Технология обработки монокристаллических материалов
Изучение технологических процессов изготовления приборов и интегральных микросхем. Разделение полупроводниковых слитков на пластины, формирование фасок на кромках. Шлифование пластин свободным и связанным абразивом, доводка полированием и фотолитография.
Подобные документы
Фотолитография как один из основных технологических процессов в общем цикле изготовления большого количества полупроводниковых приборов и интегральных микросхем. Нанесение фоторезиста распылением с помощью форсунки - сущность метода пульверизации.
курсовая работа, добавлен 17.05.2022Повышение точности пластин-подложек интегральных микросхем из кремния и сапфира и производительности технологических процессов. Параметры доводочных операций на этапах шлифовки и полирования. Отклонения детали при обработке пластин различных диаметров.
автореферат, добавлен 31.03.2018Рассмотрение механических, физических, химических способов обработки полупроводников. Технология создания интегральных микросхем. Требования к подложкам. Характеристика монокристаллов кремния и принципы его получения. Расчет технологических параметров.
курсовая работа, добавлен 28.05.2015Технология изготовления полупроводниковых интегральных микросхем. Описание подложки, окисления, фотолитографии, диффузии, эпитаксия. Технологические операции планарно-эпитаксиальной технологии биполярных схем. Расчет топологии схемы и ее элементов.
контрольная работа, добавлен 31.07.2010Использование полимерных материалов на основе эпоксидных, кремнийорганический и полиэфирных смол для герметизации полупроводниковых приборов. Анализ состояния и свойств поверхности полупроводников. Герметизация корпусов контактной роликовой сваркой.
курсовая работа, добавлен 06.12.2014Анализ технологий процесса шлифования. Техническая характеристика и устройство портальных, мостовых, плоскошлифовальных шлифовальных станков. Особенности конструирования и паспорт станка для шлифования свободным абразивом методом морфологического анализа.
курсовая работа, добавлен 20.06.2010Современные методы формирования межсоединений элементов на подложке полупроводниковых приборов и интегральных микросхем. Виды и этапы фотолитографии. Контактная схема экспонирования. Основные способы нанесения фоторезиста. Контроль качества литографии.
презентация, добавлен 29.05.2020Перечень требований к полупроводниковым подложкам. Характеристика монокристаллического кремния. Схема производственного процесса изготовления интегральных микросхем. Технология получения кремния полупроводниковой чистоты и формирования из него слитков.
курсовая работа, добавлен 03.12.2010Ионные, электронные полупроводниковые материалы. Принцип действия термисторов, фотоэлементов. Изучение технологии производства полупроводниковых приборов. Фотоэлементы – устройства, использующие возникновение электрических зарядов под действием света.
статья, добавлен 30.04.2019Технология прямого экспонирования офсетных пластин. Пластины на основе галогенидов серебра для технологии прямого экспонирования форм. Основное достоинство серебросодержащих пластин, контроль их качества записи, а также рекомендации по использованию.
контрольная работа, добавлен 10.05.2013Основные технологические этапы изготовления кремниевых полупроводниковых приборов и соответствующие вопросы охраны окружающей среды, безопасности. Процесс окисления в высокотемпературных диффузионных печах. Пирофорное окисление под высоким давлением.
статья, добавлен 19.05.2009Повышение производительности зачистных и отделочных операций. Изучение методов обработки деталей свободным абразивом. Влияние на съем металла расстояния от наружной поверхности образца, до стенки камеры. Эффективность применения многошпиндельных головок.
статья, добавлен 07.09.2013Изучение технологических процессов изготовления деталей. Применение современного оборудования и инструмента для их обработки. Выбор баз и метода изготовления. Расчет погрешностей базирования и припусков на обработку. Разработка процесса производства.
курсовая работа, добавлен 28.05.2014Колебание при резании металлов (вынужденные и автоколебания). Влияние колебания на износ инструмента, станка, шероховатость поверхности, точность обработки. Схемы основных видов обработки металлов (точение, сверление, строгание, фрезерование, шлифование).
контрольная работа, добавлен 20.07.2014Особенности и технология механизированной обработки природного камня, анализ ее основных видов: распиливание, обтесывание, шлифование, дробление, полирование. Характеристика, методика и принципы применения специализированных машин, станков, инструментов.
реферат, добавлен 19.02.2015Порядок проектирования технологических процессов при изготовлении изделий. Понятие параллельной обработки деталей. Особенности изготовления швейных изделий. Виды конструктивных состояний предметов труда. Этапы оптимизации технологических процессов.
реферат, добавлен 08.03.2015Анализ технологических процессов изготовления подшипников. Разработка технологии изготовления колец 256707АКЕ и их токарной обработки на обрабатывающем центре SКТ 21. Расчет конструкции станочных приспособлений. Экономическая целесообразность инновации.
дипломная работа, добавлен 09.12.2016Расчет составляющих сил резания при доводке шеек маятников акселерометров, позволяющих назначать режимы резания с целью получения заданных параметров качества. Практическая разработка математических моделей процесса доводки заготовок свободным абразивом.
статья, добавлен 27.11.2013Особенности технологии очистки полупроводниковых приборов и интегральных микросхем. Функциональные элементы оборудования для очистки, установка отмывки в водных растворах. Система контроля, управления и электропитания линий отмывки оптических деталей.
учебное пособие, добавлен 30.12.2015Характеристика сталей, применяемых для клапанов автомобильных двигателей. Условия их работы. Токарная обработка и шлифование детали. Анализ дефектов выпускного клапана и возможных технологических способов восстановления. Контроль качества и его виды.
курсовая работа, добавлен 26.11.2019Виды химико-термической обработки металлов и сплавов. Технология и назначение диффузной металлизации стали. Обработка металлов и сплавов резанием, шлифование заготовок на станках. Способы и технология проведения наплавки материалов на поверхности.
контрольная работа, добавлен 17.10.2010Уменьшение вероятность повреждения деталей во время обработки за счет снижения скоростей взаимного соударения. Обоснование проекта разработки высокопроизводительного устройства новой конструкции для поверхностной обработки деталей свободным абразивом.
статья, добавлен 30.12.2019Технологии и физико-химические основы процессов резки и шлифовки полупроводниковых кремниевых пластин. Маршрутные и технологические карты производства пластин. Охрана труда и окружающей среды. Метрология и стандартизация производства кремниевых пластин.
отчет по практике, добавлен 20.10.2016Цельные, составные и сборные коленчатые валы, материалы для их изготовления. Способы получения заготовок. Особенности обработки заготовки коленчатого вала, последовательность технологических процессов. Повышение прочности и износостойкости деталей.
реферат, добавлен 18.05.2016Ультразвуковые методы механической обработки различных материалов. Снятие заусенцев и шлифование мелких деталей. Размерная обработка хрупких материалов, очистка шлифовального круга. Сообщение вынужденных ультразвуковых колебаний малой амплитуды.
курсовая работа, добавлен 13.05.2015