Структура та фізичні властивості боридних плівок, отриманих ВЧ-магнетронним розпиленням
Систематичне експериментальне дослідження складу, структури і основних властивостей плівкових систем у залежності від умов розпилення. Аналіз впливу температури конденсації та величини високочастотного потенціалу зсуву на характеристики конденсатів.
Подобные документы
Дослідження процесів формування структури, складу і властивостей зростання плівкових покриттів, утворених залежно від умов розпилення і складу робочого газу. Оптимізація цих умов з метою одержання плівок із заданими фізико-механічними властивостями.
автореферат, добавлен 26.07.2014Фактори, які впливають на структуру та основні фізичні властивості тонких плівок W-Ti-N та Ta-Si-N, отриманих реактивним магнетронним розпиленням. Застосування плівок в якості дифузійних бар’єрів в системах металізації до напівпровідникових сполук.
автореферат, добавлен 27.08.2014Дослідження структурних і фізичних властивостей реактивно-магнетронно розпилених плівок W-Ti-N та Ta-Si-N, в залежності від вмісту азоту в розпилювальній плазмі. Взаємозв’язок між фізико-технологічними параметрами розпилення і властивостями тонких плівок.
автореферат, добавлен 30.10.2015Встановлення фізичних закономірностей формування аморфної та мікрокристалічної структури в плівках Со-Р, отриманих при імпульсному електроосадженні. Встановлення залежності хімічних властивостей плівок Со-Р від структури та режимів імпульсного струму.
автореферат, добавлен 06.07.2014Фазовий склад плівкових гранульованих сплавів. Моделі розмірних ефектів в електрорезистивних властивостях багатошарових плівок. Методи дослідження кристалічної структури, фазового та елементного складу. Фазовий стан одношарових плівок Co, Fe, Ag та Au.
диссертация, добавлен 08.11.2016Аналіз впливу режимів імпульсного струму на умови кристалізації міді. Дослідження структури і текстури мідних плівок, отриманих в імпульсних режимах електроосадження. Проведення дослідження фізичних властивостей багатошарових плівок мідь-нікель.
автореферат, добавлен 31.01.2014Огляд загальних закономірностей впливу температури і розмірних ефектів на електро- та магніторезистивні властивості тришарових плівкових систем. Виявлення впливу на питомий опір, температурний коефіцієнт опору і гігантський магнітоопір елементного складу.
автореферат, добавлен 25.09.2015Вплив виду, концентрації легуючої домішки на фазовий склад і параметри кристалічної структури, оптичні й електричні властивості плівок оксиду цинку. Оптимізація технологічних параметрів різних видів магнетронного розпилення для одержання легованих плівок.
автореферат, добавлен 30.07.2014Визначення факторів впливу на структуру і фізичні властивості тонких плівок W-Ti-N і Ta-Si-N. Дослідження антидифузійних властивостей тонкоплівкових бар’єрів. Оптимізація технологічних основ отримання плівок, їх застосування в напівпровідникових системах.
автореферат, добавлен 27.08.2014Комплексне дослідження впливу температури підкладки, знаку та величини потенціалу зсуву, прикладеного до підкладки при осадженні, на структуру, склад та морфологію покриттів, що конденсуються. Процес росту покриттів на основі диборидів танталу та гафнію.
автореферат, добавлен 27.07.2015Фізичні основи промислово-перспективних технологій виготовлення робочих плівкових елементів різного функціонального призначення з підвищеною електропровідністю, відтворюваністю властивостей і надійністю. Умови дифузійного формування нанорозмірних плівок.
автореферат, добавлен 29.09.2014Фазовий склад, структурний стан поверхні, особливості дифузійних процесів та електрофізичні властивості дво- та тришарових плівок на основі Cr, Cu і Sc (Со), їх аналіз. Моделювання термо- та тензорезистивних властивостей тришарових плівкових систем.
автореферат, добавлен 28.07.2014Дослідження впливу різних методів напилювання на механізм росту, фазовий склад, структуру, кінетику росту і властивості нітридних плівок, отриманих на Si, Ni, Ti і на тугоплавких підкладках. Формулювання, аналіз та оцінка практичних рекомендацій.
автореферат, добавлен 28.07.2014Аналіз структурно-фазового складу та магнітних властивостей тришарових плівкових систем до і після термообробки. Магнітні властивості плівкових систем, що корелюють з структурно-фазовим станом та призводять до зміни їх коерцитивної сили і намагніченості.
статья, добавлен 13.10.2016Розробка математичної моделі дифузії домішок азоту та їх взаємодії з атомами підґратки миш’яку. Визначення вливу температури нітридизації і величини поруватості підкладок на кристалографічні, морфологічні та оптичні властивості гетероепітаксійних плівок.
автореферат, добавлен 29.09.2015Влив температури нітридизації, величини поруватості підкладок GaAs на кристалографічні, оптичні (комбінаційне розсіювання світла) властивості гетероепітаксійних плівок GaN. Залежність між величиною поруватості підкладок і типом кристалічної гратки плівок.
автореферат, добавлен 29.09.2014Аналіз впливу режимів імпульсного струму на умови кристалізації міді. Дослідження структури і текстури мідних плівок, отриманих в імпульсних режимах електроосадження. Встановлення зв’язку між параметрами імпульсного струму та структурою мідних плівок.
автореферат, добавлен 12.02.2014Експериментальне дослідження особливостей конденсаційно-стимульованої і термодифузії у двошарових плівках. Визначення закономірностей при формуванні структурно-фазового стану і електрофізичних властивостей двошарових плівок на основі Ni і Fe та Cr і Fe.
автореферат, добавлен 28.08.2015Аналіз структури, мікромеханічної поведінки та нанотвердості нанокристалічних плівок металів–аналогів хрому і молібдену осаджених електродуговим і магнетронним розпиленням та газополуменевим напиленням. Підвищення твердості шляхом інженерії меж зерен.
автореферат, добавлен 07.08.2014Дослідження структури і фазового складу та магніторезистивних властивостей одно- і тришарових плівок на основі Fe і Ge. Аналіз процесів фазоутворення в плівкових системах Ge / Fe / SiO2 методом рентгенівської дифракції в інтервалі температур 100-600 К.
статья, добавлен 13.10.2016Дослідження температури плавлення, переохолодження при кристалізації рідкої фази і дифузійної активності в нанодисперсних шаруватих плівкових системах. Аналіз закономірностей розмірної залежності температури плавлення нанооб’єктів та плівкових систем.
автореферат, добавлен 29.07.2014Фазовий склад і структура плівок, вирощених із парової фази. Механізми деградації електричних властивостей плівки. Встановлення залежності типу провідності і концентрації носіїв струму. Аналіз профілів властивостей плівок різної структурної досконалості.
автореферат, добавлен 14.07.2015Аналіз розмірних ефектів у електрофізичних властивостях плівкових систем на основі дисперсних і нанокристалічних шарів. Вплив температури та деформації на питомий опір, коефіцієнт поздовжньої тензочутливості, сутність електроперенесення двошарових плівок.
автореферат, добавлен 24.07.2014Дослідження умов формування твердих розчинів із заданими електрофізичними властивостями. Аналіз впливу опромінення високоенергетичними іонами на величину ГМО. Розробка напівкласичної і напівфеноменологічної моделі для багатошарових плівкових систем.
научная работа, добавлен 19.04.2016Вплив розмірних і температурних ефектів, складу, структурно-фазового стану, умов термообробки на електрофізичні та гальваномагнітні властивості одношарових плівок. Розробка методики одержання плівкових сплавів у широкому діапазоні концентрацій компонент.
автореферат, добавлен 30.07.2015