Исследование дефектообразования в ионно-имплантированных иттербием слоях кремния методом оптического ультрафиолетового отражения
Сущность и недостатки метода ионной имплантации. Исследование постимплантационных радиационных нарушений, образуемых при введении ионов иттербия (Yb+) в кремний. Особенности распределения ионно-имплантированного Yb+ в условиях термического отжига.
Подобные документы
Установление закономерностей образования электрически активных центров в слоях кремния, имплантированных ионами различных редкоземельных элементов. Изучение возможностей повышения концентрации донорных центров и разработка модели их образования.
автореферат, добавлен 31.07.2018Установление послойного элементного состава структур покрытие / подложка, формируемых на кремнии и графите ионно-ассистированным нанесением покрытий в условиях самооблучения. Развитие физической модели изменения структуры и смачиваемости поверхности.
автореферат, добавлен 19.08.2018Ступенчатая ионизация. Эффективный коэффициент ударной ионизации. Ионно-плазменная обработка. Нарушение структуры материалов при бомбардировке многоатомными ионами. Теория радиационных нарушений в материалах. Расчет КПД электроискровой установки.
реферат, добавлен 02.08.2013Методика и результаты расчета экономической эффективности повышения ресурса рабочих органов путем нанесения ионно-плазменного покрытия TiN-Cr2N методом конденсации ионной бомбардировки на поверхность режущих элементов землеройно-транспортных машин (ЗТМ).
статья, добавлен 30.01.2016Методы измерения проводимости и ее температурной зависимости. Исследование влияния адсорбированного кислорода на электрические свойства пленок производных фталоцианина. Модель многоуровневого прыжкового переноса электронов. Методика ионной имплантации.
автореферат, добавлен 19.08.2018Исследование особенностей фотоэлементов на основе аморфного кремния, кристаллических пленок кремния, органических материалов и на красителях. Электрические свойства поликристаллического кремния. Способы производства поликристаллических пленок кремния.
реферат, добавлен 13.04.2014Анализ влияния нейтронного облучения на радиационную стойкость кремния. Изучение изотермического отжига образцов при разных температурах с целью определения основных параметров отжига дефектов. Зависимость эффективной концентрации носителей от флюенса.
статья, добавлен 14.11.2013Проведение исследования полиморфных превращений в группе ионно-молекулярных диэлектриков в широком интервале температур. Особенность изучения ангармонических эффектов при кристаллических формах одного вещества типа ориентационный порядок-беспорядок.
автореферат, добавлен 29.06.2018Экспериментальное изучение физических механизмов формирования функции распределения по энергиям основных ионов плазмы в центральных областях токамаков. Исследование физических механизмов формирования радиальных профилей ионной температуры дейтерия.
автореферат, добавлен 18.11.2018- 10. Влияние условий конденсации ионно-плазменного потока на структуру и свойства покрытий нитрида титана
Физические методы получения покрытий в вакууме. Процесс конденсации с ионной бомбардировкой. Получение субмикрокристаллических плёночных систем на основе соединений титана с азотом, исследование атомно-кристаллической структуры и микротвердости плёнок.
автореферат, добавлен 31.03.2018 Исследование шаровой молнии - положительно заряженного светящегося аэрозоля диаметром в несколько десятков микрон, который возникает в результате излучения при рекомбинации ионов и переходах между метастабильными уровнями электронов газов воздуха.
статья, добавлен 03.02.2019Разработка метода выращивания мультикристаллического кремния с данными свойствами на основе металлургического кремния высокой чистоты для создания физических основ промышленной технологии получения мультикристаллического кремния для солнечной энергетики.
автореферат, добавлен 26.07.2018Изучение результатов по получению двумерных структур макропористого кремния. Исследование фотофизических процессов в нанопокритии элемента. Проводимость и поглощение спектра макропористого кремния. Функциональные возможности болометрического материала.
статья, добавлен 18.03.2014Обзор современного состояния солнечной энергетики на основе кремния. Металлургический кремний, производимый в руднотермических печах (РТП), с последующей очисткой от примесей и с получением поликремния. Термодинамическая модель выплавки кремния в РТП.
статья, добавлен 28.01.2019Разработка оборудования для создания смесей газов с целью их применения в ионно-плазменных процессах. Модифицированный способ создания парциальных давлений компонентов. Характеристика, специфика и предназначение циклической продувки смесительной камеры.
статья, добавлен 30.01.2016- 16. Ресурсосберегающие технологии и их реализация на основе системы неполяризованных ионных радиусов
Исследование физических свойств атомов или ионов при описании характера межатомного взаимодействия различных по природе химической связи веществ. Влияние примесей разных элементов в монокристаллах кремния на термическую стабильность его качеств.
статья, добавлен 21.01.2018 Ионно-плазменный двигатель: история создания, устройство и принцип действия. Сфера использования и техническая сущность плазменного двигателя, его достоинства и недостатки. Особенности двигателей с анодным слоем, коллоидных и электромагнитных двигателей.
реферат, добавлен 27.10.2011Выбор ионно-оптической системы для источника квазимонохроматического рентгеновского излучения, состоящей из двух дублетов электростатических квадрупольных линз. Рассмотрение двух вариантов запитывания линз, обеспечивающих стигматическую фокусировку.
статья, добавлен 11.09.2013Алгоритм определения параметров Твисса и эмиттанса пучка на входе в ионно-оптический тракт сепаратора изотопов циклотрона У-240. Показано, что магнит СП-017 монохроматора циклотрона У-240 может быть использован для разделения изотопов атомных ядер.
статья, добавлен 11.09.2013Изучение молекулярно-лучевой эпитаксии кремния, кристаллизации пленки путем испарения кремния на подложку в сверхвысоком вакууме. Анализ методов получения захороненных слоев, способов очистки поверхности кремния с помощью системы дифракции электронов.
курсовая работа, добавлен 07.06.2011Электрические свойства кремния. Применение вычислительной техники в Украине. Производительность фотоэлектрического контроля. Математическое моделирование спектров и теллурового дефектообразования. Исследование высокотемпературной сверхпроводимости.
статья, добавлен 23.08.2012Формирование аморфных наногранулированных пленок типа "металл-диэлектрик" методом ионно-лучевого напыления на лавсановой подложке большой площади. Проведение исследования распределения толщины, концентрации и относительного объема металлической фазы.
статья, добавлен 05.11.2018Сущность и назначение ионной имплантации. Дефекты при легировании тонких приповерхностных слоев твердого тела путем облучения пучком ионов, способы их устранения. Ионная имплантация и промышленность. Анализ технологий модификации поверхностных слоев.
реферат, добавлен 05.05.2015Изучение физических основ метода обратного Резерфордовского распределения. Кинематика обратного рассеяния ионов и атомов. Прохождение ионов через вещество, потеря энергии иона, торможение ионов, пробег ионов. Переход от шкалы энергий к шкале глубин.
реферат, добавлен 10.10.2012Причины возникновения временной нестабильности в чувствительных элементах датчиков давлений на основе карбида кремния. Рассмотрение схемы температурной компенсации высокоомного терморезистора. Характеристики полупроводникового чувствительного элемента.
статья, добавлен 06.05.2018