Ионная имплантация
Понятие и физическое описание процесса ионной имплантации как способа введения атомов примесей в поверхностный слой пластины. Изучение схемы установки по бомбардировке поверхностей пучком ионов. Состав дефектов при ионном легировании, пути их устранения.
Подобные документы
Описание процесса бомбардировки поверхности твердого тела пучком ускоренных ионов или нейтральных атомов. Изучение методики исследования энергоспектров с помощью вторично-ионного масс-спектрометра, созданного на базе высокодозного ионного имплантера.
статья, добавлен 24.10.2010Механизмы рассеяния ионов при бомбардировке идеальных дефектных поверхностей монокристаллов GaP (100) и пленок льда при малоугловом падении потока ионов. Особенности процессов распыления поверхностей плёнок льда, покрывающих поверхность Au (111).
автореферат, добавлен 19.06.2015Сущность и недостатки метода ионной имплантации. Исследование постимплантационных радиационных нарушений, образуемых при введении ионов иттербия (Yb+) в кремний. Особенности распределения ионно-имплантированного Yb+ в условиях термического отжига.
статья, добавлен 22.06.2015Взаимодействие ионов с веществом. Основные физические и приборные параметры характеризующие метод вторично-ионной эмиссии. Принцип действия установок для масс-анализа вторичных ионов, позволяющие получать сведения о распределении элемента по поверхности.
реферат, добавлен 03.12.2018Понятие энергетического уровня как дискретного расстояния в атомах. Закон формирования спектров атомов и ионов. Расчет спектров атомов гелия, лития и бериллия. Экспериментальное доказательство линейного взаимодействия электронов с протонами ядер.
статья, добавлен 04.02.2019Процессы, протекающие при обработке узлов трения. Насыщение контактных поверхностей элементами триботехнического состава направленной ионной диффузии (ТС НИОД). Микрошлифование поверхностей трения ТС НИОД. Особенности применения ТС НИОД в энергетике.
доклад, добавлен 27.02.2017Изучение физических основ метода обратного Резерфордовского распределения. Кинематика обратного рассеяния ионов и атомов. Прохождение ионов через вещество, потеря энергии иона, торможение ионов, пробег ионов. Переход от шкалы энергий к шкале глубин.
реферат, добавлен 10.10.2012Анализ структур ядер атомов, а также самих атомов, молекул, ионов и кластеров, следующих из учебника "Физхимия микромира". Отражение в них информации, следующей из результатов многочисленных экспериментальных исследований. Построение 3D-моделей.
статья, добавлен 05.02.2019Обоснование способа и разработка модели биогазовой установки с применением теплового насоса для увеличения энергоэффективности установки. Составление схемы установки. Описание принципа ее действия. Определение энергетического баланса биогазовой установки.
статья, добавлен 22.05.2018Ознакомление с законом формирования спектров атомов и ионов. Рассмотрение новой теории спектров. Орбитальное движение электрона в атоме. Анализ энергетического перехода электрона в атоме водорода. Понятие спина фотона и электрона в квантовой физике.
статья, добавлен 04.02.2019Экспериментальные данные о микромире в спектрах атомов и ионов. Влияние отсутствия теории спектров на извлечение пользы из этого экспериментального массива. Особенности и суть теории спектров. Линейное взаимодействие электронов с протонами ядер атомов.
статья, добавлен 05.02.2019Решение задачи поглощения мощности в плазменном ионном источнике геликонного типа, на основе источника ионов, который используется в качестве инжектора ядерного микрозонда ИПФ НАН Украины. Определение значения внешнего однородного магнитного поля.
статья, добавлен 12.09.2013Виды взаимодействия ионов с веществом. Масс-спектрометрический анализ нейтральных распыленных частиц и порог чувствительности. Принцип действия установок вторично-ионной масс-спектрометрии. Распределение частиц по поверхности, микро- и объемный анализ.
курсовая работа, добавлен 28.08.2013Разработка имитационной энергетической модели литий-ионной аккумуляторной батареи, ее основные параметры. Методика моделирования и исследования энергетических процессов. Использование информационной системы поддержки автоматизированного проектирования.
статья, добавлен 29.04.2018Изучение гидроочистки дизельных фракций. Описание технологического процесса гидроочистки дизельной фракции на примере существующей технологической схемы, лицензированной и запатентованной. Схема установки гидроочистки с частичным рециклингом продукта.
курсовая работа, добавлен 25.05.2020Описание тепловой схемы паротурбинной установки. Исходные данные, необходимые для выполнения расчета тепловой схемы ПТУ. Построение процесса расширения пара в турбине в i-s диаграмме. Выбор давлений греющего пара. Определение энтальпий греющего пара.
курсовая работа, добавлен 13.10.2017- 17. Особенности волн
Исследование процесса перехода молекулы из глубины жидкости в поверхностный слой. Определение отличий газообразного состояния от жидкого. Изучение эффекта Допплера. Характеристика значения реверберации звука. Анализ объективной шкалы уровней громкости.
презентация, добавлен 25.07.2015 Экспериментальное изучение физических механизмов формирования функции распределения по энергиям основных ионов плазмы в центральных областях токамаков. Исследование физических механизмов формирования радиальных профилей ионной температуры дейтерия.
автореферат, добавлен 18.11.2018Исследование возможности масс-сепарации примесей в сфокусированном пучке оптимизированного холловского источника ионов. Возможность ионного источника с реверсивной магнитной фокусировкой облучать поверхность образца потоком ионов водорода без примесей.
статья, добавлен 30.01.2016Описание разработанной экспериментальной установки для исследования управления ультразвуковым пучком при прохождении его через слоистые среды. Выбор материала для имитационных слоев биологических тканей. Способы позиционирования акустического излучателя.
реферат, добавлен 29.06.2017- 21. Ресурсосберегающие технологии и их реализация на основе системы неполяризованных ионных радиусов
Исследование физических свойств атомов или ионов при описании характера межатомного взаимодействия различных по природе химической связи веществ. Влияние примесей разных элементов в монокристаллах кремния на термическую стабильность его качеств.
статья, добавлен 21.01.2018 Обоснование предельных размеров эксплуатационных дефектов поверхностей. Характеристика основных типов дефектов, которые могут повлиять на параметры гидродинамики. Характеристика примеров расчетов гидродинамики подшипника с дефектами различных типов.
статья, добавлен 27.05.2018Расчет показателей качества воды для установки обратного осмоса. Химический состав примесей. Сравнение равновесной и фактической концентрации углекислоты. Пересчет концентраций ионных примесей. Определение удельной электропроводности исходной воды.
курсовая работа, добавлен 16.09.2017Кристаллическая решетка полупроводников. Изучение периодичности расположения атомов в пространстве. Индексы узлов направлений и плоскостей в кристалле. Возникновение сразу двух точечных дефектов. Полное или частичное испарение атомов с поверхности.
статья, добавлен 04.12.2018Описание конструкции и изучение принципа работы кассетной тепловой установки. Характеристика теплоносителя проектируемой установки и её технических параметров. Расчет процесса горения топлива и конструктивное обоснование теплового расчета установки.
курсовая работа, добавлен 06.08.2013