обработка инструмента из быстрорежущей стали.
доклад, добавлен 26.11.2015Исследование стадий процесса травления печатных плат. Изучение причин бокового подтрава печатных проводников. Сквозное протравливание поверхности меди. Анализ потерь при травлении. Кислотная и щелочная технологии травления. Сопротивление печатных плат.
статья, добавлен 25.04.2017- 23. Определение свойств сверхтонких ферромагнитных слоев по сигналам накладных электромагнитных датчиков
Влияние режимов ионно-лучевой обработки интенсивными пучками низкоэнергетических ионов азота на структуру и физико-механические свойства аустенитной нержавеющей стали. Условия формирования ферромагнитного слоя. Контроль свойств модифицированного слоя.
статья, добавлен 02.11.2018 Разработка упрочняющих технологий для управления фазовым составом, структурой и свойствами поверхностного слоя железоуглеродистых сплавов для повышения его износостойкости. Теплофизические модели лазерной и плазменной закалки, ионная имплантация.
реферат, добавлен 12.10.2016Анализ системы качества поверхностного слоя применительно к задаче проектирования технологических процессов по критерию долговечности. Определение по шкале уровней качества оптимального алгоритма функционирования системы качества поверхностного слоя.
статья, добавлен 28.01.2020