Формування діелектричних шарів при виробництві напівпровідникових ІМС
Створення, розвиток і впровадження в промисловість планарной технології кремнієвих ІМС. Використання окисленої поверхні кремнію. Процес окислення поверхні напівпровідникових пластин. Параметри якості діелектричних плівок. Методи нанесення тонких плівок.
Подобные документы
Методи ізоляції елементів напівпровідникових пластин кремнієвих структур з діелектричною ізоляцією, контроль їх товщини. Фізико-механічні характеристики пластин в процесі формоутворення. Розробка комп'ютерної моделі автоматичного операційного контролю.
автореферат, добавлен 28.07.2014Структура, фазовий склад та властивості тонких плівок на основі FePt. Застосування тонких плівок на основі FePt в мікроелектроніці. Основні методи впливу на структуру та властивості тонких плівок на основі FePt. Застосування методу in situ резистометрії.
диссертация, добавлен 02.10.2018Розробка технології створення нанорозмірних плівок електропровідних полімерів та встановлення впливу технологічних умов термовакуумного напилення на їх структурні та електрофізичні властивості. Створення швидкодіючих електрооптичних модуляторів.
автореферат, добавлен 26.07.2014Дослідження умов переносу нерівноважних дірок і стабілізації процесу формування макропор протягом електрохімічного травлення кремнієвих пластин при зона-зонному освітленні. Вивчення структури, хімічного складу та фотолюмінесценції поверхні макропор.
автореферат, добавлен 24.06.2014З’ясування температурної залежності тонких плівок високотемпературних надпровідників. Дослідження характеристик квазіоптичних діелектричних резонаторів. Вивчення змін спектру та поля залежно від кута нахилу твірної конуса. Аналіз похибок вимірювання.
автореферат, добавлен 25.08.2015Розробка нових інтегральних мікроелектронних багатосенсорних кремнієвих структур з діелектричною ізоляцією (КСДІ). Створення вимірювальних перетворювачів неелектричних величин з широкими функціональними можливостями. Контроль товщини тонких плівок.
автореферат, добавлен 29.08.2014- 7. Аксiально-симетричне випромінювання металевих та діелектричних дискових антен з урахуванням втрат
З'ясування впливу ефекту поверхневих хвиль на робочі характеристики антен. Дослідження переваг резистивних і тонких діелектричних печатних антен. Аналіз особливостей роботи та параметрів печатних антен на вищих резонансних вісесиметричних модах.
автореферат, добавлен 27.02.2014 Розробка математичних моделей для опису механічних коливальних процесів паяних силових напівпровідникових приладів. Дослідження механічних динамічних характеристик паяних силових кремнієвих діодів та тиристорів, які широко застосовуються в електротехніці.
автореферат, добавлен 23.11.2013Особливості визначення спінових конфігурацій і магнітних властивостей тонких металевих багатошарових плівок за допомогою магнітних і магнітооптичних методів. Загальна характеристика магнітних станів плівок Gd/Fe, Gd/Co, Gd/Si/Co, аналіз властивостей.
автореферат, добавлен 24.06.2014Методи неруйнівного контролю виробів із діелектричних матеріалів. Розробка способів високоточного контролю складу речовин і відповідних алгоритмів обробки результатів контролю для виключення прогресуючих адитивних та мультиплікативних складових похибок.
автореферат, добавлен 27.08.2014Вакуумний метод отримання напiвпровiдникових плівок моносульфіду самарію. Електрофізичні властивості та рекомбінаційні параметри плівкових структур. Можливість управління метрологічними характеристиками тензорезистора за допомогою прикладеної напруги.
автореферат, добавлен 12.02.2014Електрооптичні та фотовольтаїчні елементи мікроелектроніки на основі нанорозмірних плівок електропровідних полімерів поліортометоксианіліну. Термовакуумне напилення молекулярних напівпровідників. Фоточутливі гетероструктури та їх фізичні властивості.
автореферат, добавлен 25.09.2015Методи дослідження динамічної поведінки напівпровідникових електроінжекційних лазерів і схеми з урахуванням конструктивних та технологічних параметрів та з нетрадиційними джерелами живлення, також розробка методик, алгоритмів і програм для їх моделювання.
автореферат, добавлен 27.02.2014Дослідження впливу деформаційних ефектів на електрофізичні параметри напівпровідників, зокрема кремнію. Розрахункові залежності рухливості носіїв заряду, концентрації основних та неосновних носіїв заряду, ширини забороненої зони від зміни тиску.
статья, добавлен 18.02.2016Проблеми ефективності радіолокації існуючих радіолокаційних станцій в умовах застосування в конструкції літальних апаратів технології штучного зниження ефективної поверхні випромінювання. Дослідженні технології штучного зниження поверхні віддзеркалення.
статья, добавлен 27.07.2016Розробка способів отримання надтонких плівок та їх стабілізації в невакуумних умовах. Вимірювання параметрів засобами сканувальної тунельної та атомно-силової мікроскопії. Виготовлення нанозазорів для створення планарних комірок в органічних плівках.
автореферат, добавлен 14.07.2015Принципи побудови та приклади застосування сучасних засобів інформаційних технологій на базі метал-діелектричних структур. Антени на базі рухомих поверхневих електромагнітних хвиль. Плазмовий розряд в ролі засобів передавання електромагнітної енергії.
статья, добавлен 27.05.2020Методи математичного моделювання дозиметричних властивостей неохолоджуваних напівпровідникових детекторів. Розробка моделі процесів, що протікають в напівпровідникових детекторах при взаємодії з випромінюванням. Метод вимірювання дози випромінювання.
автореферат, добавлен 28.08.2015Технологія матеріалів для напівпровідникових приладових структур. Одноелектронний турнікет. Методи синтезу напівпровідників та їх полі- і монокристалів та шарів цих матеріалів на підкладках. Властивості тунелювання, потенційних бар’єрів, хвилевої функції.
курсовая работа, добавлен 07.08.2013Механізми струмопроходження та електрофізичні властивості бар’єрних структур на основі органічних напівпровідникових матеріалів. Розробка технології тонкоплівкових фотоперетворювачів та сенсорних пристроїв на основі органічних бар’єрних структур.
автореферат, добавлен 26.09.2015- 21. Конструкційна оптимізація хвилеводно-вібраторного випромінювача з повернутою площиною поляризації
Конструкція випромінювача на основі лінійної вібраторно-хвилеводної решітки для використання у складі пристрою опромінення діелектричних матеріалів електромагнітним полем. Параметри для досягнення високої рівномірності розподілу поля перед випромінювачем.
статья, добавлен 01.03.2017 Побудова лінійної моделі для власних електромагнітних полів в одиночних та зв’язаних двовимірних діелектричних резонаторах з активними зонами. Розробка чисельних алгоритмів для винаходження частот і порогів випромінювання мод в деяких типових резонаторах.
автореферат, добавлен 14.07.2015Методи аналізу та синтезу напівпровідникових перетворювачів та принципи створення мікропроцесорних систем управління ними. Способи формування перехідного процесу. Апаратні пристрої, які дозволяють підвищити швидкодію мікропроцесорним системам управління.
автореферат, добавлен 15.11.2013Розробка фізико-хімічних основ технології створення та функціональної діагностики кристалів і структур (приладів) для реєстрації та перетворення енергії інфрачервоного випромінювання на базі напівпровідникових сполук і вузькощілинних твердих розчинів.
автореферат, добавлен 10.01.2014Вивчення топології, особливостей конструкцій і властивостей резисторів, конденсаторів, напівпровідникових інтегральних схем. Практичне знайомство з топологією біполярних транзисторів, напівпровідникових інтегральних схем різного ступеня інтеграції.
лабораторная работа, добавлен 18.04.2014