Исследование процессов ионного легирования полупроводниковых материалов
Физические особенности процесса ионного легирования. Анализ влияния технологических параметров на процесс ионной имплантации, распределение внедренных примесных атомов, радиационные дефекты. Схема устройства для ионной имплантации, методы моделирования.
Подобные документы
Молекулярно-лучевая эпитаксия как эпитаксиальный рост в условиях сверхвысокого вакуума. Характеристика видов электронных микроскопов, анализ сфер применения. Рассмотрение составных частей установки ионной имплантации. Особенности электронной литографии.
реферат, добавлен 06.05.2014Сравнительный анализ методов поверхностного модифицирования. Физические основы процесса имплантации газов в металлы и сплавы. Определение ядерного и электронного торможения иона в материал подложки. Расчет пробегов ионов и концентрационных напряжений.
дипломная работа, добавлен 02.09.2010Ионный источник - устройство для получения направленных потоков (пучков) ионов. Типовые схемы ионно-лучевой обработки поверхностей и объектов в вакууме. Разработка технологического процесса сборки источника очистки ионного. Принцип работы устройства.
курсовая работа, добавлен 02.05.2013Анализ микроструктуры стали 20 и баббита, роль легирования в улучшении свойств материалов. Оценка структуры и свойств баббита Б83 после нанесения на поверхность антифрикционного покрытия на базе индия методом искродугового легирования в среде азота.
дипломная работа, добавлен 17.11.2011Источники примесей для диффузионного легирования кремния и технология диффузии примесей в кремний. Технология и оборудование для проведения процесса диффузии и контроля параметров диффузионных слоев. Использование разработанных источников диффузанта.
дипломная работа, добавлен 07.07.2003Ферросплавы - сплавы железа с кремнием, марганцем, хромом, вольфрамом. Применение в производстве стали для улучшения ее свойств и легирования. Руды и концентраты как исходное сырье. Описание технологических процессов: восстановление окислов металлов.
курсовая работа, добавлен 19.02.2009Многослойные и комбинированные пленочные материалы. Адгезионная прочность композиционного материала. Характеристика и общее описание полимеров, их свойства и отличительные признаки от большинства материалов. Методы и этапы испытаний полимерных пленок.
дипломная работа, добавлен 21.11.2010Краткое описание технологического процесса. Описание схемы автоматизации с обоснованием выбора приборов и технических средств. Сводная спецификация на выбранные приборы. Системы регулирования отдельных технологических параметров и процессов.
реферат, добавлен 09.02.2005Проект отделения для нормализационной обработки изотропной электротехнической стали IV группы легирования. Влияние температуры нормализации на структуру и свойства стали. Годовой экономический эффект и нормативный срок окупаемости капитальных затрат.
дипломная работа, добавлен 20.02.2011Сущность метода электроэрозионной обработки. Анализ моделей электроискрового процесса и программных средств. Разработка программного комплекса и проведение эксперимента. Расчет стоимости работ, затрат покупателя и экономической эффективности продукта.
дипломная работа, добавлен 26.08.2011Система легирования свариваемого металла, его состав и класс. Характеристика способа сварки и выбор режимов. Описание металлургических процессов, обеспечивающих получение качественных соединений. Процесс нагрева, плавления и охлаждения основного металла.
курсовая работа, добавлен 01.09.2010Гранулометрический и химический состав сырых шихтовых материалов. Дозирование и физико-химические основы процесса. Введение плавки. Нарушения хода печи: повышенное содержание кремния, оксида хрома и углерода, срыв подины, загрязнение слитков шлаком.
курсовая работа, добавлен 20.09.2013Основные свойства материала, методы получения монокристалла. Расшифровка марки материала, описание его свойств и методов получения. Вывод распределения примеси. Выбор технологических режимов и размеров установки. Алгоритм расчета легирования кристалла.
курсовая работа, добавлен 30.01.2014Процесс легирования стали и сплавов - повышение предела текучести, ударной вязкости, прокаливаемости, снижение скорости закалки и отпуска. Влияние присадок легирующих элементов на механические, физические и химические свойства инструментальной стали.
курсовая работа, добавлен 08.08.2013Методика исследования газонасыщенности стали и равновесности расплава. Схема установки для изучения кинематической вязкости металлических расплавов. Влияние технологических параметров внепечной обработки на содержание в металле общего кислорода.
курсовая работа, добавлен 17.10.2012Три вида исходной информации при разработке технологических процессов: базовая, руководящая и справочная. Выполнение рабочего чертежа детали. Тип производства и методы изготовления изделий при разработке технологических процессов с применением ЭВМ.
реферат, добавлен 07.03.2009Исследование влияния разных радиусов на гибку листового материала. Анализ системы моделирования технологических процессов, предназначенных для анализа трехмерного поведения металла при различных процессах обработки давлением. Расчет длины заготовки.
контрольная работа, добавлен 08.01.2014Технология производства тепловой энергии в котельных. Выбор методов и средств измерения технологических параметров и их сравнительная характеристика. Физико-химические свойства природных газов. Схема автоматического контроля технологических параметров.
курсовая работа, добавлен 10.04.2011Анализ существующей методики получения поверхностного слоя методом электроискрового легирования, которая не учитывает образование слоя на начальном этапе. Зависимость переноса массы от плотности анода и катода. Образование первичного и вторичного слоя.
статья, добавлен 21.04.2014Характеристика вида изнашивания наплавляемых деталей: материал изделия, оценка склонности металлов к образованию трещин; кавитационно-эрозионное изнашивание. Особенности легирования выбранного способа наплавки; оборудование и технологический процесс.
контрольная работа, добавлен 06.05.2012Анализ точности и стабильности и стабильности технологических процессов производства продукции и применение понятий воспроизводимости процесса и воспроизводимости оборудования. Индекс воспроизводимости и методы его расчета. Характеристика результатов.
реферат, добавлен 17.12.2008- 22. Расчет распределения примесей в кремнии при кристаллизационной очистке и диффузионном легировании
Теоретические сведения о процессах легирования. Физико-химические основы технологии микроэлектроники. Распределение примесей после зонной плавки. Анализ бинарной диаграммы состояния Si-Al. Расчет примеси в полупроводнике после диффузионного отжига.
курсовая работа, добавлен 10.12.2015 Классификация дефектов кристаллической решетки металлов. Схема точечных дефектов в кристалле. Дислокация при кристаллизации или сдвиге. Расположение атомов в области винтовой дислокации. Поверхностные или двухмерные дефекты. Схема блочной структуры.
лекция, добавлен 08.08.2009Взаимосвязь технологических и организационно-управленческих структур. Понятие о химико-технологических процессах, принципы классификации. Перспективы развития и особенности экономической оценки химико-технологических процессов. Специальные методы литья.
контрольная работа, добавлен 10.07.2010Анализ типовых конструкций бункерных загрузочных устройств: общее описание и функциональные возможности, особенности и сферы практического применения. Анализ выдачи заготовок, классов механизмов ориентации. Расчеты конструктивных параметров устройства.
курсовая работа, добавлен 26.06.2015