Технология ионного легирования
Физические особенности процесса ионного легирования. Влияние технологических параметров на процесс ионной имплантации. Распределение внедренных примесных атомов, радиационные дефекты. Методы математического моделирования процесса ионной имплантации.
Подобные документы
Изучение особенностей ионного легирования, ознакомление c технологией. Изучение конструкции ионного источника, настройка ионного пучка. Наладка оборудования и установки. Изучение конструкции магнитного сепаратора. Сбор данных по контрольным процессам.
отчет по практике, добавлен 29.05.2015- 2. Метод ионной имплантации — перспективное направление модификации поверхности изделий в строительстве
Преимущества метода ионной имплантации перед способами вакуумного напыления. Представление установки ионной имплантации для реализации метода, принцип ее работы. Результаты использования упрочняющих покрытий на инструменте для обработки древесных изделий.
статья, добавлен 30.09.2012 Сущность ионной имплантации, распределение примеси бора и фосфора в кремниевом биполярном n-p-n транзисторе. Основные характеристики и технологические особенности ионной имплантации. "Гибридизация" имплантационной методики с традиционными технологиями.
курсовая работа, добавлен 21.12.2023Общее понятие ионной имплантации, как метода легирования поверхностных слоев, заключающегося в обработке поверхности потоком высокоэнергетичных ионов и внедрении их в объеме материала. Физические основы метода. Структура и свойства имплантированных слоев.
реферат, добавлен 11.12.2014Перспективность ионной имплантации в микроэлектронике, металлообработке, металлургии, теплоэнергетике. Особенности теплоотдачи от поверхности твердых тел, обработанных методом корпускулярного легирования. Методика исследования синтезированных композитов.
статья, добавлен 22.01.2018Разработка с помощью математического моделирования технологического процесса формирования истока толщиной 4 мкм и легированного бором стока. Применение ионной имплантации и диффузии примесей в кремнии из бесконечного источника, временные характеристики.
курсовая работа, добавлен 03.11.2015Особенности бигармонического уравнения. Удар стержня о преграду. Уравнение износа и поврежденность. Создание тонких погранслоев в твердом теле с помощью методов конденсации ионной бомбардировкой и ионной имплантации. Эффекты электронной детонации.
статья, добавлен 27.10.2018Понятие, сущность и назначение ионной имплантации, преимущества и недостатки. Схема установки и характеристика процесса структурообразования. Определение дефектов при легировании и способы их устранения. Физические ограничения имплантационного метода.
курсовая работа, добавлен 04.05.2015Физическая природа свойств твёрдых тел, диффузионные процессы в них. Фазовые диаграммы и твердые растворы. Структура интегральных микросхем. Основы ионного легирования и микроэлектроники. Изготовление пассивных элементов и монтаж навесных компонентов.
курс лекций, добавлен 11.08.2013Влияние марганца на процесс шлакообразования в конвертере. Поведение марганца во время продувки металла, кинетика его окисления. Влияние основности шлака на активность оксида марганца в шлаке. Промышленные эксперименты прямого легирования стали марганцем.
курсовая работа, добавлен 07.08.2013- 11. Ионное ассистирование в процессах образования тонкопленочных структур на поверхности твердого тела
Ионное ассистирование - метод формирования тонкопленочных слоев, основанный на ионной бомбардировке выращиваемой фазы. Характеристики оборудования для исследования процессов ионного ассистирования и процесса ионно-лучевого нанесения тонких пленок.
отчет по практике, добавлен 09.11.2014 Исследование процесса ионизации пламени. Анализ влияния ионного тока на измерительный зонд. Рассмотрение погрешностей, вносимых токоограничительными элементами. Разработка формулы перехода от данных экспериментов к истинному значению ионного тока.
статья, добавлен 29.07.2017Построение математической модели, позволяющей описывать эволюцию содержания ионов примеси в воде в процессе непрерывного прямоточного и противоточного ионного обмена. Характер и степень влияния основных факторов на протекание процесса и его эффективность.
статья, добавлен 02.12.2018Построение схемы электроискрового процесса. Достоинства и особенности электроискрового легирования. Рабочие инструменты и детали, оснастка и их восстановление и ремонт. Примеры установок электроискрового легирования и их технические характеристики.
реферат, добавлен 10.05.2016Возможность повышения энергетического коэффициента полезного действия источника ионов, также равномерности распределения плотности ионов по сечению потока. Оптимизация конфигурации магнитной системы газоразрядной камеры плазменно-ионного ускорителя.
статья, добавлен 29.09.2016Сущность сталеплавильных процессов. Основные методы раскисления и легирования стали. Обоснование выбора плавильного агрегата. Описание устройства дуговых печей. Порядок легирования, применение синтетического шлака и процесс обработки металла аргоном.
курсовая работа, добавлен 15.03.2012Способы нанесения металлических покрытий. Изучение процесса электроискрового легирования. Исследование свойств и размерных характеристик поверхностного легированного слоя. Основные технические характеристики установок механизированного легирования.
реферат, добавлен 31.10.2015Подготовка подложек и эпитаксия. Осаждение окисных плёнок. Характеристика процессов окисления, диффузии, литографии, травления, ионной имплантации, металлизации. Методы сборки и герметизации сверхбольших интегральных схем, их контроля и диагностики.
курс лекций, добавлен 11.08.2013Создание методики расчета с определением условий и значимых параметров процесса ориентации сферического ротора относительно ионного потока при формировании тонкопленочного покрытия с выявлением зависимости характеристик покрытия от этих параметров.
статья, добавлен 28.10.2018Снижение жесткости воды методом ионного обмена. Расчет основного технологического оборудования: Н-Na-катионитных фильтров, дегазатора для удаления углекислого газа. Рассмотрение процесса фильтрации воды. Расход воды на взрыхление катионита фильтра.
курсовая работа, добавлен 07.05.2015- 21. Свойства стали
Основные компоненты химического состава сталей. Влияние технологических примесей на механические и физические свойства железоуглеродистых сплавов. Определение предела прочности и текучести. Назначение специального легирования и термической обработки.
презентация, добавлен 12.09.2015 Методы получения композиционных материалов, распределение легирующих элементов в пропитывающих сплавах, матричном материале. Влияние химического состава борсодержащих композиционных материалов и технологических режимов на окалиностойкость, термостойкость.
автореферат, добавлен 03.02.2018Методы изучения элементного состава материалов. Особенности рентгеноспектрального анализа. Метод вторичной ионной масс-спектрометрии, применение лазеров, металлография. Методы тунельной, автоионной и электронной микроскопии, рентгеноструктурный анализ.
учебное пособие, добавлен 03.09.2015Характеристика и условия эксплуатации вала-шестерни, номенклатура изделий и маршрутная технология их изготовления. Характеристика материалов и технико-экономическое обоснование технологического процесса термической обработки и ионного азотирования.
дипломная работа, добавлен 23.01.2013- 25. Экспериментальные исследования технологии вторичного электротермического легирования и рафинирования
Обоснование целесообразности применения технологии вторичного электротермического легирования и рафинирования. Определение оптимальных электрических режимов и закономерности влияния времени выдержки, силы тока и напряжения на химический состав металла.
статья, добавлен 28.02.2016