Защитные диэлектрические пленки в планарной технологии

Требования, предъявляемые к защитным диэлектрическим пленкам. Кинетика термического окисления кремния: в сухом и влажном кислороде, в парах воды. Особенности методов осаждения оксидных пленок кремния. Оценка толщины и пористости осаждаемых пленок.

Подобные документы

  • Методы обеззараживания воды в технологии водоподготовки. Электролизные установки для обеззараживания воды. Преимущества и технология метода озонирования воды. Обеззараживание воды бактерицидными лучами и конструктивная схема бактерицидной установки.

    реферат, добавлен 09.03.2011

  • Условия эксплуатации пуансона. Оценка воздействия технологических факторов на свойства материалов. Требования, предъявляемые к материалу. Технология термической обработки пуансона из чугуна ЧХ16М2 на ЗАО РЗ "СИТО". Проверочный расчёт оборудования.

    дипломная работа, добавлен 11.06.2013

  • Изучение основ первоначальной разборки станка нерасчлененными узлами и дальнейшей разборки на детали. Рассмотрение правил очистки от пленок окислов, масла и грязи. Состав моющего раствора для черных и цветных металлов узлов; применение моющих машин.

    презентация, добавлен 26.06.2014

  • Функциональные возможности системы управления. Контроль температуры цилиндра и формующего инструмента (фильеры) экструдера. Датчик давления расплава на выходе насоса для расплава. Приводы регулировки зазора валков. Тепловые характеристики системы.

    контрольная работа, добавлен 02.11.2014

  • Подготовка медных руд и концентратов к металлургической переработке. Конвертирование медных штейнов. Термодинамика и кинетика реакций окисления сульфидов. Теоретические основы обжига в кипящем слое. Плавка сульфидных медьсодержащих материалов на штейн.

    курсовая работа, добавлен 08.03.2015

  • Разработка технологического процесса изготовления КМОП-КНС-ИМ с поликремниевыми затворами. Основные факторы, ограничивающие стоимость и качество КМОП-КНС-ИМ. Процесс наращивания поликристаллического кремния. Термическое оксидирование и фотолитография.

    курсовая работа, добавлен 08.04.2016

  • Социокультурная роль, внешний вид и физико-механические характеристики полимеров. Важнейшие свойства биополимеров и их функции. Маркировка изделий. Характеристика российского рынка изделий из полимеров. Динамика развития рынка пленок, труб и листов.

    презентация, добавлен 13.12.2013

  • Зависимость физико-механических и прочностных свойств бумаги от взаимодействия между волокнами. Добавление вторичного волокна, древесной массы, наполнителей с целью увеличения прочности в сухом состоянии. Значение количества гидроксильных связей.

    презентация, добавлен 23.10.2013

  • Чугун - сплав железа с углеродом, дешевый машиностроительный материал. Основные физические и химические свойства серого чугуна. Применение в машиностроении для отливок деталей. Влияние на свойства чугуна примесей: кремния, марганца, серы и фосфора.

    реферат, добавлен 07.03.2011

  • Описание основных характеристик объекта контроля. Обзор методов измерения толщины гальванического покрытия. Разработка структурной схемы установки, расчёт погрешности и определение требований к ее компонентам. Выбор СИ и вспомогательного оборудования.

    курсовая работа, добавлен 16.11.2009

  • Принцип действия магнетронного источника распыления. Техническое устройство и система магнетронного напыления тонких проводящих пленок "МАГ-2000". Инструкция по работе с магнетронной системой "МАГ-2000". Замена и тип мишеней в системе напыления.

    курсовая работа, добавлен 22.03.2012

  • Автоклавно-содовый способ разложения вольфрамовых концентратов. Пути совершенствования выщелачивания методом выведения избыточной соды из автоклавных щелоков. Методы очистки вольфрамата натрия от кремния, фторид-ионов и молибдена для получения ангидрида.

    курсовая работа, добавлен 30.01.2011

  • Выбор плавильного агрегата. Подготовка шихтовых материалов. Исследование порядка загрузки шихты. Анализ состава неметаллической части шихты и кладки. Расчет количества шлака без присадок извести, чугуна в шихте, остаточной концентрации кремния и магния.

    практическая работа, добавлен 11.12.2012

  • Производство плоских пленок и листов. Геометрические характеристики, технико-экономические показатели экструзионных агрегатов. Математические модели для расчета экструзионных головок. Алгоритм решения задачи выбора экструдера с заданными характеристиками.

    курсовая работа, добавлен 26.10.2012

  • Источники примесей для диффузионного легирования кремния и технология диффузии примесей в кремний. Технология и оборудование для проведения процесса диффузии и контроля параметров диффузионных слоев. Использование разработанных источников диффузанта.

    дипломная работа, добавлен 07.07.2003

  • Методы изучения защитных металлсодержащих пленок на поверхностях трения. Исследование контактной выносливости тел качения в моторных маслах с различными физико-химическими свойствами в двигателях внутреннего сгорания. Взаимодействие поверхностей трения.

    дипломная работа, добавлен 09.06.2015

  • Служебное назначение вала и технические требования, предъявляемые к нему. Анализ технологичности конструкции детали. Обоснование способа получения заготовки. Разработка маршрутной технологии обработки детали. Проектирование операционной технологии.

    дипломная работа, добавлен 24.01.2016

  • Применение газовых сенсоров в системах автоматической пожарной сигнализации. Основные стадии наночастиц и наноматериалов. Механические свойства наноматериалов. Мицеллярные и полимерные гели. Золь-гель метод синтеза тонких пленок с солями металлов.

    курсовая работа, добавлен 21.12.2016

  • Существующие требования к качеству питьевой воды. Способы очистки питьевой воды. Разработка метода фильтрации артезианской воды для частных домовладений. Выбор системы автоматизированного управления процессом очистки воды в частном домохозяйстве.

    дипломная работа, добавлен 14.10.2024

  • Углеродистые стали как основная продукция чёрной металлургии, характеристика их состава и компоненты. Влияние концентрации углерода, кремния и марганца, серы и фосфора в сплаве на свойства стали. Роль азота, кислорода и водорода, примесей в сплаве.

    контрольная работа, добавлен 17.08.2009

  • Переработка рисового зерна в крупу. Химическое содержание рисовой шелухи. Способы использования рисовой шелухи. Технологические схемы выделения чистого кремнезема. Переработка отходов рисового производства для получения аморфного диоксида кремния.

    статья, добавлен 05.10.2017

  • Многослойные и комбинированные пленочные материалы. Адгезионная прочность композиционного материала. Характеристика и общее описание полимеров, их свойства и отличительные признаки от большинства материалов. Методы и этапы испытаний полимерных пленок.

    дипломная работа, добавлен 21.11.2010

  • Характеристика и условия применения реагентных и безреагентных методов обезжелезивания воды. Технологические схемы установок обезжелезивания воды и очистки подземных вод в пласте. Сущность и особенность методов "сухой фильтрации", аэрации и флотации.

    реферат, добавлен 09.03.2011

  • Розвиток лазерів на парах металів. Конструкція та недоліки відпаяного саморозігрівного АЕ ТЛГ-5 першого промислового ЛПМ. Характеристика енергетичних рівнів лазерів на парах міді. Розрахунок вихідної потужності та узагальнених параметрів резонатора.

    курсовая работа, добавлен 05.06.2019

  • Антиадгезионные покрытия, применяемые в пищевой промышленности. Светопропускание оксидов металла. Метод распыления пульверизатором из спиртовых растворов. Методика измерения оптической плотности и мутности пластин и пленок из полимерных материалов.

    курсовая работа, добавлен 11.06.2017

Работы в архивах красиво оформлены согласно требованиям ВУЗов и содержат рисунки, диаграммы, формулы и т.д.
PPT, PPTX и PDF-файлы представлены только в архивах.
Рекомендуем скачать работу и оценить ее, кликнув по соответствующей звездочке.