Термическое окисление кремния

Оборудование для термического окисления: модель Дила-Гроува, зависимость толщины окисла от времени окисления, особенности роста тонких и толстых плёнок двуокиси кремния, их свойства и применение в микроэлектронике. Реакторы биполярного окисления.

Подобные документы

  • Окисление этилена с целью производства этиленоксида как одно из крупнотоннажных производств нефтехимической промышленности. Кинетические уравнения процесса окисления этилена. Зависимость основных показателей процесса окисления от времени реакции.

    лабораторная работа, добавлен 19.10.2015

  • Тенденция к использованию более богатого по содержанию кремния ферросилиция и брикетов и комплексных сплавов на основе ферросилиция и кристаллического кремния. Физико-химические свойства кремния. Шихтовые материалы для производства ферросилиция.

    курсовая работа, добавлен 02.02.2011

  • Технологическая схема переработки золотосодержащих руд. Технология процесса бактериального окисления. Реактор биоокисления как объект автоматизации. Обоснование контролируемых и регулируемых параметров. Схема электроснабжения проектируемого участка.

    дипломная работа, добавлен 16.12.2013

  • Сущность метода зонной плавки. Физико-химические свойства германия. Применение германия в полупроводниковых приборах. Получение технического кремния восстановления природного диоксида SiO2 (кремнезем) в электрической дуге между графитовыми электродами.

    реферат, добавлен 25.01.2010

  • Характеристика стали 25ХГСА, расчёт материального баланса. Среднешихтовой состав и период плавления. Расчет периода плавления и окисления. Тепловой баланс. Обоснование выбора трансформатора. Расчёт времени плавки. Коэффициент теплоёмкости шлака.

    курсовая работа, добавлен 05.01.2016

  • Методы напыления и физические основы нанесения тонких пленок, основные требования и системы оборудования для нанесения тонких плёнок, элементы вакуумных систем и устройство вакуумных камер для получения тонких плёнок. Экономическое обоснование проекта.

    дипломная работа, добавлен 01.03.2008

  • Характеристика черного карбида кремния и область его применения. Физико-химические и технологические исследования процесса производства карбида кремния в электропечах сопротивления. Расчет шихтовых материалов. Расчет экономической эффективности проекта.

    курсовая работа, добавлен 24.10.2011

  • Описание технологического процесса предприятия, использование сырья и готовой продукции. Примеры блок-схем окисления сероводорода, охлаждения, каплеуловителя, конденсации серы. Техника безопасности и экологическая оценка производства, охрана труда.

    курсовая работа, добавлен 02.02.2012

  • Строение полупроводникового материала группы АIIIВV – GaAs, сравнение свойств арсенида галлия со свойствами кремния, способы получения, использование в качестве деталей транзисторов. Перспективы развития технологии изготовления приборов на его основе.

    курсовая работа, добавлен 04.12.2012

  • Окись пропилена как крупнотоннажное сырье для производства продуктов нефтехимии: полиуретанов, гликолей, косметических средств и медицинских препаратов. Оценка рентабельности технологии промышленного окисления пропилена в жидкой фазе под давлением.

    курсовая работа, добавлен 19.07.2015

  • Классификация и свойства твердых сплавов. Источники лома и основные способы его переработки: хлорирование, методы регенерации и окисления. Оборудование для предварительной обработки сырья. Разработка технологической схемы переработки. Материальный баланс.

    курсовая работа, добавлен 04.01.2009

  • Методика формирования тонкослойного оксидного покрытия на пластинчатых носителях. Реологические свойства алюмоциркониевой суспензии. Синтез и исследование образцов катализатора, оценка их структурно-прочностных свойств и их активности в реакции окисления.

    дипломная работа, добавлен 02.10.2013

  • Сырье и углеродистые восстановители, применяемые при производстве кремния. Перерасчет компонентов на золу каменного угля, нефтяного кокса, древесного угля, древесной щепы. Химический состав кремниевого расплава, полученного в результате моделирования.

    курсовая работа, добавлен 07.06.2014

  • Типы кристаллических решёток металлов и дефекты их строения. Свойства и области применения карбида кремния. Электропроводность жидких диэлектриков и влиянии на неё различных факторов. Виды, свойства и применение неметаллических проводниковых материалов.

    контрольная работа, добавлен 09.10.2010

  • Двухкарбидные твердые сплавы. Основные свойства и классификация твердых сплавов. Метод порошковой металлургии. Спекание изделий в печах. Защита поверхности изделия от окисления. Сплавы на основе высокотвердых и тугоплавких карбидов вольфрама и титана.

    контрольная работа, добавлен 28.01.2011

  • Механическое оборудование печи. Форма и размеры плавильного пространства электродуговой печи. Футеровка основной электродуговой печи. Электрооборудование печи. Выплавка стали методом полного окисления. Жаропрочные стали и сплавы. Системы газоотвода.

    реферат, добавлен 28.01.2009

  • Термическое вакуумное напыление. Плазмоионное распыление в несамостоятельном газовом разряде. Технология тонких пленок на ориентирующих подложках. Механизмы эпитаксиального роста тонких пленок. Электронно-лучевое напыление. Молекулярно-лучевая эпитаксия.

    курсовая работа, добавлен 03.03.2011

  • Создание карбидокремниевой керамики на нитридной связке как тугоплавкого соединения. Способ получения керамического материала в системе Si3N4-SiC. Огнеупорный материал и способ получения. Высокотемпературное взаимодействие карбида кремния с азотом.

    дипломная работа, добавлен 24.09.2014

  • Элементарные полупроводники (германий, кремний), их свойства, получение, применение. Электрофизическая обработка (электроэрозионная, лазерная, электронно-лучевая, плазменная), преимущества каждого из методов. Расчет удельного сопротивления конденсатора.

    контрольная работа, добавлен 08.04.2014

  • Чугун - сплав железа с углеродом, дешевый машиностроительный материал. Основные физические и химические свойства серого чугуна. Применение в машиностроении для отливок деталей. Влияние на свойства чугуна примесей: кремния, марганца, серы и фосфора.

    реферат, добавлен 07.03.2011

  • Роль марганца в сталеплавильных агрегатах, особенности процессов его окисления и восстановления. Принципы получения заданного содержания марганца в стали. Черная металлургия как ключевой потребитель марганца, использование в промышленности его сплавов.

    реферат, добавлен 21.08.2012

  • Получение полиорганосилоксановых смол в результате гидролиза и последующей поликонденсации мономерных соединений кремния. Основные физические и химические свойства полиорганосилаксановых смол, их производство и применение. Цели добавления модификаторов.

    реферат, добавлен 07.05.2016

  • Разработка технологического процесса изготовления КМОП-КНС-ИМ с поликремниевыми затворами. Основные факторы, ограничивающие стоимость и качество КМОП-КНС-ИМ. Процесс наращивания поликристаллического кремния. Термическое оксидирование и фотолитография.

    курсовая работа, добавлен 08.04.2016

  • Технологические особенности получения ферросиликомарганца в рудовосстановительных печах. Микроренгеноструктурные и петрографические исследования наличия серы в силикомарганце. Зависимость влияния кремния и титана на массовую долю серы в сплавах.

    дипломная работа, добавлен 01.11.2010

  • Получение тонкопленочных покрытий в вакууме, термическое и магнетронное испарение. Конструирование жидкофазного магнетрона с помощью AutoCAD. Методы исследования параметров тонких пленок. Измерение толщины тонкопленочных покрытий с помощью профилометра.

    дипломная работа, добавлен 15.06.2012

Работы в архивах красиво оформлены согласно требованиям ВУЗов и содержат рисунки, диаграммы, формулы и т.д.
PPT, PPTX и PDF-файлы представлены только в архивах.
Рекомендуем скачать работу и оценить ее, кликнув по соответствующей звездочке.