Химическое осаждение из газовой фазы

Механизмы и стадии протекания процессов химического осаждения из газовой фазы для получения функциональных слоев ИМС, их технологические характеристики. Методы CVD и их существенные преимущества. Типы реакторов, используемых для процессов осаждения.

Подобные документы

  • Общие сведения о процессе графитации. Влияние газовой среды на формирование свойств кокса в процессе термообработки и добавок минералов на процесс графитации. Формирование керна. Способ Ачесона для производства изделий. Характеристика исходного сырья.

    курсовая работа, добавлен 09.12.2013

  • Разработка технологических процессов изготовления деталей с помощью систем автоматизированного проектирования технологических процессов. Описание конструкции, назначения и условий работы детали в узле. Материал детали и его химико-механические свойства.

    курсовая работа, добавлен 20.09.2014

  • Виды коррозии, ее электрохимический и химический механизмы. Технологическая схема, конструктивные особенности, условия эксплуатации и характеристика возможных коррозионных процессов в аппаратах: циклон, распылительный абсорбер и рукавный фильтр.

    контрольная работа, добавлен 26.10.2011

  • Применение синтетического высококонцентрированного хлористого водорода в процессе гидрохлорирования. Технологическая схема синтеза хлористого винила из ацетилена и хлористого водорода. Баланс, технологические и технико-экономические показатели процесса.

    реферат, добавлен 25.08.2010

  • Ознакомление с задачами теплоэлектроцентрали электровоздуходувной станции исследуемого завода. Характеристики газовой турбины. Определение параметров рабочего тела в компрессоре. Расчет и анализ расходов условного топлива на эксплуатацию оборудования.

    дипломная работа, добавлен 18.11.2017

  • Расчёт оптимального числа витков в обмотке одной фазы, числа витков в одной секции, массы обмотки, магнитопровода. Выбор изоляции паза и лобовых частей обмотки, марки. Электрическое сопротивление обмотки одной фазы постоянному току в холодном состоянии.

    реферат, добавлен 11.09.2010

  • Сущность процессов упругой (обратимой) и пластической (необратимой) деформаций металла. Характеристика процессов холодной и горячей деформации. Технологические процессы обработки металла давлением: прессование, ковка, штамповка, волочение, прокат.

    реферат, добавлен 18.10.2013

  • Применение поверхностной закалки с индукционным нагревом. Стадии химико-термической обработки стали. Технология цементации твердым карбюризатором, газовой цементации и азотирования. Термическая обработка после цементации и свойства цементованных деталей.

    презентация, добавлен 29.09.2013

  • Сущность производственного процесса. Структура и технологический порядок осуществления операций. Соблюдение принципов организации производства как основополагающее условие его эффективности. Целесообразность единичного и серийного его типов в экономике.

    презентация, добавлен 24.03.2014

  • Описание котельной: тепловые нагрузки, технологическое решение по установке генерирующих мощностей. Основные технические характеристики газовой турбины и котла-утилизатора. Принципиальная тепловая схема. Баланс энергии компрессора. Выбор токопроводов.

    дипломная работа, добавлен 14.03.2013

  • Характеристика химического продукта (криолита). Методы получения, основное и вспомогательное сырье. Физико-химические характеристики стадий процесса. Отходы и проблемы их обезвреживания и полезного использования. Материальный баланс производства.

    курсовая работа, добавлен 15.04.2011

  • Анализ существующих процессов на Клинском Пивокомбинате. Система LIMS: описание, назначение, особенности и преимущества. Улучшение процессов производства пива, его направления и перспективы. Внедрение системы LIMS на предприятии, ее эффективность.

    дипломная работа, добавлен 10.07.2012

  • Станки с числовым программным управлением — оборудование, выполняющее различные технологические операции по заданной программе. Их преимущество, классификация и виды. Функциональные составляющие ЧПУ, технологические возможности и конструкция станков.

    реферат, добавлен 21.03.2011

  • Технология электронно-лучевой обработки конструкционных материалов. Электронно-лучевая плавка и сварка металлов. Лазерная обработка материалов и отверстий. Ионно-лучевая обработка материалов. Ионно-лучевые методы осаждения покрытий и ионная литография.

    реферат, добавлен 23.06.2009

  • Технические характеристики исследуемого издания. Обоснование выбора способа печати и печатного оборудования. Сравнительный анализ выбранных видов печатных машин. Выбор запечатываемого материала (бумаги), краски. Пооперационная карта печатных процессов.

    курсовая работа, добавлен 09.05.2011

  • Основные принципы повышения производительности труда на основе совершенствования технологических процессов. Методы их оптимизации функциональными системами программного управления. Системы автоматического регулирования (АСУ) и промышленные роботы.

    контрольная работа, добавлен 15.11.2009

  • Технологические характеристики безнапорных железобетонных труб и сырьевого материала. Особенности технологии получения труб. Основные стадии технологического процесса. Выбор оборудования технологических линий и структурной схемы производства изделия.

    курсовая работа, добавлен 21.11.2012

  • Историческая справка о методах получения и использования полиэтилена. Процесс полимеризации этилена. Техническая характеристика сырья полуфабрикатов и продукта. Расчет материального баланса производства полиэтилена низкого давления газофазным методом.

    дипломная работа, добавлен 26.01.2014

  • Изучение технологии производства мазута, его назначения и применения. Характеристика физико-химических свойств мазута. Обоснование способа его получения и особенностей выбранного метода. Химическое и коррозионное действие среды на материал и оборудование.

    реферат, добавлен 27.05.2010

  • Определение и виды технологий; классификация отраслей промышленности. Категории и понятия экономики, специфические черты системы экономики. Особенности и характеристики методов управления разновидностями процессов в разных отраслях промышленности.

    реферат, добавлен 06.05.2010

  • Определение действительных объемов воздуха и продуктов сгорания. Расчет теоретического объема воздуха, необходимого для сжигания газа. Определение диаметров и глубин проникновения. Геометрические характеристики горелки. Состав рабочей массы топлива.

    реферат, добавлен 20.06.2015

  • Создание технологической схемы малоотходной технологии производства покрытий. Расчет материальных балансов процессов. Выбор основного и вспомогательного оборудования для процессов получения покрытий, очистки СВ и воздуха. Основы процесса цинкования.

    дипломная работа, добавлен 26.10.2014

  • Микропроцессоры и микро-ЭВМ. Математическое и програмное обеспечение расчетов металургических процессов. Электронные таблицы. Категории функций. Компьютерная графика. Идентификация металлургических процессов. Информационные функции. Растровые программы.

    курс лекций, добавлен 28.11.2008

  • Методы получения пленок. Вакуумные. Вакуумно-термическое испа-рение. Его разновидности: лазерное, электронно-лучевое, "взрывное". Осо-бенности испарения сплавов и композиционных смесей. Типы и конструкции испарителей. Плазменные методы получения пленок.

    реферат, добавлен 03.01.2009

  • Виды производственных процессов, организация производственных процессов в пространстве и во времени. Виды и взаимосвязи производственных процессов в организации по ходу производства. Расчет длительности производственного цикла изготовления изделия.

    контрольная работа, добавлен 08.11.2009

Работы в архивах красиво оформлены согласно требованиям ВУЗов и содержат рисунки, диаграммы, формулы и т.д.
PPT, PPTX и PDF-файлы представлены только в архивах.
Рекомендуем скачать работу и оценить ее, кликнув по соответствующей звездочке.