Нанопленки TiN/BN, полученные плазменным улучшенным химическим осаждением из паровой фазы

Получение многослойных покрытий путем физического осаждения из паровой фазы. Использование автоматической системы клапанов. Изменения структуры и химического состояния пленок при разных толщинах слоя. Условия осаждения многослойных наноразмерных пленок.

Подобные документы

Работы в архивах красиво оформлены согласно требованиям ВУЗов и содержат рисунки, диаграммы, формулы и т.д.
PPT, PPTX и PDF-файлы представлены только в архивах.
Рекомендуем скачать работу и оценить ее, кликнув по соответствующей звездочке.