Работа технологической установки для нанесения наноразмерных пленок и определения их параметров в реальном времени
Переход от микро- к наноразмерным пленкам в электронике. Работа технологической установки для формирования наноразмерных пленок и диагностической рентгено-рефлектометрической системы. Контроль параметров растущих пленок в реальном времени их формирования.
Подобные документы
Маршруты формирования пленок на поверхности сапфира для газочувствительных датчиков с использованием лазерного излучения длиной волны 1064 нм. Экспериментальная оценка применения лазерного излучения для получения тонких пленок на поверхности подложки.
статья, добавлен 29.07.2017Определение параметров технологического процесса, обеспечивающих наибольшую производительность и равномерность сверхвысокочастотной плазменной обработки. Получение полупроводниковых аморфных пленок кремния и его соединений, их электрофизические свойства.
автореферат, добавлен 13.04.2018Влияние технологических параметров приготовления на электрические и структурные свойства эпитаксиальных пленок, полученных из высокотемпературного сверхпроводника YBa2Cu3O7-x распылением. Параметры химической и термической обработки NdGaO3 подложек.
статья, добавлен 03.11.2018Применение тонких проводящих пленок в радиотехнике и электронике. Экспериментальное исследование отражения, прохождения и резонансного поглощения электромагнитных волн в тонких нанометровых пленках меди, алюминия и нихрома в диапазоне длин волн 2–10 см.
статья, добавлен 19.06.2018Физико-химические и технологические основы получения легированных анодных оксидных пленок кремния для создания элементов полупроводниковых приборов и интегральных микросхем. Кинетика анодного окисления кремния и его соединений в легирующих электролитах.
автореферат, добавлен 30.01.2018Входной контроль монокристаллических кремниевых пластин. Методы определения типа электропроводности. Измерение удельного сопротивления полупроводниковых материалов и пленок четырехзондовым методом. Определение концентрации примесных атомов в кремнии.
методичка, добавлен 13.03.2015Принцип действия и изготовление спинового эха, его применение для создания управляемых линий задержек и других устройств обработки сигналов. Использование трехимпульсной методики. Получение спектра в реальном масштабе времени для исследуемого сигнала.
статья, добавлен 27.09.2012Разработана автоматическая система определения и обработки параметров диагностической информации. Спроектирован и разработан аппаратный комплекс для получения диагностической информации методом измерения потерь энергии при периодическом перемагничивании.
статья, добавлен 12.07.2021- 9. Наноструктурированные пленки на основе аморфного гидрогенизированного кремния для оптоэлектроники
Получение и исследование наноструктурированных пленок аморфного гидрогенизированного кремния, обладающих высокой фоточувствительностью и стабильностью. Расчет излучательной способности наноструктурированных пленок в видимом и инфракрасном диапазонах.
автореферат, добавлен 31.07.2018 Достоинства ионно-плазменного нанесения, его отличие от термовакуумного процесса. Устройства катодного распыления на постоянном токе, основные элементы магнетронных распылительных систем. Отличительные особенности осаждения пленок из ионных пучков.
курсовая работа, добавлен 17.05.2011Исследование динамической проводимости на постоянном токе. Отражение электромагнитных волн сверхвысокочастотного диапазона от тонких пленок гранулированных аморфных металл-диэлектрических нанокомпозитов. Модель внутригранулярных (внутрикластерных) токов.
статья, добавлен 05.11.2018Разработан оригинальный способ определения тангенса угла потерь тонких диэлектрических пластин и пленок в миллиметровом и субмиллиметровом диапазонах длин волн. Измерения тангенса угла потерь тонких пленок были проведены в резонаторе на частоте 69.4 ГГц.
статья, добавлен 07.11.2018Методика определения необходимости мест установки и расчета параметров систем кэширования информации. Зависимость производительности кэш-системы от размера кэш-памяти. Использование аналитического метода определения целесообразности установки кэш-системы.
статья, добавлен 15.08.2020Рассмотрение истории открытия, строения, химии фуллеренов. Изучение характеристик астраленов - побочного продукта производства фуллеренов. Техническое применение наноразмерных частиц в электронике; использование как сенсоров, эмиттеров, сверхпроводников.
реферат, добавлен 10.05.2014Разработка алгоритма динамического управления информационными потоками в Т-сетях в реальном масштабе времени в зависимости от загрузки системы. Формирование управляющей информации для перестройки обслуживания с учетом параметров состояния входного потока.
статья, добавлен 28.05.2017Представления о низкотемпературной и высокотемпературной сверхпроводимости. Эффекты и явления, на которых основана работа устройств криоэлектроники. Методы получения тонких пленок, монокристаллов, керамических образцов. Свойства сверхпроводников.
учебное пособие, добавлен 26.09.2017Оценка влияния параметров процесса газофазного осаждения нитрида кремния (Si3N4) на механические напряжения пленок. Определение размерного фактора, позволяющего управлять чувствительностью гофрированной мембраны для миниатюрного акустического датчика.
автореферат, добавлен 31.07.2018В статье рассмотрены виды нейросетей основанные на результатах исследований контролируемых параметров технического состояния РТС РТВ. В реальном масштабе времени в автоматическом режиме решается задача идентификации их фактических технических состояний.
статья, добавлен 10.10.2021Анализ технологических операций при изготовлении тонкопленочных солнечных элементов. Изменение удельной электропроводности кремниевой пленки. Применение лазерного отжига. Выбор оптимальной мощности для получения наилучших электрофизических параметров.
статья, добавлен 29.07.2017История открытия сверхпроводимости, ее физические основы. Джозефсоновский переход, сверхчувствительные приемники. СКВИД-датчик. Сверхчувствительные магнитометры. Сканирование слабонамагниченных объектов. Радиоэлементы на основе сверхпроводящих пленок.
реферат, добавлен 12.09.2019- 21. Технологическая установка для автоматизированного контроля шероховатости функциональных подложек
Контроль шероховатости подложек изделий электронной техники на основе интерференционного анализа, а также при помощи автоматизированной технологической установки. Анализ работы системы контроля и взаимодействия ее основных составляющих компонентов.
статья, добавлен 29.11.2016 Роль тонкопленочной технологии в производстве интегральных микросхем. Методы формирования тонких пленок: термического испарения в вакууме, ионного распыления, ионно-термического испарения. Характеристика и свойства тонкопленочных пассивных элементов.
курсовая работа, добавлен 17.01.2011Свет как один из важнейших параметров микроклимата, значение рационального проектирования и грамотного эксплуатирования световой установки в сельском хозяйстве. Выбор вида и системы освещения веткамеры, схема электроснабжения и напряжения питания.
курсовая работа, добавлен 22.02.2009Свет как один из важнейших параметров микроклимата, значение рационального проектирования и грамотного эксплуатирования световой установки в сельском хозяйстве. Выбор вида и системы освещения кормоприготовительного помещения, схема электроснабжения.
курсовая работа, добавлен 22.02.2009Свет как один из важнейших параметров микроклимата, значение рационального проектирования и грамотного эксплуатирования световой установки в сельском хозяйстве. Выбор вида и системы освещения помещения для отела, схема электроснабжения и напряжения.
курсовая работа, добавлен 22.02.2009