Классификация физико-химических методов обработки и очистки. Плазменные методы удаления материала с поверхности твердого тела
Сущность и классификация методов обработки поверхности. Методы сухой очистки. Процесс плазмохимического травления. Схема вакуумной камеры диодного типа для плазмохимического травления непосредственно в плазме. Очистка поверхности газовым травлением.
Подобные документы
Классификация методов исследования наноструктур. Устройство СЗМ Solver HV. СЗМ измерительная система, элементы. Система термостатирования образца. Экспериментальное исследование режимов работы АСМ Solver HV для изучения наноструктурированной поверхности.
курсовая работа, добавлен 12.06.2012Стадии производства микросхем. Электрический ток в полупроводнике. Структура элемента микросхемы ЭВМ. Изготовление кремниевых пластин. Контроль загрязнений и дефектности подложек. Контроль поверхности и слоев. Процессы травления в газовой среде.
презентация, добавлен 24.05.2014Внешняя и внутренняя форма деталей радиоаппаратов и автоматических устройств. Общие сведения о поверхностях и их развертки. Сочетание гранных и кривых поверхностей. Линейчатые и нелинейчатые поверхности вращения. Поверхности с плоскостью параллелизма.
реферат, добавлен 24.12.2010Механика и принципы методов исследования поверхности твердого тела: вторичная электронная эмиссия; масс-спектрометрия. Принципы работы растрового электронного микроскопа. Разработка алгоритма расчетов секторных магнитов с однородным магнитным полем.
дипломная работа, добавлен 22.02.2012Понятие и функциональные особенности радиолокационных станций, их классификация и разновидности в сфере обзора земной поверхности. Принцип работы, структура и основные элементы данных станций, структурные схемы. Прием и передача информации потребителю.
реферат, добавлен 24.12.2012Интроскопия - внутривидение, визуальное наблюдение объектов, явлений и процессов в оптически непрозрачных телах и средах, в условиях плохой видимости. Классификация методов диагностики. Общность методов и средств обработки иитроскопических изображений.
реферат, добавлен 01.02.2009Заготовки оптических деталей из оптического стекла. Глубина залегания дефектов на поверхности прессованной заготовки. Процесс обработки оптических деталей. Шлифование свободным абразивом. Шлифование закрепленным абразивом. Полирование. Припуски операционн
реферат, добавлен 29.11.2008Радиолокационные станции с большими вдольфюзеляжными антеннами. Их недостатки, устраняемые путем использования принципа синтезирования сигналов. Многозначность выходного сигнала с синтезированным раскрывом при импульсной работе. Цифровые методы обработки.
реферат, добавлен 13.10.2013Схема блока радиоэлектронного средства (РЭС) в герметичном исполнении. Расчет поверхности, удельной мощности, перегрева и температуры корпуса блока. Сущность и классификация систем охлаждения РЭС. Интенсивность теплопередачи различных способов охлаждения.
презентация, добавлен 27.12.2013Ознакомление с современным состоянием развития электрофизических методов обработки. Характеристика роботизированных установок для напыления тонкослойных покрытий на поверхность матового листового материала и для нанесения покрытий на диэлектрики.
контрольная работа, добавлен 20.05.2010- 11. Морские помехи
Взаимодействие зондирующего излучения радиолокационных станций с морской поверхностью. Характеристики радиолокационных помех от взволнованной морской поверхности: состояние морской поверхности, скорость ветра, угол между главным лепестком диаграммы.
реферат, добавлен 17.06.2019 Маршрут изготовления биполярных интегральных микросхем. Разработка интегральной микросхемы методом вертикального анизотропного травления с изоляцией диэлектриком и воздушной прослойкой. Комплекс химической обработки "Кубок", устройство и принцип работы.
курсовая работа, добавлен 18.04.2016Выбор методов проектирования устройства обработки и передачи информации. Разработка алгоритма операций для обработки информации, структурной схемы устройства. Временная диаграмма управляющих сигналов. Элементная база для разработки принципиальной схемы.
курсовая работа, добавлен 16.08.2012Феноменологическая модель рассеяния электромагнитных волн протяженной поверхностью. Дискретное представление и динамическая импульсная характеристика отражения поверхности. Анализ простого импульсного и оптимально согласованного с поверхностью сигналов.
курсовая работа, добавлен 16.08.2015Решение задачи регулирования адаптивной поверхности главного зеркала радиотелескопа, предназначенного для работы в миллиметровом диапазоне радиоволн. Моделирование полномасштабной конечно-элементной модели полноповоротной зеркальной антенной системы.
дипломная работа, добавлен 14.09.2011Исследование помехоустойчивости методов разнесенного приема сигналов в декаметровом канале связи, сравнение показателей качества этих методов. Метод комбинированной обработки цифровых сигналов при разнесенном приеме. Интерференция и методы борьбы с ней.
диссертация, добавлен 11.11.2010Обзор применения импульсных дальномеров-высотомеров на основе полупроводниковых лазеров для контроля объектов подстилающей поверхности. Методы повышения точности временной фиксации принимаемого сигнала. Расчет безопасности лазерного высотомера ДЛ-5.
дипломная работа, добавлен 14.03.2016Анализ принципиальной схемы регистратора колебаний поверхности земли. Определение конструктивных особенностей типовых элементов схемы, технических требований к печатной плате. Расчет электрических и конструктивных элементов, показателей надежности платы.
контрольная работа, добавлен 16.06.2011Значение оценки профиля подстилающей поверхности при неподвижном носителе. Анализ структурной схемы оптимального измерителя профиля отражающей поверхности. Структура алгоритма измерения профиля применительно к условиям получения оценки отклонения.
реферат, добавлен 06.04.2011Допуск на общую ошибку от номинального радиуса кривизны. Случаи обнаружения ошибок как в случае сферических поверхностей, так и плоских. Местные ошибки (ΔN) поверхности являются нарушением равномерности ее профиля. Оптическая схема интерферометров.
реферат, добавлен 19.11.2008Функциональная схема и механизм работы цифрового устройства обработки данных. Синтез управляющего автомата, выбор типа триггера, описание управляющего автомата и счётчиков на языке Verilog. Процесс тестирования и моделирования управляющего автомата.
курсовая работа, добавлен 05.12.2012Планаризация как низкотемпературный процесс, при котором сглаживается рельеф поверхности пластины. Дефекты двухуровневой металлизации. Назначение проводящих слоев в многослойной металлизации. Многокристальные модули типа MKM-D и МКМ-А, характеристики.
контрольная работа, добавлен 29.04.2014Определения в области испытаний и контроля качества продукции, понятие и контроль. Проверка показателей качества технических устройств. Цель технического контроля. Классификация видов и методов неразрушающего контроля. Электромагнитные излучения.
реферат, добавлен 03.02.2009Разработка и изготовление устройства магнетронного получения тонких пленок. Пробное нанесение металлических пленок на стеклянные подложки. Методы, применяемые при распылении и осаждении тонких пленок, а также эпитаксиальные методы получения пленок.
курсовая работа, добавлен 18.07.2014Методы создания монтажных соединений. Классификация методов выполнения электрических соединений. Схема измерения падения напряжения в зоне контакта. Накрутка и обжимка. Формы поперечного сечения выводов. Виды соединений накруткой. Схемы для расчетов.
реферат, добавлен 16.12.2008