Осаждение тонких пленок халькогенидных стеклообразных полупроводников
Изложение технологии осаждения тонких плёнок перспективных материалов для устройств фазовой памяти – халькогенидных стеклообразных полупроводников. Рассмотрение энергонезависимой памяти, основанной на фазовых переходах. Технология вакуумного нанесения.
Подобные документы
Особенности использования тонких пленок в современных интегральных устройствах и датчиках. Результаты молекулярно-динамического моделирования квазистатического деформирования тонких пленок меди в условиях циклического нагружения и одноосного растяжения.
статья, добавлен 29.10.2018Получение тонких пленок ZnO удовлетворительного качества. Исследование влияния импульсного магнитного поля на их структуру и электрические свойства. Анализ морфологии и структуры полученных пленок, определение их толщины и электрических характеристик.
дипломная работа, добавлен 18.07.2020Проблема автоматизации известных методов оперативного контроля скорости осаждения покрытий в вакууме. Математическое моделирование планарной магнетронной системы распыления, электронно-эмиссионного датчика контроля скорости осаждения материала в вакууме.
автореферат, добавлен 10.08.2018Исследование влияния режима магнетронного распыления и состава реакционного газа на структуру и свойства пленок ITO. Назначение ионно-плазменного оборудования и процессы нанесения тонкопленочных функциональных покрытий на подложки большой площади.
реферат, добавлен 25.12.2020Ознакомление с порядком формирования пленок в процессах ионно-плазменного нанесения. Исследование структурных последствий образования зародышей в тонких пленках. Рассмотрение схемы вакуумного напыления. Анализ диодных систем на постоянном напряжении.
курсовая работа, добавлен 18.04.2015Образование и рост островковых тонких пленок. Устройство малогабаритной вакуумной установки модульного типа. Термическое испарение и магнетронное распыление. Исследование полученных структур меди на подложке с помощью атомно-силового микроскопа.
научная работа, добавлен 02.05.2019Основы термического вакуумного распыления. Особенности формирования тонких плёнок термовакуумным, ионным, молекулярно-лучевой эпитаксией, химическими и электрохимическими методами. Химические основы процесса получения эпитаксиальных плёнок кремния.
учебное пособие, добавлен 26.11.2013Ознакомление с принципами работы нанооборудования. Методика проведения экспериментов на установке молекулярного наслаивания TFS-200. Исследование процессов получения наногетероструктур, термического и атомно-слоевого осаждения диэлектриков на пластины.
отчет по практике, добавлен 05.07.2022Характеристика технологии производства сплошных тонких слоев полимеров. Рассмотрение физико-механических свойств полимерных пленок. Определение основных сфер применения пластических материалов: полиэфира (ПЕТ), полиэтилена, поливинилхлорида (ПВХ).
доклад, добавлен 25.03.2015Характеристика основных требований, которые предъявляются к технологическому процессу осаждения тонкопленочных покрытий. Расчет приращения емкости сетчатого конденсатора за счет осаждаемого материала в случае увеличения площадок под ячейками сетки.
автореферат, добавлен 10.08.2018- 11. Вакуумная металлизация элемента волноводного тракта, равномерно заполненного ферритовым диэлектриком
Технологии нанесения тонких плёнок на ферритовые стержни. Сравнение электрофизических характеристик покрытий, полученных разными способами. Блок схема стенда по измерению толщины и равномерности напыления. Формы импульсов перемагничивания феррита.
статья, добавлен 20.08.2018 Физико-химические процессы формирования тонких пленок, методы их получения и базовые технологии пленочных структур элементов интегральных микросхем. Перспективные технологические методы создания наноструктур и элементов наноэлектронных устройств.
учебное пособие, добавлен 20.10.2014Разработка технологии очистки ряда алкоголятов металлов и кремнийсодержащих для получения веществ высокой чистоты с использованием процессов адсорбции и фильтрации. Возможности использования этих продуктов для нанесения на различные поверхности.
автореферат, добавлен 02.09.2018Развитие производства горячекатаных тонких полос. Использование двухвалковых литейно-прокатных агрегатов в производстве стали. Усовершенствование технологии литья в Российской Федерации. Прогнозирование развития рынков тонких горячекатаных полос.
статья, добавлен 02.07.2014Свойства тонких покрытий на основе нитридов переходных металлов. Упругие свойства нитридных пленок. Получение нитридных пленок методом вакуумно-дугового распыления. Изучение структуры и механических свойств нитридных пленок и пленок переходных металлов.
статья, добавлен 08.12.2018Использование халькогенидных стекол в качестве иммерсионных сред на операции разметки алмазов. Учет наличия и расположения включений и других дефектов в кристалле при определении линии его распила. Иммерсионная технология исследования алмазного сырья.
статья, добавлен 31.10.2017Виды термообработки. Сущность закалки и отпуска, их предназначение. Характеристика процесса электродуговой сварки металлов, его достоинства и недостатки. Классификация и применение проводниковых материалов. Свойства полупроводников. Компоненты пластмасс.
контрольная работа, добавлен 05.05.2016Изготовление, применение, свойства тонкоплёночных структур на основе оксида тантала. Технологическое и измерительное оборудование. Осаждение тонких пленок окиси тантала, их оптические спектры. Исследования вольт-амперных и вольт-фарадных характеристик.
научная работа, добавлен 09.11.2018Оборудование для термического окисления. Характеристика термических пленок SiO2. Скорость травления в буферном растворе. Воспроизводимые свойства использования реакторов пониженного давления. Особенности роста тонких и толстых пленок двуокиси кремния.
курсовая работа, добавлен 25.03.2014- 20. Ионное ассистирование в процессах образования тонкопленочных структур на поверхности твердого тела
Ионное ассистирование - метод формирования тонкопленочных слоев, основанный на ионной бомбардировке выращиваемой фазы. Характеристики оборудования для исследования процессов ионного ассистирования и процесса ионно-лучевого нанесения тонких пленок.
отчет по практике, добавлен 09.11.2014 Свойства пленок нитрида кремния. Электронная структура нитрида кремния. Способы получения пленок нитрида кремния. Высокотемпературные акустические приемники. Датчик газового анализатора. Применение тонких пленок нитрида кремния в микроэлектронике.
курсовая работа, добавлен 06.10.2019Сутність кінематики пластичного деформування для волочіння тонких дротів при немонотонному навантаженні. Вплив проміжних відпалів на зміну службових характеристик тонких термопарних дротів. Оцінка використаного ресурсу пластичності при навантаженні.
автореферат, добавлен 12.07.2015Изучение оптических свойств и термостабильности серебряных, алюминиевых и медных пленок, а также влияние планарной двумерной структуры на термостабильность. Коэффициенты отражения и пропускания в пленку, зависимость этих коэффициентов от длины волны.
статья, добавлен 20.05.2018Моделирование процессов СВЧ сушки тонких диэлектрических материалов в камерах с бегущей волной с поперечным взаимодействием для достижения необходимого качества термообработки (требуемой температуры и влажности) и выбора оптимальных параметров установки.
статья, добавлен 23.02.2019Основы строения и физики электрических явлений неметаллических материалов: диэлектриков и полупроводников. Механические свойства различных конструкционных материалов, металлических и неметаллических. Критерии оценки конструкционной прочности материалов.
учебное пособие, добавлен 14.12.2018