Формування силіцидних фаз при реакційній дифузії в системах "плівкові шари (5-30 нм) Ti, Ni - монокристалічний кремній"

Експериментальне дослідження та теоретичне моделювання процесів термостимульованої реакційної дифузії в системах "плівкові шари Ni (Ti, Ni-Ti) нанометрових товщин (5-30 нм) – монокристал Si(001)". Моделі дифузійного росту включень силіцидних фаз.

Подобные документы

Работы в архивах красиво оформлены согласно требованиям ВУЗов и содержат рисунки, диаграммы, формулы и т.д.
PPT, PPTX и PDF-файлы представлены только в архивах.
Рекомендуем скачать работу и оценить ее, кликнув по соответствующей звездочке.